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最新专利技术
  • 光阑装置及光刻设备
    光阑装置及光刻设备_智慧星空(上海)工程技术有限公司_202511351946.7
    本申请公开了一种光阑装置及光刻设备，属于光学仪器技术领域，本申请提供的光阑装置包括支撑结构；至少两个光阑盘同轴设置，至少两个光阑盘均绕同一中心轴线转动支撑于支撑结构上，每个光阑盘上均开设有多个沿中心轴线的延伸方向贯穿的透光孔；其中任意相邻的...
    2026-03-25
  • 一种共轴双台面LDI曝光机及其工作方法
    一种共轴双台面LDI曝光机及其工作方法_优盛科技(苏州)有限公司_202511356373.7
    本申请公开了一种共轴双台面LDI曝光机及其工作方法，该曝光机的底座上沿Y轴设置第一直线导轨，第一直线导轨能在第一直线电机的驱动下带动相对设置在其两端的A载台和B载台沿第一直线导轨前后独立滑移，A载台和B载台的下方分别设有三自由度微动平台，三...
    2026-03-25
  • 监控结构、芯片、监控方法及光刻工艺控制系统
    监控结构、芯片、监控方法及光刻工艺控制系统_芯联集成电路制造股份有限公司_202511362916.6
    本发明提供一种监控结构、芯片、监控方法及光刻工艺控制系统，通过在芯片划片道设置多个监控垫，通过多个所述监控垫分别模拟用以形成所述目标器件的不同光刻工艺层的打开和关闭状态，从而模拟所述目标器件终端结构的台阶差；所述监控垫的开口尺寸与相应所述光...
    2026-03-25
  • 一种高精度电路板线路曝光定位校准设备
    一种高精度电路板线路曝光定位校准设备_湖南维胜科技有限公司_202511383039.0
    本发明公开了一种高精度电路板线路曝光定位校准设备，涉及电路板线路曝光技术领域，包括架体和曝光模块，所述架体的顶部一侧设置有顶架，且顶架的内部安装有用于辅助光学校准的校准组件，所述校准组件包括滑座、伺服电机二、丝杆一、螺纹块、丝杆二和伺服电机...
    2026-03-25
  • 一种金属掩膜版激光光绘机
    一种金属掩膜版激光光绘机_山东奥莱电子科技有限公司_202511533174.9
    本发明公开了一种金属掩膜版激光光绘机，属于光绘机技术领域，其特征在于：包括机架、激光发射机构、工件定位机构、上片机构和下片机构；所述工件定位机构包括第一真空吸附辊，第一真空吸附辊的两侧的辊轴分别与机架转动配合，真空吸附辊一侧的辊轴通过管道与...
    2026-03-25
  • 光刻机的阶梯温度模糊控制方法及控制装置
    光刻机的阶梯温度模糊控制方法及控制装置_深圳市国仪兴科技有限公司_202511625112.0
    本发明公开了光刻机的阶梯温度模糊控制方法及控制装置，涉及温度控制相关技术领域，方法包括：在光刻机的温度执行单元设置初始阶梯温度模糊控制策略并通过阶梯模糊控制器执行；实时采集干扰信号，提取干扰特征向量；检测当前执行阶梯温度模糊控制策略并对干扰...
    2026-03-25
  • 通过曝光有源区监控掩模版工件台运动状态的方法
    通过曝光有源区监控掩模版工件台运动状态的方法_上海华力集成电路制造有限公司_202511695374.4
    本申请提供一种通过曝光有源区监控掩模版工件台运动状态的方法，包括：步骤一，提供晶圆，对晶圆进行有源区曝光，针对该曝光的焦距能量矩阵测试的中心能量/焦距为相应工艺平台下对有源区不进行任何套准误差补偿的最佳能量/焦距；步骤二，根据焦距能量矩阵测...
    2026-03-25
  • 曝光灯组安放装置
    曝光灯组安放装置_江苏载曜光电科技有限公司_202511727625.2
    本发明公开了曝光灯组安放装置，属于曝光设备领域。包括承载台和支撑组件，承载台包括连接板和分区架，连接板上贯穿设置有多个通孔，分区架固定于连接板的顶部，分区架的内腔形成若干容置区，支撑组件至少包括支脚和衔接件，支脚用于支撑承载台并使其悬浮于工...
    2026-03-25
  • 抑制掩模三维效应的光刻装置制备方法和光刻装置
    抑制掩模三维效应的光刻装置制备方法和光刻装置_中国科学院大学_202511752055.2
    本申请提供了一种抑制掩模三维效应的光刻装置制备方法，可以应用于集成电路制造和光刻技术领域。该抑制掩模三维效应的光刻装置制备方法包括：基于预设的构型参数，构建多个候选金属‑介质多层膜结构，不同的候选金属‑介质多层膜结构中金属层材料不同；获取多...
    2026-03-25
  • 一种边缘曝光装置及曝光方法
    一种边缘曝光装置及曝光方法_苏州汇影光学技术有限公司_202511853234.5
    本发明公开了一种边缘曝光装置及曝光方法，属于边缘曝光技术领域，包括上料组件，所述上料组件的内侧设置有上料机构，所述上料组件的侧位设置有周转架，所述周转架顶部的两侧均连接有曝光架，两个曝光架之间连接有两个第一直线模组，两个第一直线模组的两个滑...
    2026-03-25
  • 基片处理方法、基片处理装置、基片处理系统和程序产品
    基片处理方法、基片处理装置、基片处理系统和程序产品_东京毅力科创株式会社_202510890165.9
    本发明提供一种有效地抑制通过光刻而形成的图案的偏差的基片处理方法、基片处理装置、基片处理系统和程序产品。基片处理方法包括：对基片的表面进行感光性覆膜的成膜处理的步骤；将成膜处理完毕的基片收纳于第一腔室，在第一腔室内对感光性覆膜进行曝光处理的...
    2026-03-25
  • 一种光刻板、套刻误差测量方法及介质
    一种光刻板、套刻误差测量方法及介质_张江国家实验室_202410895462.8
    本申请涉及芯片制造技术领域，尤其涉及一种光刻板、套刻误差测量方法及介质，用以提高套刻误差测量的准确性；光刻板包括第一光栅标记组和第二光栅标记组，其中第一光栅标记组用于套刻误差的测量，第二光栅标记组用于进行包括光刻板在内的套刻误差测量系统自身...
    2026-03-25
  • 调色剂、调色剂组、图像转印片材、调色剂收纳单元
    调色剂、调色剂组、图像转印片材、调色剂收纳单元_株式会社理光_202510885018.2
    本发明涉及调色剂、调色剂组、图像转印片材、调色剂收纳单元、图像形成装置及图像形成方法。本发明提供对由布等具有可挠性的纤维构成的介质的定影性优异、且具有充分的可挠性的调色剂。本发明的调色剂的玻化温度(Tg1)小于0℃，在调色剂粒子的截面SEM...
    2026-03-25
  • 图像形成系统
    图像形成系统_富士胶片商业创新有限公司_202510135704.8
    本发明公开了一种图像形成系统，其具备：旋转的像保持体；曝光装置，所述曝光装置与所述像保持体相对配置，具有沿所述像保持体的轴向排列的多个透镜，对所述像保持体进行曝光；显影装置，所述显影装置将通过所述曝光装置形成于所述像保持体上的静电潜像显影为...
    2026-03-25
  • 检查装置和图像形成系统
    检查装置和图像形成系统_佳能株式会社_202510864420.2
    公开了检查装置和图像形成系统。检查装置获得通过读取形成有图像的片材而生成的检查图像，基于参考图像对检查图像进行检查，计算第一缩放因子，该第一缩放因子是在参考图像的整体被显示在显示设备的显示区域内的情况下参考图像的缩放因子，以及在第一缩放因子...
    2026-03-25
  • 图像形成装置
    图像形成装置_兄弟工业株式会社_202510814206.6
    提供能够容易地进行色粉容器的闸门部件的开闭，并且容易地进行处理盒向主体壳体的装卸的图像形成装置。图像形成装置具备：具有开口部的主体壳体；具备鼓单元、显影单元及接收部的处理盒，该鼓单元具有感光鼓，该显影单元具有显影辊，该接收部能够与色粉容器所...
    2026-03-25
  • 筒状构件、电子照相用弹性辊、处理盒和电子照相设备
    筒状构件、电子照相用弹性辊、处理盒和电子照相设备_佳能株式会社_202510858606.7
    筒状构件、电子照相用弹性辊、处理盒和电子照相设备。在以面积矩心K为原点的XY坐标平面中，面积矩心D1至D9中的至少一者坐落于以面积矩心K为圆心的具有10μm半径的圆的外侧。在以面积矩心K为原点的XY坐标平面中，所有的面积矩心D1至D9都坐落...
    2026-03-25
  • 一种长寿命有机光导鼓芯
    一种长寿命有机光导鼓芯_淮安展德光电科技有限公司_202511688461.7
    本发明公开了一种长寿命有机光导鼓芯，包括光导鼓以及安装在光导鼓两端的转动端头，所述转动端头的外壁套有大轴承，大轴承的外圈上固定有承载环，承载环的相对面嵌入式安装有小轴承，小轴承的内圈固定有T型台，两个T型台之间固定有一个防护罩；所述防护罩为...
    2026-03-25
  • 曝光装置及图像形成装置
    曝光装置及图像形成装置_富士胶片商业创新有限公司_202510126156.2
    本发明公开了一种曝光装置及图像形成装置，所述曝光装置具备：透镜组，所述透镜组沿旋转的像保持体的轴向延伸，具有供曝光所述像保持体的光透过的多个透镜；框体，所述框体安装有所述透镜组；基板，所述基板在所述透镜组间在所述像保持体的相反侧安装于所述框...
    2026-03-25
  • 发光装置、曝光装置及图像形成装置
    发光装置、曝光装置及图像形成装置_富士胶片商业创新有限公司_202510126203.3
    本发明公开了发光装置、曝光装置及图像形成装置，发光装置具备阳极端子被施加基准电位、阴极端子共同连接于限流电阻一端的多个发光元件；对多个发光元件依次输出点亮指示信号而将其依次点亮的点亮指示部；对限流电阻另一端施加点亮电位的点亮电位施加部；使在...
    2026-03-25
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