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最新专利技术
  • 一种高纯度兼具导电耐蚀功能的氮化钛涂层的制备方法
    一种高纯度兼具导电耐蚀功能的氮化钛涂层的制备方法_常州翊迈新材料科技有限公司_202511959612.8
    本发明提供了一种高纯度兼具导电耐蚀功能的氮化钛涂层的制备方法，涉及真空涂层制备技术领域。具体说是通过PVD的方式制备一种表层氮化物含量大于70％的兼具导电和耐蚀功能的氮化钛涂层。目的在于改善现有燃料电池极板在使用氮化物涂层时出现表层钛富集现...
    2026-05-09
  • 一种不锈钢双极板渗氮/氮化铬复合涂层及其制备方法
    一种不锈钢双极板渗氮/氮化铬复合涂层及其制备方法_安徽大学_202610016968.6
    本发明公开了一种不锈钢双极板渗氮/氮化铬复合涂层及其制备方法，涉及燃料电池技术领域，其制备方法包括以下步骤：通过管式炉等离子体辅助渗氮在不锈钢表面形成富氮过渡层，再辅以磁控溅射沉积CrN涂层，构建“氮扩散层–CrN陶瓷层”复合结构。利用管式...
    2026-05-09
  • 蓝宝石衬底-氧化镓有序薄膜复合材料及其制备方法
    蓝宝石衬底-氧化镓有序薄膜复合材料及其制备方法_浙江大学_202511809134.2
    本发明公开了一种蓝宝石衬底‑氧化镓有序薄膜复合材料及其制备方法。本发明采用磁控溅射技术，在蓝宝石衬底上溅射氧化镓薄膜，然后进行高温氧化处理，获得有序薄膜复合材料。借助蓝宝石衬底表面的晶格断键实现有序分布，氧化镓保持对衬底晶体结构的继承性，从...
    2026-05-09
  • 一种Al-W-O涂层及其制备方法和应用
    一种Al-W-O涂层及其制备方法和应用_厦门金鹭特种合金有限公司_202512002986.7
    本发明涉及一种Al‑W‑O涂层及其制备方法和应用，所述Al‑W‑O涂层为纳米结构涂层；所述Al‑W‑O涂层的分子结构表达式为W/Al2O3；制备方法包括：在含氧混合气氛下，采用Al靶材对基体进行磁控溅射，然后采用W靶材进行直流磁控溅射和/或...
    2026-05-09
  • 无取向硅钢复合材料及其制备方法
    无取向硅钢复合材料及其制备方法_广东电网有限责任公司电力科学研究院_202512035930.1
    本申请公开了一种无取向硅钢复合材料及其制备方法，制备方法包括获取预处理后的无取向硅钢；在预处理后的无取向硅钢的表面沉积氧化物模板层；在氧化物模板层的表面沉积磁性绝缘体层，得到第一预设硅钢复合材料；对第一预设硅钢复合材料进行热处理；于磁性绝缘...
    2026-05-09
  • 一种氧化物复合涂层及其制备方法和应用
    一种氧化物复合涂层及其制备方法和应用_中国科学院兰州化学物理研究所_202610012682.0
    本发明属于氢能资源技术领域，具体涉及一种氧化物复合涂层及其制备方法和应用。本发明提供的氧化物复合涂层包括依次层叠的铬层、铬/氧化铬复合层、氧化铬层、氧化铬/氧化铝复合层、氧化铝层、氧化铝/氧化铒复合层和氧化铒层；所述铬/氧化铬复合层中铬的质...
    2026-05-09
  • 一种二氧化硅基超亲水薄膜及其制备方法
    一种二氧化硅基超亲水薄膜及其制备方法_西安交通大学_202512027809.4
    本发明属于光学薄膜材料表面改性技术领域，具体涉及一种二氧化硅基超亲水薄膜及其制备方法，二氧化硅基超亲水薄膜为二氧化硅薄膜中掺杂有锆元素，薄膜成分中O原子百分比含量为60%~65%，余量为Si和Zr，合计100%，Si和Zr原子比为10~50...
    2026-05-09
  • 一种耐高温高压螺栓表面防护工艺
    一种耐高温高压螺栓表面防护工艺_福建省华盖机械制造有限公司_202610231536.7
    本发明涉及螺栓制造技术领域，尤其涉及一种耐高温高压螺栓表面防护工艺，包括以下步骤：耐高温高压螺栓表面清洗后装入真空室，对耐高温高压螺栓进行氩离子轰击清洗；在耐高温高压螺栓表面沉积一层铬金属结合层；保持磁控溅射钨靶，在真空室内通入乙炔气体，在...
    2026-05-09
  • 半导体晶圆的表面处理方法
    半导体晶圆的表面处理方法_东莞新科技术研究开发有限公司_202411341446.0
    本发明的半导体晶圆的表面处理方法，包括：提供半导体晶圆；在所述半导体晶圆的表面上沉积第一类金刚石碳层；在所述类金刚石碳层上沉积氧化铝颗粒，其中所述氧化铝颗粒通过将氧化铝颗粒分散液喷涂在所述第一类金刚石碳层上干燥而成；以及在所述氧化铝颗粒上沉...
    2026-05-09
  • 工艺腔室以及内衬清洗方法
    工艺腔室以及内衬清洗方法_北京北方华创微电子装备有限公司_202411345858.1
    本发明提供一种工艺腔室以及内衬清洗方法。其中，工艺腔室包括腔体、基座、内衬和切换装置；其中，基座接地；内衬设置在腔体内部；切换装置设置在内衬的外部，具有第一状态和第二状态；在切换装置的第一状态，内衬通过切换装置与地线导通；在切换装置的第二状...
    2026-05-09
  • 一种复合金属膜蒸镀制备装置
    一种复合金属膜蒸镀制备装置_湖北诺德复合新材料有限责任公司_202610065874.8
    本发明涉及真空镀膜技术领域，且公开了一种复合金属膜蒸镀制备装置，包括真空腔体以及设置于所述真空腔体内的送料机构和收料机构，所述送料机构与收料机构之间传输基膜，还包括：等离子清理装置，设置于真空腔体内且位于基膜的输送路径上，所述等离子清理装置...
    2026-05-09
  • 一种用于复合集流体真空蒸镀的蒸发舟
    一种用于复合集流体真空蒸镀的蒸发舟_浙江工业职业技术学院_202610124069.8
    本发明公开了一种用于复合集流体真空蒸镀的蒸发舟，包括蒸发舟主体，蒸发舟主体包括进料区域、隔离板以及多个蒸发单元，隔离板位于进料区域与蒸发单元之间或相邻两个蒸发单元之间，隔离板设有通道，通道连通进料区域与蒸发单元或相邻两个蒸发单元，蒸发舟主体...
    2026-05-09
  • 一种蒸镀设备润舟方法
    一种蒸镀设备润舟方法_扬州纳力新材料科技股份有限公司_202610180843.7
    本发明公开了一种蒸镀设备润舟方法，涉及真空蒸发技术领域；包括以下步骤：取蒸发舟，在其表面涂刷氧化镁涂层，固化后在氧化镁涂层表面预置铝丝，置于蒸镀设备中，预热至铝丝完全熔化，待熔化得到的铝液铺满蒸发舟后，通入氧气至蒸发舟表面无铝液残留，停止通...
    2026-05-09
  • 一种蒸发镀膜装置
    一种蒸发镀膜装置_厦门市益津鹭科技有限公司_202610239339.X
    本申请涉及导光板镀膜的技术领域，公开了一种蒸发镀膜装置，包括：机体；靶材挂架，安装于机体内部居中位置；转动座，转动安装于机体内；驱动机构，驱使转动座自转以及绕靶材挂架周向移动；支撑板，通过第一转轴转动安装于转动座上，支撑板在转动座上的转动中...
    2026-05-09
  • 一种用于蒸镀设备的点源坩埚
    一种用于蒸镀设备的点源坩埚_苏州方昇光电股份有限公司_202610160194.4
    一种用于蒸镀设备的点源坩埚，包括：坩埚盖上设有筛孔；筛孔用于给坩埚本体内的挥发物质提供蒸发路径；在坩埚盖的侧边设有热量传导部，坩埚盖设置于坩埚本体上时，热量传导部与坩埚本体的外壁相贴合；坩埚盖为热量传导良导体制作而成；热量传导部为金属材质；...
    2026-05-09
  • 一种基于多电子枪协同控制的真空镀膜装置
    一种基于多电子枪协同控制的真空镀膜装置_广东振华科技股份有限公司_202511935420.3
    本发明属于真空镀膜装置技术领域，特别涉及一种基于多电子枪协同控制的真空镀膜装置，包括环形坩埚；所述环形坩埚的一侧壁上嵌入安装有熔料壳体，所述熔料壳体的外侧壁上安装有熔料电子枪，且所述熔料壳体的内壁设置有配合熔料电子枪对原料熔融的熔料区域，所...
    2026-05-09
  • 能够制备复合物纳米棒的多电子束蒸发装置
    能够制备复合物纳米棒的多电子束蒸发装置_清华大学_202610042888.8
    本申请提供了能够制备复合物纳米棒的多电子束蒸发装置。该多电子束蒸发装置包括主体，主体包括密封的腔体，腔体中设置有：坩埚台，坩埚台中设置有至少两个间隔开的坩埚，坩埚中用于盛放靶材，各坩埚的承载面中心在X轴、Y轴构成的平面上的水平间距为3 cm...
    2026-05-09
  • 类金刚石碳膜的处理方法
    类金刚石碳膜的处理方法_东莞新科技术研究开发有限公司_202411341923.3
    本发明的在基底上形成类金刚石碳膜；以及在真空腔室中对所述类金刚石碳膜进行处理；其中，所述处理包括：在所述类金刚石碳膜的表面上喷洒二氧化硅溶液，对所述类金刚石碳膜进行退火。本发明可以简单高效、低成本地提高类金刚石碳膜的延展性，而且不破坏其高硬...
    2026-05-09
  • 一种基于内耗技术制备纯钛和钛基高熵合金靶材的方法
    一种基于内耗技术制备纯钛和钛基高熵合金靶材的方法_合肥综合性国家科学中心能源研究院(安徽省能源实验室)_202512007376.6
    本发明公开一种基于内耗技术制备纯钛和钛基高熵合金靶材的方法。其包括如下步骤：将原料通过浇铸成型获得铸锭；对铸锭进行轧制处理获得轧制板材；对轧制板材进行取样处理，得到测试样品；对测试样品进行内耗测试，得到温度‑内耗曲线，根据再结晶峰的峰顶温度...
    2026-05-09
  • 一种钼钛合金靶材的制备方法、钼钛合金靶材及其应用
    一种钼钛合金靶材的制备方法、钼钛合金靶材及其应用_中钨稀有金属新材料(湖南)有限公司_202512022751.4
    本申请提供一种钼钛合金靶材的制备方法、钼钛合金靶材及其应用，属于难熔金属合金材料技术领域。所述钼钛合金靶材的制备方法，包括以下步骤：S1、制备钼钛母合金锭，并通过雾化工艺制成预合金粉末；S2、将所述预合金粉末与单质钼粉和/或单质钛粉进行混合...
    2026-05-09
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