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半导体光学元件及其制造方法
公开了一种半导体光学元件和一种用于制造一半导体光学元件的方法。该半导体光学元件包括在一半导体基板上的一第一主动层和一第二主动层。该第一主动层是配置在该半导体基板的一激光区段上,该第二主动层是连接至该第一主动层且延伸于该半导体基板的一隔离区段...
制造半导体光学元件的方法
提供了一种制造半导体光学元件的方法,所述方法包含下列步骤:提供具有一第一传导类型的一半导体基板;于该半导体基板上沉积具有第一传导类型的一第一包覆层;于该第一包覆层上沉积一主动层;于该主动层上沉积具有一第二传导类型的一第二包覆层,其中第二传导...
一种垂直腔面发射激光器及其氧化孔径控制方法
本发明涉及半导体光电子器件技术领域,公开一种垂直腔面发射激光器及其氧化孔径控制方法,其中,垂直腔面发射激光器的P型电极上集成有散热结构,有源区的侧壁上设有掩埋异质结结构,氧化限制层的侧壁上设有限制层孔道;氧化孔径控制方法包括:根据制备的激光...
一种非对称自旋注入的垂直腔面发射器及其制备方法
本发明公开一种非对称自旋注入的垂直腔面发射器及其制备方法,属于半导体激光器技术领域,该发射器包括GaAs衬底,依次生长在衬底上的GaNnAs自旋增强层和GaAs过渡层,以及制备在过渡层表面的非对称异质势垒结构,该结构由Al22O33绝缘层和...
表面发射激光器
本申请实施例涉及一种表面发射激光器,包括:衬底;设于所述衬底上的底部反射镜结构、活性层和顶部反射镜结构;光栅结构,设于所述顶部反射镜结构上;所述光栅结构包括光栅基层和对光栅基层进行刻蚀形成的多条刻蚀道,所述多条刻蚀道在所述衬底上的投影轮廓为...
光子晶体面发射激光器
本发明提供光子晶体面发射激光器,其具备:第一半导体层;有源层;光子晶体层;第二半导体层;第一电极;第二电极;以及电介质膜。光子晶体层具有第一区域、和具有与第一区域不同的折射率的多个第二区域。第一电极具有开口部。在层叠方向上,第二电极与开口部...
光子晶体面发射激光器及其制造方法
本发明提供一种能够有助于单一模式下的振荡的光子晶体面发射激光器及其制造方法。光子晶体面发射激光器具备:第一半导体层;有源层,层叠于所述第一半导体层;光子晶体层,层叠于所述有源层;第二半导体层,相对于所述有源层而设置为与所述第一半导体层相反;...
光子晶体面发射激光器及其制造方法
本发明提供一种能够提高光输出的光子晶体面发射激光器及其制造方法。光子晶体面发射激光器具备:第一半导体层;有源层,层叠于所述第一半导体层之上;第二半导体层,相对于所述有源层而设置为与所述第一半导体层相反;光子晶体层,设置于所述第一半导体层与所...
调制光栅Y分支宽带调谐外腔激光器、设备
本申请公开了调制光栅Y分支宽带调谐外腔激光器、设备,该调制光栅Y分支宽带调谐外腔激光器包括:半导体光放大器SOA增益芯片区;外腔波导区;耦合模块,半导体光放大器SOA增益芯片区和外腔波导区通过耦合模块耦合连接,其中,外腔波导区包括:波导结构...
一种基于多层光子过滤层的高功率单模激光器结构
本发明涉及垂直腔面发射激光器技术领域,特别是涉及一种基于多层光子过滤层的高功率单模激光器结构,包括衬底层,衬底层上设置有DBR,DBR内嵌设有有源区;DBR内嵌若干光子过滤层,光子过滤层的横向呈现中心低折射率区与外围高折射率区的一体化分布,...
一种基于模式结点选择性滤模的垂直腔面发射激光器
本发明公开一种基于模式结点选择性滤模的垂直腔面发射激光器,属于半导体激光器技术领域,包括衬底,衬底的顶面设有下层n型DBR,下层n型DBR的顶面由下至上依次设有有源区、氧化限制层、上层p型DBR,下层n型DBR的顶面还设有负电极,上层p型D...
基于环状刻蚀金属光栅的二维全固态大角度蝶型激光器
本发明涉及半导体激光器技术领域,具体为基于环状刻蚀金属光栅的二维全固态大角度蝶型激光器,包括:衬底;激光量子阱增益层,设置在所述衬底的上端面;环状刻蚀金属光栅,设置在所述激光量子阱增益层的上部波导层;上包层,通过半导体二次外延法构建在所述环...
一种具有高功率平坦度的多波长半导体激光器
一种功率平坦的多波长半导体激光器,包括有源增益区、相位调节区、滤波区、增益平坦区和反射区,有源区与无源区集成在同一基底上,有源区一侧镀高反膜;相区上制作热调电极;滤波区制作微环结构;增益平坦区制作级联非平衡马赫曾德尔干涉仪;反射区制作萨格纳...
基于法布里-珀罗腔多峰锁定的激光频率失谐与控制方法及实现该方法的系统
本申请公开了一种基于法布里‑珀罗腔多峰锁定的激光频率失谐与控制方法及实现该方法的系统,其中控制方法包括以下步骤:将已锁定腔长的法布里‑珀罗腔作为稳定的频率参考源;将待稳频激光器输出的激光入射至所述法布里‑珀罗腔,检测其透射光强信号;通过控制...
一种激光器电流检测与动态控制方法及系统
本申请公开了一种激光器电流检测与动态控制方法及系统,方法包括:步骤1:控制模块设定预设电流I0后,控制N组电流检测模块分别对N颗激光器的N个实际工作电流IN进行实时采样并处理,得到N个数字采样信号,将N个数字采样信号发送给控制模块;步骤2:...
一种高重频锁模外腔半导体激光器
本发明提供一种高重频锁模外腔半导体激光器,包括可饱和吸收体区、增益区、相位调节区、分光区、微环谐振区。相位调节区、分光区和微环谐振区构成外腔,增益区提供光学增益,可饱和吸收区一侧镀有高反膜,与外腔结构共同构成光学谐振腔。当法布里玻罗谐振腔与...
一种VCSEL芯片发光角度的调控方法
本发明涉及一种VCSEL芯片发光角度的调控方法,包括:基于目标发散角,确定一个能通过热光效应实现该发散角的标准横向温度分布模板;于其发光单元周围的半导体层内,制备出一种通过其自身的图形与布局来主动调节发光单元周围的横向温度分布情况的集成式散...
一种紫外波段激光产生装置
本公开属于固态激光器技术领域,提供了一种紫外波段激光产生装置。该装置包括集成于同一衬底上的固态激光器、倍频模块、光电探测器,以及外接的PID控制模块;固态激光器为InxxGa1‑1‑xxN/MyyGa1‑y1‑yN结构,其中InxxGa1‑...
一种DFB激光器中有源区的防氧化处理方法
本发明公开一种DFB激光器中有源区的防氧化处理方法,包括:首先在暴露出AlInGaAs有源区侧壁的刻蚀面上,通过多硫化铵溶液处理形成硫化物钝化保护层;随后施加有机硅前驱体蒸汽与臭氧的混合气体进行气相处理,在保护层表面及边缘构建硅氧烷基交联网...
一种紧凑型电泵浦相干宽带中红外混合硫系玻璃-硅基集成光源系统
本申请涉及光电子器件技术领域,公开了一种紧凑型电泵浦相干宽带中红外硫系玻璃‑硅基混合集成光源系统。该系统包含硅基片上泵浦飞秒激光器模块和光纤扩谱压缩模块。片上模块在电泵浦下产生飞秒脉冲;光纤模块按序包括硫系光子晶体光纤和反常色散补偿器。片上...
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