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有机膜形成用组成物、有机膜形成方法及图案形成方法
本发明涉及有机膜形成用组成物、有机膜形成方法及图案形成方法。本发明的课题为提供兼具填埋/平坦化特性的有机膜形成用组成物,其特征为含有(A)含有芳香族环的树脂、(B)含有下式(1)表示的含有β二酮结构的重复单元的聚合物、(C)溶剂。上式(1)...
一种在曲面衬底上制备3D纳米结构的方法及曲面衬底
本发明公开了一种在曲面衬底上制备3D纳米结构的方法及曲面衬底,属于微纳制造技术领域。本发明通过衬底准备、涂胶、转印、叠加重复涂胶、转印的步骤,在曲面衬底表面获得依次堆叠的光刻胶薄膜,接着经过曝光、显影得到具有3D纳米结构的曲面衬底,使溶剂不...
一种掩模版检测装置及方法
本发明公开了一种掩模版检测装置及方法。掩模版检测装置包括掩模版版盒、开盒组件和控制器;掩模版版盒包括底座和盒盖,底座用于承载掩模版,盒盖盖设在底座和掩模版上;开盒组件包括盒体、与盒体连接的运动模组以及固定在盒体上的第一光电传感器、第二光电传...
一种方式增加光阻覆膜厚度均匀性的装置
本发明公开了一种方式增加光阻覆膜厚度均匀性的装置,涉及光罩加工技术领域。本发明具体包括转台、温度检测模块、控制器和若干加热模块,所述温度检测模块和加热模块分别设置于转台上侧,所述转台用于固定基片并带动基片转动,所述温度检测模块用于检测基片上...
一种光掩模的制造方法以及光掩模
本发明提供一种与以往的光掩模的制造方法相比,能够实现光掩模的进一步高精细化的光掩模的制造方法以及光掩模。该光掩模具备:第一功能膜4,形成在透明基板2之上;第二功能膜3,以与第一功能膜4的至少一部分的边缘接触并沿着第一功能膜4的至少一部分的边...
测试版图生成方法及装置、反向光刻技术模型的建立方法
本申请涉及一种测试版图生成方法及装置、反向光刻技术模型的建立方法、测试掩膜版、计算机设备、存储介质和计算机程序产品。测试版图生成方法包括:获取第一版图,第一版图包括直线图形;对第一版图进行平滑处理,形成测试版图。采用本方法能够进一步提高反向...
基于规则和模型的SRAF图形生成方法、系统及终端
本申请提供了一种基于规则和模型的SRAF图形生成方法、系统及终端,基于预定义的SRAF插入规则,在光刻掩膜设计版图的每个光刻图案周边插入多个初始SRAF图形,并基于预定义的SRAF清理规则以及基于光刻工艺模型,联合对插入的多个初始SRAF图...
金属层图形的辅助图形添加方法及版图
本发明提供了一种金属层图形的辅助图形添加方法及版图,属于半导体领域。该金属层图形的辅助图形添加方法包括提供一原始版图,所述原始版图至少包括金属层图形和孔洞层图形。在所述金属层图形的尾端设置辅助图形,所述辅助图形的参数满足设定的要求,所述辅助...
一种生成曲线化掩模图形的方法及装置
本申请公开了一种生成曲线化掩模图形的方法及装置,每次边移动处理后的曼哈顿版图均对应唯一的等效曲线版图,在优化迭代过程中,该等效曲线版图用于替代曼哈顿版图进行光刻成像仿真。当优化收敛后,是对当前分段边移动处理后的曼哈顿版图执行曲线化处理,生成...
凸多边形掩膜版的曼哈顿化掩膜生成方法、装置、介质、程序产品及终端
本申请提供的凸多边形掩膜版的曼哈顿化掩膜生成方法、装置、介质、程序产品及终端,本申请采用缓冲区技术生成缓冲区,在区域内进行曼哈顿化,目的是将凸多边形中相邻的多条线段结合起来再进行曼哈顿化,最终可以生成较少的曼哈顿边去逼近原始掩膜图形,能够解...
地形感知光学邻近效应修正方法、装置、存储介质及电子设备
本申请公开了一种地形感知光学邻近效应修正方法、装置、存储介质及电子设备,其中,该地形感知光学邻近效应修正方法包括获取原始设计版图;使用当前TOPC模型对原始设计版图进行地形感知光学邻近效应修正,生成初始修正版图;对基于初始修正版图制造的晶圆...
面向曲线型芯片版图的掩模优化方法、装置、设备及介质
本申请公开了一种面向曲线型芯片版图的掩模优化方法、装置、电子设备及可读存储介质,属于半导体制造技术领域。该方法包括步骤:获取目标曲线型芯片版图对应的设计图形;基于所述设计图形,生成用于表示初始掩模版图形的目标曲线;基于所述目标曲线确定边缘放...
掩模坯料基板及其制造方法
本发明涉及掩模坯料基板,当限定以所述主表面的对角线的交点为中心并且由位于距152mm或更大×152mm或更大的矩形主表面的四条边的向内方向上的5mm处且平行于所述主表面的四条边的四条边围成的矩形区域时,所述矩形区域的平坦度为100nm或更小...
一种具有缓冲功能的投影幕插件结构
本发明提供了一种具有缓冲功能的投影幕插件结构,包括外壳,所述外壳内安装有幕布机构,所述外壳的至少一端安装有插接机构,所述插接机构包括插座机构和可拆卸连接的外接机构,所述插座机构包括与所述外壳端部相连的连接板,所述连接板的一侧安装有具有弹性的...
车辆用投影仪
本发明涉及一种车辆用投影仪,更详细地讲,涉及一种投射用于在车辆的内部或外部显示信息的图像的车辆用投影仪。根据本发明的实施例的车辆用投影仪可以包括:发光部,发出用于形成图像的光;光学部,包括沿基准轴布置在从所述发光部发出的光的路径上的至少一个...
背投显示器和车辆
本发明公开了一种背投显示器和车辆,涉及显示器技术领域,其中,背投显示器包括光源、投影镜组和背投屏。光源用于产生载有图像信息的图像光。投影镜组设置在光源的出光侧,以接收图像光。背投屏呈曲面状;背投屏设置在投影镜组背向光源的一侧;背投屏的凹侧朝...
光学投影系统以及AR光学设备
本申请提供了一种光学投影系统以及AR光学设备;所述光学投影系统用于AR光学设备的投影光机,其包括显示器、平板反射镜、第一透镜和第二透镜;平板反射镜设于所述显示器的出光路径上,用于将图像光的传播方向折转;第一透镜设于经平板反射镜折转后的光路上...
一种空间相机复合隔热件
本发明涉及航天器热控技术领域,具体提供一种空间相机复合隔热件,其设置在空间相机的可见通道与红外通道之间,主要由腔式隔热结构、安装面、隔热垫、辐射隔膜以及辐射隔板组成,其中,腔式隔热结构包括锥台或柱体的空心结构,以及空心结构两端向外延伸的翻边...
一种水下相机及其防水外壳
本申请适用于成像设备技术领域,提供一种水下相机及防水外壳,防水外壳包括防水罩、防水壳体、限位组件和第一复位件,防水罩的连接部设有多个第一凸起;防水壳体包括前壳体和转动的第一转动件,第一转动件设有多个第二凸起,前壳体上设有限位部;限位组件设于...
一种演播补光装置
本发明涉及演播摄影技术领域,具体为一种演播补光装置,包括固定底座,所述固定底座的底部四周处安装有用于移动的传输轮,所述固定底座的上端面中部转动设置有往复螺柱,所述往复螺柱的底部与电机一输出端连接,所述往复螺柱的外周面螺纹设置有驱动套,所述驱...
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