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最新专利技术
  • 印制电路板LDI曝光监控方法、装置、计算机设备和存储介质
    印制电路板LDI曝光监控方法、装置、计算机设备和存储介质_惠州市特创电子科技股份有限公司_202511531964.3
    本公开提供一种印制电路板LDI曝光监控方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括获取印制电路板的镜头曝光工况参数；将镜头曝光工况参数与预设曝光参数进行曝光似然处理，以得到曝光工况损失；根据曝光工况损失向LDI曝光中控器发送热机失使信号，...
    2026-05-12
  • 一种去除沟槽底部光刻胶的方法
    一种去除沟槽底部光刻胶的方法_重庆芯联微电子有限公司_202511554474.5
    一种去除沟槽底部光刻胶的方法，包括：提供形成有若干沟槽的半导体衬底；在半导体衬底表面涂布光刻胶，光刻胶充满沟槽并在半导体衬底上形成第一光阻层；将曝光焦平面设置于沟槽底部之上H/2处，进行第一次曝光处理；将曝光焦平面设置于沟槽底部之上H/4处...
    2026-05-12
  • 一种二次图形化方法
    一种二次图形化方法_中国科学院微电子研究所_202511608849.1
    本发明提供了一种二次图形化方法。本发明的二次图形化方法，包括如下步骤：S1：在衬底的氧化硅层上依次形成第三硬掩膜、第二硬掩膜和第一硬掩膜；S2：进行第一次光刻、刻蚀，在第一硬掩膜上形成第一图形；S3：去除光刻材料，随后进行第二次光刻、刻蚀，...
    2026-05-12
  • 用于刻蚀腔体的监控方法
    用于刻蚀腔体的监控方法_上海华力集成电路制造有限公司_202511695368.9
    本申请公开了一种用于刻蚀腔体的监控方法，方法包括：S1：提供经过了显影工艺的当前批次晶圆，当前批次晶圆中的每个晶圆均采集了显影后套刻精度数据；S2：将当前批次晶圆分配至若干刻蚀腔体；S3：使用刻蚀腔体对分配到的晶圆进行刻蚀工艺；S4：使用C...
    2026-05-12
  • 基于差分抽气的低衰减Xe-LPP极紫外光源产生装置
    基于差分抽气的低衰减Xe-LPP极紫外光源产生装置_中国科学院上海光学精密机械研究所_202511764755.3
    本发明公开了一种基于差分抽气的低衰减Xe‑LPP极紫外光源产生装置，包括：真空系统，以创造EUV的传输环境；激光系统，用于提供高能的驱动激光；供气系统，用以向腔内提供气体靶材；用于将靶材喷射至激光焦点处，使强激光与Xe原子相互作用产生等离子...
    2026-05-12
  • 高精度屏下支撑板曝光显影蚀刻工艺系统及其工艺方法
    高精度屏下支撑板曝光显影蚀刻工艺系统及其工艺方法_芜湖东信光电科技有限公司_202511809223.7
    本发明公开了一种高精度屏下支撑板曝光显影蚀刻工艺系统，包括均匀曝光模块、高精度对位模块、曝光剂量精确控制模块和分步曝光运动控制模块。采用上述技术方案，产品精度提高，侧蚀率降低至3%以下，微结构边缘粗糙度＜0.5μm；生产效率提高，单次曝光完...
    2026-05-12
  • 一种基于稀土上转换纳米颗粒的非线性光刻方法
    一种基于稀土上转换纳米颗粒的非线性光刻方法_南京理工大学_202511896154.8
    本发明公开了一种基于稀土上转换纳米颗粒的非线性光刻方法，属于微纳加工制造技术领域。该方法核心在于：制备Yb³⁺/Tm³⁺共掺上转换纳米颗粒的光刻胶；采用低功率976 nm连续激光作为激发光源，利用纳米颗粒的非线性上转换效应，将低能量近红外光...
    2026-05-12
  • 基于光源相位编码与二值化掩模协同优化的数字全息光刻方法
    基于光源相位编码与二值化掩模协同优化的数字全息光刻方法_合肥工业大学_202511956090.6
    本发明公开了一种基于光源相位编码与二值化掩模协同优化的数字全息光刻方法，包括：1、对入射光场施加预设光源相位编码，并与二值振幅掩模协同调制，获得掩模透射光场；2、采用角谱传播模型将所述透射光场传播至晶圆平面，得到晶圆表面再现光场；3、构建晶...
    2026-05-12
  • 一种用于改善晶圆表面曝光不良的补偿方法和补偿系统
    一种用于改善晶圆表面曝光不良的补偿方法和补偿系统_江苏影速集成电路装备股份有限公司_202512012630.1
    本发明公开了一种用于改善晶圆表面曝光不良的补偿方法和补偿系统。该补偿方法包括利用传感器检测置于工件台上的晶圆上的多个预设检测点相对工件台的高度数据；根据工件台和曝光设备的聚焦平面的高度差以及多个预设检测点相对工件台的高度数据，确定多个预设检...
    2026-05-12
  • 一种显影液组合物及其制备方法
    一种显影液组合物及其制备方法_上海舜澳环保科技有限公司_202610069281.9
    本发明公开了一种显影液组合物，属于半导体显示技术领域，以质量百分比计，包括以下组分：有机碱 0.01‑60%；烷基环己基苯基酚聚氧乙烯醚 0.01‑15%；蓖麻油聚氧乙烯醚 0.01‑15%；有机溶剂 1‑15%；余量为去离子水。本发明通过...
    2026-05-12
  • 光刻显影用组合物及其设计方法和应用
    光刻显影用组合物及其设计方法和应用_苏州实验室_202610113976.2
    本申请提供了一种光刻显影用组合物及其设计方法和应用。所述组合物包括至少一种溶剂，并具有抑制第一溶质溶解或溶胀和高效溶解第二溶质的能力。第一溶质、第二溶质分别为未被曝光的光刻胶材料、被曝光的光刻胶材料；或者，第一溶质、第二溶质分别为被曝光的光...
    2026-05-12
  • 一种电控独立编码超表面、实时太赫兹调控
    一种电控独立编码超表面、实时太赫兹调控_上海理工大学_202511815520.2
    本发明公开了一种电控二氧化钒超表面全息器件，电控二氧化钒超表面器件包括呈阵列状排列的器件单元；所述器件单元包括蓝宝石衬底(5)、集成在蓝宝石衬底(5)表面的风车结构共振器(1)和一个金贴片(2)；所述风车结构共振器(1)在四边分别有四个分支...
    2026-05-12
  • 一种机械表摆轮装钉夹具及设备
    一种机械表摆轮装钉夹具及设备_天津海鸥表业集团有限公司_202510020784.2
    本发明提供了一种机械表摆轮装钉夹具，包括按压单元，其包括动作机构、中心柄和压块，所述中心柄与动作机构连接，所述压块与中心柄转动连接；支撑台，其上转动连接有一定位盘，所述动作机构能带动中心柄靠近或远离定位盘，且当中心柄运动至靠近定位盘的极限位...
    2026-05-12
  • 一种自旋回波积分球冷原子钟装置和实现方法
    一种自旋回波积分球冷原子钟装置和实现方法_北京无线电计量测试研究所_202511717061.4
    本发明提供了一种自旋回波积分球冷原子钟装置和实现方法，所述装置由内向外，中心部分为冷原子物理部分，外部为所需的光电部分和微波部分；冷原子物理部分包括：冷原子团、微波腔、真空系统；光电部分包括：冷却光、再抽运光和抽运光、0°反射镜、钟信号探测...
    2026-05-12
  • 一种基于冷原子钟的激光二维强度剖面重建方法及系统
    一种基于冷原子钟的激光二维强度剖面重建方法及系统_中国科学院国家授时中心_202511766574.4
    本发明涉及了冷原子技术领域，具体涉及了一种基于冷原子钟的激光二维强度剖面重建方法及系统，该方法通过制备冷原子并装载至光晶格中作为探测介质，配置并使其在垂直于传播方向的平面内移动。在探询激光的不同二维位置处，测量冷原子与激光相互作用时的跃迁响...
    2026-05-12
  • 一种MEMS三腔室原子气室及其制备方法和铷的填充方法
    一种MEMS三腔室原子气室及其制备方法和铷的填充方法_北京铸合科技有限公司_202511826663.3
    本发明提供了一种MEMS三腔室原子气室及其制备方法和铷的填充方法，属于微机电系统与精密计时技术领域。本发明提供的原子气室为三腔室结构，除铷生成腔室和工作腔室外，增加了氮气生成腔室，可以通过氮气生成腔室发生反应生成氮气，从而使得封装后，仍可以...
    2026-05-12
  • 原子钟控制方法、装置、设备、存储介质及计算机产品
    原子钟控制方法、装置、设备、存储介质及计算机产品_电信科学技术第五研究所有限公司_202610027975.6
    本申请公开了一种原子钟控制方法、装置、设备、存储介质及计算机产品，涉及原子钟控制技术领域，方法包括：在原子钟处于保持阶段时，确定原子钟在可滑动的时间窗口内的运行温度序列以及原子钟类型；基于原子钟类型和可滑动的时间窗口内的运行温度序列所处的温...
    2026-05-12
  • 一种基于动量探测传感器的事件响应时间测量方法
    一种基于动量探测传感器的事件响应时间测量方法_兰州空间技术物理研究所_202511691251.3
    本发明公开了一种基于动量探测传感器的事件响应时间测量方法，通过基于压电效应的动量探测传感器，结合传感器阵列的不同响应时间，获取颗粒碰撞位置的方法。该方法其特点是：利用阈值检测及计数器结合的手段实现传感器阵列的响应时间的测量，通过其阵列的响应...
    2026-05-12
  • 一种基于AI技术的电力采集终端日计时误差自动补偿装置
    一种基于AI技术的电力采集终端日计时误差自动补偿装置_青岛鼎信通讯股份有限公司_202511689597.X
    本发明公开了一种基于AI技术的电力采集终端日计时误差自动补偿装置，涉及电力自动化领域。该装置包括误误差采集模块(采集终端计时误差、环境温度及供电电压等参数，计算日计时误差ΔT)”；“AI误差预测与补偿模型模块(基于随机森林、LSTM等模型，...
    2026-05-12
  • 一种能够实现微秒级计时的装置
    一种能够实现微秒级计时的装置_辽沈工业集团有限公司_202511723821.2
    本发明属于计时装置技术领域，公开了一种能够实现微秒级计时的装置，包括箱体(1)、面板(2)、核心板(3)和电池(9)；所述箱体(1)为刚性箱体，所述面板(2)固定于箱体(1)内，所述核心板(3)固定于面板(2)的下方，电池(9)固定在箱体内...
    2026-05-12
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