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  • 本申请公开了一种双级压力调控等离子体刻蚀清洗设备及晶圆处理方法,设备包括主腔室、远程等离子体源、副腔室、真空泵、第一阀板、第二阀板和限流板,限流板上开设有限流孔;通过限流孔奠定压力差基础,再配合第二阀板与调压阀动态补偿流量波动,能够实现双腔...
  • 本申请涉及半导体制造技术领域,具体公开了一种EBL进出料组件和EBL作业系统。其中,EBL进出料组件包括第一腔室、第二腔室、移栽机构、第一作业机械手。第一腔室设置有能够开闭的第一门体和第二门体;第二腔室与所述第一腔室相邻设置,且第二腔室内设...
  • 本申请属于电池技术领域,具体公开了一种磷酸锰铁锂材料及其制备方法、二次电池与用电装置。该磷酸锰铁锂材料包括内核与外壳,该内核为磷酸铁锂包覆的磷酸锰铁锂;该外壳位于上述内核的至少部分表面;该外壳包括含氟钝化物与碳材料,基于上述磷酸锰铁锂材料的...
  • 本发明公开了一种负极活性材料及其制备方法和钠离子电池,涉及电池制备技术领域,所述负极活性材料包括多孔内核材料以及至少填充于所述多孔内核材料孔隙中的壳体材料;所述多孔内核材料包括多孔硬碳,所述壳体材料包括软碳;所述负极活性材料的孔隙率为46%...
  • 本发明提供一种硅纳米线及其制备方法和应用。所述硅纳米线的制备方法包括以下步骤:(1)在不锈钢集流体上采用磁控溅射方法沉积锡催化薄膜;(2)将步骤(1)得到的不锈钢集流体转移至反应腔体中,采用氢气等离子体对锡催化薄膜进行还原处理;(3)将步骤...
  • 本发明公开了一种燃料电池单电池封装结构及其制备方法,涉及燃料电池生产技术领域,包括质子交换膜,所述质子交换膜的上下两侧分别设有催化剂层,催化剂层上下两侧分别设有气体扩散层,两所述气体扩散层的外侧分别设有第一薄膜层,两所述第一薄膜层之间设有第...
  • 本发明属于电池材料领域,公开了一种PEO基复合固态电解质及其制备方法、应用,PEO基复合固态电解质包括双过渡金属基焦磷酸盐、PEO和电解质锂盐;其中,双过渡金属基焦磷酸盐分子式为MaNb(P
  • 本发明属于电池材料领域,公开了一种改性PEO基复合固态电解质及其制备方法、应用。所述改性PEO基复合固态电解质包括改性微孔金属氧化物、PEO和锂盐;改性微孔金属氧化物包括核、中间层和包覆层,中间层至少包覆于核的部分表面,包覆层至少包覆于核和...
  • 本申请公开了一种适配于硬碳负极的电解液及锂离子电池,该电解液包括电解质锂盐、有机溶剂和添加剂;其中添加剂由碱金属盐和成膜组分组成,成膜组分选自磺酸酯类和硼酸盐类中至少一种;添加剂占电解液总质量的0.5‑5.0 wt%,锂盐浓度为0.5‑2....
  • 本申请涉及一种电池单体、电池装置和用电装置,电池单体包括电极组件和电解液,电极组件包括正极极片、隔离膜和负极极片,正极极片包括正极集流体和设置于正极集流体至少一侧的正极活性材料层,负极极片包括负极集流体和设置于负极集流体至少一侧的负极活性材...
  • 本发明属于锂离子电池技术领域,涉及一种固态电解质及其制备方法与固体电池。本发明公开的一种固态电解质的制备方法包括:在无外加溶剂下,将锂盐、聚氧化乙烯PEO及添加剂混匀后,搅拌、热压处理,得全固态电解质;所述添加剂包括含砜基化合物、含酰胺基化...
  • 本申请涉及一种电池单体、电池装置和用电装置,电池单体包括电极组件和电解液,电极组件包括层叠设置的正极极片和负极极片,正极极片包括正极极耳、正极集流体和正极活性材料层,负极极片包括负极极耳、负极集流体和负极活性材料层,沿第一方向,正极极耳连接...
  • 本申请涉及电池技术领域,提供一种电池装置及用电装置,电池装置包括箱体、阻隔结构、多个包覆壳和多个软包电池单体,软包电池单体包括软包外壳以及封装于软包外壳内部的电极组件,在第一方向上,电极组件的末端形成有电极引出部,电极引出部的至少部分伸出至...
  • 本发明涉及电池技术领域,具体为一种储能用方形铝壳固态电池的盖板系统,包括电池盖板,所述电池盖板安装在电池箱上,电池盖板上设置有外环绕密封组件,通过外环绕密封组件对电池盖板与电池箱的连接处进行外侧密封,所述外环绕密封组件与电池箱相配合还能将电...
  • 本发明涉及电池技术领域,具体提供了一种隔膜及其制备方法和电池。该隔膜包括基膜和功能涂层,所述功能涂层设于所述基膜的至少一侧,所述功能涂层包括层叠的粉体层和聚合物层,所述粉体层邻接所述基膜。本发明的粉体层提供刚性耐热支撑,聚合物层通过与无机层...
  • 本申请提供了一种电池隔膜及其制备方法和电池。电池隔膜包括基材层和涂布在基材层第一表面和基材层第二表面上的点胶涂层,点胶涂层包括树脂颗粒;第一表面的点胶涂层的覆盖率为C1,第二表面的点胶涂层的覆盖率为C2,5%≤C1≤66.5%,第一表面的点...
  • 本发明公开了一种双频带耦合器和双频带射频前端器件,属于移动通信领域,用于实现高灵活度的双频带匹配;所述双频带耦合器包括第一信号线和第二信号线,通过引入T型结构的导线对信号线结构的改进设计。所述双频带射频前端器件包括双频带功率放大器、双频带低...
  • 本发明提供了一种Ku波段低RCS单脉冲阵列天线,包括反射辐射一体化AMC单元、反相匹配AMC单元、单脉冲阵列天线、第一层介质板、金属接地板、第二层介质板,以及和差馈电网络;所述反射辐射一体化AMC单元、反相匹配AMC单元在第一层介质板上表面...
  • 本发明属于连接器技术领域,且公开了一种应用于低空飞行器的多触点端子的连接器,包括插头与插座,所述插头的内腔上下分布有两组接触端子,所述接触端子的前端上下分布有上触片与下触片,所述插座的内腔上下分布有两组接触针,所述接触针的上下两侧壁分别与上...
  • 本发明涉及线束端子压接技术领域,具体为一种线束端子辅助压接装置,包括承接底板以及设置在承接底板上的线束和端子,所述承接底板上设置有套设在线束外侧的安装管,所述承接底板上设置有梳线式压接机构,此线束端子辅助压接装置,使得工作人员在对梳线和端子...
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