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  • 本发明涉及一种用于操作微光刻投射曝光设备中的至少一个固态致动器的方法,包括以下步骤:•请求用于所述至少一个固态致动器的目标变量(S1),•使用存储的或可存储的校正模型来确定控制变量,所述校正模型包括用于蠕变的校正函数(S2),以及•使用所述...
  • 非光学传感器系统追踪并检测各种光致抗蚀剂工艺的终点。光致抗蚀剂工艺可包括沉积、显影、斜面边缘和/或背面清洁、烘烤、蚀刻和室清洁操作。室清洁可涉及对非预期的含金属材料进行热清洁与等离子体清洁中的一或两者。热清洁或远程等离子体清洁的终点检测使用...
  • 用于在光刻设备中使用的组件,组件包括:热调节板,热调节板包括内部通道网络,内部通道网络用于使制冷剂在内部通道网络中流动;以及多个超导线圈,多个超导线圈用于使台在多个超导线圈上磁悬浮并且线性地移位,其中多个超导线圈与热调节板的外表面热接触。
  • 描述了使用基于显微镜的传感器测量套刻。这提供了利用单个系统测量对准和套刻的能力以及其他优点。来自传感器的信号是强度调制条纹图案(例如干涉图案)。传感器被配置为基于从图案化衬底的第一层中的第一量测标记和图案化衬底的第二层中的第二量测标记接收的...
  • 用于波长分辨束轮廓分析的系统和设备。设备包括束监测组件,束监测组件被配置为接收包括多个波长的辐射束,并且提供多个波长的衍射辐射,其中多个波长中的每个波长在衍射辐射中被空间地分离。设备包括颜色选择器,颜色选择器被配置为选择衍射辐射的部分。设备...
  • 传感器板(400)包括被配置为测量不同的环境状况的多个板载传感器(404)、用于连接一个或多个板外传感器的网络接口(408)、被配置为接收并处理来自该多个板载传感器(404)和该一个或多个板外传感器的不同数据格式的数据的处理器(412)以及...
  • 一种生成包括资源并且描述特定工厂中特定生产的过程流的主配方的方法,包括:在不识别待用于执行过程的资源的情况下,获得包括与过程流相关的信息的通用配方。该方法包括:以第一语义图的形式确定通用配方的所需能力;以第二语义图的形式确定至少一个工厂所提...
  • 本申请涉及自主工作机器的控制方法、存储介质及自主工作机器,自主工作机器的控制方法包括:响应于自主工作机器的运行模式为沿边界工作模式,并且自主工作机器检测到工作区域的第一边界和第二边界,控制自主工作机器基于第一方向移动,以沿第一边界移动,第一...
  • 一种割草机器人的控制方法、装置、设备及存储介质,应用于机器人控制技术领域。该控制方法包括:割草机器人包括第一模式、第二模式和第三模式;设置割草机器人的作业模式(S201);在作业模式为第一模式的情况下,基于目标割草区域的外轮廓边界生成第一路...
  • 贴合完成构件制造装置具备具有载置面的支承构件、摄像头、在与第二构件进行贴合时支撑第一构件的平台、使支承构件移动的移动装置、以及控制装置。控制装置预先存储相对于载置面载置在标准位置的第一构件的位置,并求出由摄像头拍摄到的第一构件相对于标准位置...
  • 冷却系统具备:冷却单元,具有:对发热体进行冷却的多个冷却装置、向冷却装置分配制冷剂的入口侧集管及被从各冷却装置排出制冷剂的出口侧集管;自然循环部,具有将出口侧集管与入口侧集管连接的自然循环管线及设置于自然循环管线的中途且冷却单元的上方的第一...
  • 各种实例涉及用于在包括计算元件及存储器装置的计算系统中生成一组伪随机数的系统及方法。所述存储器装置的存储器控制器可从所述计算元件接收生成一组伪随机数的指示。所述存储器控制器可生成所述一组伪随机数且将所述一组伪随机数写入到所述存储器装置的存储...
  • 各种实例针对于涉及包括存储器阵列及存储器控制器的受管理NAND非易失性存储器装置的系统及方法。所述存储器控制器可从请求装置接收验证请求,所述验证请求包括所述存储器阵列的第一部分的指示,及第一已知校验值。所述存储器控制器可至少部分基于来自所述...
  • 所公开的技术针对用于在其中期望紧急响应的情况下处置系统管理中断的计算设备。在一些示例中,计算设备包括存储器控制器和处理器。存储器控制器响应于确定存储器访问与攻击模式相匹配,将寄存器设置为一个值,并且触发系统管理中断。当检测到系统管理中断时,...
  • 根据本发明的一个方面,一种用于将逻辑专用主机和与其相关联的虚拟机(VM)从第一物理服务器动态迁移到第二物理服务器的计算机实现的方法包括:响应于接收到从第一物理服务器迁移逻辑专用主机的请求,创建逻辑专用主机的克隆,从而创建克隆专用主机。在第二...
  • 云基础设施编排服务(CIOS)可以跟踪由任何合适数量的区域编排器进行的构建进度。云基础设施编排系统可以包括任何合适数量的区域编排器,每个区域编排器在隔离的托管环境(例如,与其他服务小区隔离的服务小区)中执行。编排器控制平面可以被配置为生成用...
  • 一种云基础设施编排服务(CIOS)可以跟踪构建进度。一种服务计划可以定义用于引导服务(例如,供给和部署服务的资源)到执行目标(ET)(例如,数据中心的设备的集合)的释放的第一执行次序。第一执行次序可以使用ET检查点之间的转变来定义,其中每个...
  • 云基础设施编排服务可以维护与要引导(例如,供给和部署)到云计算环境(例如,到数据中心)的服务对应的服务计划和清单(SPAM)。服务计划可以指定释放的确定性次序,用于使用一个或多个构建里程碑和一个或多个执行单元来执行完整引导服务的处理,每个执...
  • 技能和技能元数据可以用于定义用于构建数据中心的处理。一个服务的技能可能依赖于与相同或不同服务对应的技能。可以基于这些依赖关系生成依赖关系图。该图可以指定执行编排操作以构建服务的顺序,从而构建数据中心。在执行用于构建数据中心的处理期间,可以(...
  • 云基础设施编排服务(CIOS)可以被用于创建服务计划和清单(SPAM),该SPAM定义用于将服务(例如,供给和部署服务的资源)引导到云计算环境(例如,引导到数据中心)的释放的确定性次序。对应的清单可以被用于识别要使用的配置文件和工件。清单可...
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