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  • 本发明公开了一种多孔聚合物保持架兜孔抛光装置及方法,其包括操作台,操作台的下端设置有控制箱,储存箱内设置有抛光液的温控系统;操作台的上端设置有三轴丝杠模组,三轴丝杠模组上设置有抛光组件;抛光组件的下方设置有夹持PPI保持架的装夹组件;储存箱...
  • 本发明涉及金属工件加工技术领域,公开了一种可实现高平整度与可控粗糙度的金属工件精密抛光设备,包括机体,所述机体的内侧安装有夹持翻转机构,所述夹持翻转机构用于在工件抛光过程中对工件进行定位,并在抛光后自动将工件翻面再次进行定位抛光,所述夹持翻...
  • 本发明公开了一种用于不锈钢零件加工的抛光定位装置,属于不锈钢制品加工技术领域。该装置包括底座、纵向滑台、横向滑台、承托平台、夹持组件及抛光组件。纵向滑台通过第一电机驱动沿底座纵向移动;横向滑台通过第二电机驱动沿纵向滑台横向移动;承托平台设于...
  • 本发明涉及抛光设备技术领域,本发明公开了一种医用导丝抛光设备,包括外壳、装卸口、主轴支撑架和多工位支架,主轴支撑架设置在外壳内部两侧,主轴支撑架共同旋转设置换位主轴,换位主轴上固定安装有多个多工位支架,装卸口设置在外壳侧壁,多工位支架设置有...
  • 本发明公开了一种全自动研磨机,包括工作台,还包括:驱动模块,所述驱动模块设置于工作台上;连接机构,所述驱动模块的外壁通过连接机构设置有研磨盘;支撑机构,所述支撑机构设置于工作台的外壁;其中,所述连接机构包括安装块,所述安装块的内壁通过弹性件...
  • 本发明提供一种晶圆抛光方法、抛光单元和处理设备,晶圆抛光方法包括:以预定工艺配方抛光晶圆;从多个抛光液供应位置中,确定抛光液流量与目标分区材料去除率为正相关关系的目标抛光液供应位置;检测目标分区的区内晶圆厚度差;比较区内晶圆厚度差与第一阈值...
  • 本发明的用于混合键合的化学机械抛光方法首先在第一抛光盘上对晶圆的表面进行第一抛光,直至去除晶圆的介质层表面的铜层。然后在第一抛光盘上对晶圆的介质层中的铜柱进行第二抛光,控制铜柱表面低于介质层表面且铜柱表面与介质层表面的第一高度差d11介于5...
  • 本发明提供一种适用于12英寸大硅片双面抛光的游星轮及其制造方法,包括内衬,工件孔的内侧壁上设有凹槽,内衬设置在所述工件孔的内侧壁上,所述轮盘本体采用马氏体不锈钢为基体,在基体双向表面设置有Si a‑C : H 涂层,其工艺在于,S1、对基体...
  • 本发明公开了一种水晶平面磨抛机用进料机构,包括机架,机架上设有带模孔的模板;设于模板下方的顶料机构,顶料机构包括若干顶料杆;设于机架一侧的上料机构,包括倾斜设置的料台,料台表面设有若干进料槽,进料槽的端部连通所述模孔,料台还设有可往复滑动的...
  • 本发明提供一种基于小孔节流的精密气浮主轴,包括缸筒、壳体、转轴、前后径向气浮轴承、前后轴向止推气浮轴承、驱动电机、拉刀机构及多种传感器;缸筒外圆设往复式螺旋凹槽与壳体形成螺旋冷却水路,后端盖集成进气、排气、冷却水及气控接口;压缩气体经轴向气...
  • 本发明公开了一种晶圆磨削定位工装设备,包括机架,所述机架的顶部设置有能够对碳化硅晶圆实施磨削的上磨削组件,所述机架的底部设置有能够对碳化硅晶圆实施磨削的下磨削组件,所述机架的中部设置有能够吸附碳化硅晶圆的真空卡盘;所述真空卡盘的底部铰接有若...
  • 本申请公开了一种基于流量阀液压控制系统的砂轮自动修正装置,其属于用于砂轮修正的驱动装置领域。包括:安装台;修正组件;所述基于流量阀液压控制系统包括:驱动油缸;油箱;动力件,用于在油箱和驱动油缸之间构建连接;控制件;所述流量阀设置在换向件和油...
  • 本发明提供了一种研磨液分配臂装置,包括:分配臂,分配臂包括壳体以及滑动组件,滑动组件可移动地与壳体连接;基座,分配臂的一端支撑于基座上,另一端用于延伸至抛光垫上方,滑动组件可沿分配臂的延伸方向移动;浆料管路,其与滑动组件固定连接,浆料管路包...
  • 本发明提供水切割水流收束喷射调整方法和系统,对目标对象被水切割的过程进行影像采集和识别,得到目标对象表面的水切割动作信息和水切割痕迹信息,并基于水切割动作信息,判断目标对象是否处于被稳定水切割状态;基于水切割痕迹信息,确定喷头喷射的水流在所...
  • 本发明公开了一种链轮铣皮用喷砂设备,属于喷砂设备技术领域,包括支撑座,所述支撑座的上端固定连接有喷砂仓,所述喷砂仓的内部安装有喷砂管,喷砂管的输入端与压缩机的输出端连接,所述喷砂管的输出端固定连接有喷枪。本发明的喷砂设备使用时,对链轮进行喷...
  • 本发明提供了一种用于管道内表面的磨料水射流抛光装置,涉及抛光设备领域,包括磨料射流生成装置、可变径行走机构以及自旋转喷嘴。所述磨料射流生成装置包括射流增压泵组、六轴机械臂以及浆料生成装置;所述的可变径行走机构包含机构主体、导向筒、限位板、预...
  • 本发明涉及喷丸防护的技术领域,具体为一种可调孔径的喷丸模块化防护装置及方法,包括双头螺纹拉杆、位于双头螺纹拉杆上的变径支撑机构、位于变径支撑机构两端的阻挡件和螺纹连接在双头螺纹拉杆上的调节件;所述变径支撑机构用于对孔的内壁形成支撑,所述调节...
  • 本发明提供一种聚氨酯柔性砂带及其制备方法。该聚氨酯柔性砂带包含依次层叠的布基层、胶层和聚氨酯抛光层。以重量份数计,聚氨酯抛光层的制备原料包含120~200份聚氨酯柔性树脂组合料、75~150份磨料、1~10份导热剂、20~65份填料和0~1...
  • 本发明涉及一种环保干磨石磨料及其制备方法,包括由外向内依次设置的外层功能层、中间过渡层和核心层,各层通过梯度交联网络形成连续过渡界面;外层功能层包括如下原料:改性碳化硅、金刚砂、生物基沙林树脂、微胶囊化植物油、纳米纤维素、硅烷偶联剂;中间过...
  • 本发明提供了一种表面结构化磨具的制备方法。本发明的表面结构化磨具的制备方法,通过将制备好的磨料‑结合剂混合浆料注入表面结构化的成型模具中,然后通过脱模、固化和干燥等步骤即可成型出表面结构化的磨具,成型过程简单,可实现高效低成本批量制备,成型...
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