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  • 本发明与控制装置中的控制程序的执行状态相匹配地向分发目的地发送数据,抑制无用的数据发送。控制装置基于控制程序来控制工业机械,将所取得的数据作为分发数据向一个以上的分发目的地发送,该控制装置具备:按控制程序要素区分的目的地信息取得部,其针对控...
  • 公开了一种确定光刻设备上的基准劣化的方法,所述方法包括:从所述光刻设备的测量侧获得第一基准度量数据;从所述光刻设备的曝光侧获得第二基准度量数据;确定描述所述第一基准度量数据与所述第二基准度量数据之间的相关性的相关性度量;以及确定基准是否已经...
  • 本发明涉及一种用于制造光刻设备(1)的光学系统(100)的方法,其中光学系统(100)包括具有光学有效表面(106)和基板(104)的光学部件(102),所述方法包括:a)为一个或多个光学部件(102、202a、202b、202c)的基板(...
  • 空间光调制单元包括空间光调制器和罩,该空间光调制器包含具有二维排列的多个反射镜的调制部、包围所述调制部的框体/以及搭载有所述调制部和所述框体的基板,所述罩在所述空间光调制器中位于光射入所述调制部的一侧,安装于所述空间光调制器且限制光向所述框...
  • 一种磁穿隧接面元件的制造方法,其制造在基板上直接或间接地依次包括磁穿隧接面层及金属层的磁穿隧接面元件,所述制造方法包括:在所述金属层上形成抗蚀剂底层膜的工序;在所述抗蚀剂底层膜上形成硅氧化膜的工序;以及在所述硅氧化膜上形成抗蚀剂膜的工序,所...
  • 本发明的课题在于提供一种感光性树脂组合物,其在成为固化膜时,具有高透明性与耐化学药品性,而且膜应力低,对于含有钼、铝或镍的金属层具有高密合性。为了解决该课题,提出了一种感光性树脂组合物,其是包含具有自由基聚合性基的硅氧烷树脂、金属螯合剂和光...
  • 本发明提供一种固化性组合物,其含有树脂、聚合性化合物及光聚合引发剂,光聚合引发剂含有:肟化合物C1,其在波长248nm下的吸光系数为75000mL/(g·cm)以上;及肟化合物C2,其为与肟化合物C1不同的化合物且在波长365nm下的吸光系...
  • 接收在工件的检验区域内随机缺陷的初始发生概率。按照所述初始发生概率对所述随机缺陷的全部位置进行排序。确定累积预期缺陷计数且将所述累积预期缺陷计数正规化为总预期缺陷计数的分率。确定用于捕捉高于总随机缺陷的阈值的潜在随机缺陷的缺陷位置的数目。
  • 本发明涉及一种光学系统(300),其具有多个可致动光学元件(310)和多个用于致动和/或感测光学元件(310)的致动器/传感器装置(200),该光学系统具有用于为光学系统(300)的多个电负载(500,L1‑L12)提供供电电压(VS)的供...
  • 一种用于成像系统的光学测量标记,包括反射区,所述反射区被配置成反射入射辐射以用于由所述成像系统形成所述光学测量标记的图像。所述光学测量标记包括扩散子结构,所述扩散子结构被配置成散射所述入射辐射以用于增加所述成像系统的数值孔径的照射。
  • 一种制造用于物体保持器的电极的方法,所述方法包括在第一绝缘层上形成至少两个电极部分,所述至少两个电极部分彼此间隔开,在所述第一绝缘层上在所述至少两个电极部分之间形成至少一个绝缘部分,使得所述至少一个绝缘部分填充所述至少两个电极部分之间的空间...
  • 本文提供了用于使基板对准的基板支撑件的实施例。在一些实施例中,一种用于使基板对准的基板支撑件包括:底板;旋转组件,所述旋转组件包括定子和转子,所述定子耦接到所述底板,所述转子经由设置在所述定子与所述转子之间的轴承可旋转地耦接到所述定子;波纹...
  • 本发明涉及一种用于确定样品在可绕旋转轴线旋转的样品台上的取向的方法。该方法包括:a)将样品相对定位在第一位置;b)使样品相对于高度传感器旋转通过第一旋转角度;以及c)在旋转期间使用高度传感器重复测量样品的第一高度。在该过程中,为了测量第二高...
  • 一种电光介质,其包含封装的材料和粘合剂,所述封装的材料被配置成在施加电场时切换光学状态,并且所述粘合剂包含具有多个侧链的聚合物,其中所述侧链的至少一部分具有离子部分。
  • 提供一种液晶取向剂、由该液晶取向剂得到的液晶取向膜以及液晶显示元件,所述液晶取向剂在室温保存时产生的液晶取向膜的预倾角的变动得到抑制,含有两种以上聚酰胺酸。一种液晶取向剂,其特征在于,能形成预倾角为0°以上且小于3°的液晶取向膜,所述液晶取...
  • 本公开涉及电光调制器和操作该电光调制器的方法。一种电光调制器,包括:基底;光波导,其被布置在所述基底上;以及第一石墨烯层,使得输入光在操作期间被电光调制器吸收。电光调制器被配置为在8微米至15微米的波长下操作。
  • 一种优选地经调适及布置用于修改电磁波的至少一个性质、更优选地经调适及布置用于调节电磁波的装置(100)包括:a.波导(101),其经调适及布置用于传播电磁波;b.第一元件(102)及第二元件(103),i.其中在所述装置(100)的横切面中...
  • 本发明的目的是提供一种制造内包作为与隐形眼镜基材性质不同的材料的疏水性构件的混合型隐形眼镜的方法,该方法步骤具体,且对隐形眼镜光学特性的影响较小。上述目的通过以下方法等解决,该方法包括:对由公模和母模嵌合而成的成型模进行第一共聚反应,其中,...
  • 现有的VR眼镜的扬声器漏音。若单纯地将PSZ扬声器用于VR眼镜的扬声器,则低频衰减。为了解决这些课题,本公开所涉及的带扬声器的眼镜腿具备扬声器和管路。扬声器配置为靠近眼镜腿的前框端。管路在靠近眼镜腿的耳挂端且在佩戴眼镜时位于外耳孔的附近的位...
  • 本发明基于一种瞳孔探测方法,尤其是用于数据眼镜(10),其具有至少一个扫描步骤(30),在该步骤中,至少一个激光反馈干涉测量(LFI)传感器(14)的激光束(12)、尤其是红外激光束,尤其是借助MEMS微镜系统(16)在用户眼睛(18)的可...
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