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MEMS封装结构及其制备方法
本发明提供一种MEMS封装结构及其制备方法, 通过在盖板上形成内侧壁朝衬底法线同一侧倾斜的倾斜通孔, 并结合常规薄膜沉积工艺沉积遮挡层, 倾斜的孔口边缘为沉积薄膜提供了更有效的“搭桥”效应, 使薄膜能够在孔口顶部快速横向生长并遮挡孔口, 同...
MEMS封装结构及其制备方法
本发明提供一种MEMS封装结构及其制备方法, 通过在沉积遮挡层时使沉积源的沉积方向与通孔的延伸方向之间具有夹角α, 即采用倾斜角度沉积技术来遮挡通孔, 实现了显著减少腔内沉积物、保持MEMS器件高性能、避免内部污染和粘连、提高封装的适用性以...
一种利用氨气耦合碳酸盐反应制备合成气的方法
本发明提供一种利用氨气耦合碳酸盐反应制备合成气的方法, 属于碳酸盐热解领域。本发明以氨气替代氢气作为氢源用于碳酸盐热分解, 引入氢源降低了热分解温度, 同时在分解过程中生成氢气和一氧化碳, 碳酸盐分解过程中, 碳酸盐与氨气耦合, 实现还原、...
一种基于动态比例控制的甲醇-脱盐水汽化反应系统及方法
本发明公开了一种基于动态比例控制的甲醇‑脱盐水汽化反应系统及方法, 涉及能源利用技术领域, 包括, 基于甲醇‑脱盐水实时混合比例参数的突变检测, 触发冷能相变强化机制, 生成高温汽化混合气;基于高温汽化混合气进行催化裂解反应生成含氢转化气,...
由金属硼氧化物制备金属硼氢化物的方法
本发明涉及由金属硼氧化物制备金属硼氢化物的方法。一种由金属硼氧化物Me(BO2)n制备金属硼氢化物Me(BH4)n的方法, 其中Me是金属或表现出类金属行为并可以作为金属的分子, 而n是能够与金属的化合价相关的整数, 其中在第一流化床步骤中...
低浓度氨水、盐酸循环利用的萃取分离方法
本发明公开了一种低浓度氨水、盐酸循环利用的萃取分离方法, 包括:对酸性萃取剂进行皂化, 皂化有机再与混合金属氯化物溶液萃取分离, 生成负载有机相和低浓度氯化铵溶液, 萃取分离后负载有机相经稀盐酸反萃取, 得到分组或单一金属氯化物溶液;低浓度...
一种三氟化氯的合成方法
本发明涉及一种三氟化氯的合成方法, 包括如下步骤:S1、将冷阱与反应器金属管道气体出口连接, 金属氯化物加入反应器中, 加入量为反应器的三分之二, 并进行保压;S2、冷阱降温至‑100~‑60℃;S3、将反应器金属管道进行加热升温至850~...
一种低成本长时期存储臭氧的方法
本发明公开了一种低成本长时期存储臭氧的方法, 属于天然抗菌剂技术领域。本发明通过将臭氧与柠檬酸结合形成臭氧化合物, 解决了臭氧在常温下易分解的问题, 使其可在常规环境中长期保存;本发明采用电解法制备臭氧, 并结合常规水浴搅拌工艺, 无需复杂...
一种含多硫化锂的硫化锂材料的制备方法及其应用
本发明涉及一种含多硫化锂的硫化锂材料的制备方法及其应用。制备方法包括如下步骤:按2:1.01~1.10的摩尔比称取氢化锂、硫粉, 将氢化锂分为2~4份, 取一份氢化锂与硫粉混合球磨, 将剩余的氢化锂依次加入并球磨, 得到含硫化锂与多硫化锂的...
烟气制酸系统及烟气制酸方法
本申请属于烟气制酸领域, 具体提供了烟气制酸系统及烟气制酸方法, 烟气制酸系统包括:干燥装置去除冶炼烟气中的水分, 得到第一烟气和第一硫酸;转化装置, 与所述干燥装置相连, 用于将所述第一烟气中的二氧化硫转化为三氧化硫, 得到第二烟气;HR...
一种层状Cu2Se材料及其制备方法和应用
本发明属于硒化合物领域, 具体涉及一种层状Cu2Se材料及其制备方法和应用。该层状Cu2Se材料包括两层硒和位于所述两层硒之间的铜构成的Se‑Cu‑Se重复层单元, 所述Se‑Cu‑Se重复层单元中Cu、Se的原子比为2 : 1;所述Se‑...
一种长径比可调的氮化硼棒状粉体及其制备方法
本发明公开了一种长径比可调的氮化硼棒状粉体及其制备方法, 其特征在于, 包括:制备棒状前驱体粉末, 喷淋处理, 低温处理, 一次高温处理, 后处理, 二次高温处理;所述喷淋处理, 对棒状前驱体粉末进行搅拌, 同时向棒状前驱体粉末表面均匀喷淋...
一种用于氮化硅粉体的脱氧剂及脱氧方法
本发明公开了一种用于氮化硅粉体的脱氧剂及脱氧方法, 属于无机非金属材料技术领域。本发明的脱氧剂由A、B两种物质组成:A物质为稀土氟化物, 在脱氧剂中所占的质量分数为80%~95%;B物质为稀土氧化物, 在脱氧剂中所占的质量分数为5%~20%...
一氧化氮制备单元
本发明提供了一种一氧化氮制备单元, 涉及一氧化氮制备技术领域。该一氧化氮制备单元包括反应室和电极组件;反应室具有反应腔室, 且反应腔室的第一端面上设有进气口和出气口;反应腔室的第二端面与第一端面相对设置, 且第二端面与与其连接的侧壁之间设有...
一种基于梯度热压反应的硫化物固态电解质及其制备方法
本发明涉及固态电解质技术领域, 具体公开了一种基于梯度热压反应的硫化物固态电解质及其制备方法。所述硫化物固态电解质的制备方法, 包括以下步骤:S1、在惰性气氛保护下, 将LiCl、Li2S、P2S5按目标产物化学计量比混合球磨, 得到前驱体...
一种磷酸盐废水回收制备磷酸的生产方法
本发明提供一种磷酸盐废水回收制备磷酸的生产方法, 属于活性炭生产技术领域, 其方法是将回收磷酸法活性炭的洗涤工序的磷酸盐废水再经净化、浓缩, 再经电渗析分离得到高浓度和高纯度的磷酸, 提高磷酸梯度回收工序的浆料槽浆料中磷酸浓度, 降低磷酸蒸...
一种粉状磷酸一铵的生产方法及生产系统
本申请公开了一种粉状磷酸一铵的生产方法及生产系统, 用于提高粉状磷酸一铵的生产效率和纯度。本申请方法包括:通过磷酸输送泵将磷酸输送至配酸槽进行配酸;将配酸后的磷酸输送至管式反应器与氨气反应获得磷酸一铵料浆;将磷酸一铵料浆输送至干燥塔内进行热...
一种氨碱法固废制备羟基磷灰石的方法
本发明提供了一种氨碱法固废制备羟基磷灰石的方法, 属于固废资源化综合利用和无机材料合成领域。本发明首先以氨碱法的固废蒸氨废清液与碱渣配制成浆料, 与浓盐酸反应, 然后投加含钙碱性固体物质调节pH、除杂并增浓后, 得到浓度为25.08‑32....
采用硫酸亚铁副产物制备钛掺杂磷酸铁的方法以及钛掺杂磷酸铁
本发明提供了一种采用硫酸亚铁副产物制备钛掺杂磷酸铁的方法以及钛掺杂磷酸铁, 属于锂离子电池领域。该方法包括:步骤1, 投加10‑18ml的硫酸亚铁副产物做底水至反应容器中, 进行搅拌;步骤2, 投加稀磷酸溶液并持续搅拌;步骤3, 投加双氧水...
一种无水磷酸铁及其制备方法、正极材料、正极极片及二次电池
本申请提供了一种无水磷酸铁及其制备方法、正极材料、正极极片及二次电池, 属于二次电池技术领域, 其中, 无水磷酸铁的一次颗粒为棒状结构, 一次颗粒的棒状结构的长轴长度与短轴长度之比为(5.5~11.4):1。本申请提供的无水磷酸铁的一颗粒为...
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