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  • 本发明公开了一种基于生物炭催化作用的沼气固碳制氢模拟装置及试验方法,包括依次连接的气体制备与输送系统、反应与温控系统和产物处理与分析系统;所述气体制备与输送系统包括通过导管依次连接CH4气瓶和第一流量调节器与混合气罐连接,通过导管依次连接C...
  • 本发明公开了一种利用燃气电厂余热直接制氢的方法及系统。所述方法包括如下步骤:S1、溴化钙和/或氯化镁与水经高温水解反应,得到氧化钙、氧化镁以及氯化氢和溴化氢;S2、氧化钙、氧化镁与氯气和溴气的混合气体经氯化反应,得到溴化钙和氯化镁,作为S1...
  • 本发明属于储氢材料技术领域,具体涉及一种复合储氢材料及其制备方法。本发明提供的复合储氢材料,采用聚乙烯醇/聚丙烯腈改性的TiO2材料作为催化剂与MgH2球磨共混,不仅能降低放氢的温度、提高放氢效率,还具有优异的储/放氢容量及良好的储/放氢稳...
  • 本发明提供了一种Mg基储氢材料及其制备方法与应用,所述Mg基储氢材料中包括MgH2与MOF材料碳化衍生物;所述MOF材料碳化衍生物包括碳化后的Ni‑Ce双金属MOF材料。本发明以包含碳化后的Ni‑Ce双金属MOF材料的MOF材料碳化衍生物,...
  • 本发明涉及正仲氢转化技术领域,具体涉及一种分级冷却连续正仲氢转化方法及装置。该方法包括以下步骤:步骤S1:对装有磁性催化剂的正仲氢转化管路进行加热并抽真空,使磁性催化剂在真空条件下加热活化;步骤S2:对正仲氢转化管路内磁性催化剂进行降温处理...
  • 一种利用高介电常数薄膜提高MEMS碳化硅电容式压力传感器灵敏度的方法,涉及半导体领域,步骤包括上/下基片预加工(导电晶圆制绝缘层、金属掩模,沉积高介电薄膜后剥离成接触层,下基片另经ICP刻凹槽)、键合及后续(对准键合成空腔,减薄上基片成敏感...
  • 一种压力驱动型MEMS碳化硅高温微型化数字开关制备方法,属于MEMS领域,包括上、下基片加工及键合,制备的开关包括衬底和敏感膜,空腔及腔内顶、底电极、焊盘,在外部气压作用下,敏感膜产生形变挠度,以此产生数字开关信号。对于所要实现的不同目标压...
  • 本发明属于零件装配技术领域,公开了一种晶圆级异构并行装配工艺方法及系统,从晶圆级并行装配技术入手,基于显微视觉实现零件的检测与定位,通过单轴机器人实现零件的自动拾取及装配、基于自动点胶技术实现胶粘剂的微量涂敷,实现惯性传感器中不同材质、结构...
  • 本发明涉及一种硅纳米线的制作方法,属于MEMS技术领域。步骤包括:S1、提供一SOI衬底;S2、在SOI衬底上形成掩膜层;S3、图形化掩膜层,形成腐蚀窗口;S4、通过腐蚀窗口对SOI衬底进行各向同性刻蚀,形成空腔和硅纳米柱;S5、对硅纳米柱...
  • 本发明公开一种双波段非制冷红外探测器制作方法,涉及红外探测领域。该方法包括制作MEMS工艺与CMOS电路连接电极,实现两者的集成化,制作牺牲层通孔,在完成通孔制作的牺牲层上沉积支撑层,在刻蚀后的支撑层上沉积热敏层,并对热敏层进行光刻、刻蚀,...
  • 本发明属于MEMS芯片加工技术领域,公开了一种开放MEMS芯片的加工方法,其包括以下步骤:在结构层或衬底层上形成浅槽,将两者键合,再将结构层减薄至设计厚度,获得晶圆;在晶圆结构层表面进行贴膜;进行预切划片,将衬底层划出一定深度的盲槽;进行膜...
  • 本发明涉及一种用于制造MEMS构件的方法,包括下列步骤:在基底中从基底的正面产生由多个分别具有底部和侧壁的沟槽构成的沟槽结构,直接在基底的正面上如此构造由多晶硅构成的牺牲层,使得沟槽的各自的底部和各自的侧壁以及正面的在沟槽之间的和在沟槽结构...
  • 本发明公开一种具有垂直方向缓冲止挡结构的MEMS芯片及其制造方法,属于芯片设计和制造的技术领域,所述的MEMS芯片包括MEMS结构层和熔融键合在MEMS结构层上下两面的两个止挡层,两个止挡层均设有由埋氧锚点、止挡锚点、止挡弹簧和止挡块组成的...
  • 本公开的一些实施例公开了一种红外探测模组的制备方法及红外探测模组,涉及红外探测器技术领域,用于基于硅通孔封装的器件,能够解决制备过程中由于温度不兼容而影响制备良率的问题,提高制备工艺的可靠性。该红外探测模组的制备方法包括:在衬底沿第一方向的...
  • 本发明公开了一种可拉伸网布的用于座椅网背自动扪制的设备,包括工作台,所述工作台上设有用于固定椅背的固定机构、用于加工椅背顶部的X轴扪制机构、以及用于加工椅背两侧的Y轴扪制机构,所述X轴扪制机构包括用于对网背进行折弯和下压的折压块、以及用于驱...
  • 本发明公开一种鹤管卸料设备,鹤管卸料设备包括卸料平台、第一升降装置、垂管装置和鹤管装置,卸料平台架设在储料设备的卸料口的上方,第一升降装置设于卸料平台上,垂管装置包括垂管组件和密封组件,垂管组件与第一升降装置驱动连接且可在第一升降装置的驱动...
  • 本发明公开了危化品装卸车智能化安全联锁管控系统及方法。本发明中,通过实时采集压力液位可燃气体浓度等多类数据,实现对装卸车过程中异常情况的及时捕捉。系统能够在出现异常时立即触发报警机制并执行急停切断等操作,有效避免因人工检查滞后导致的风险扩大...
  • 本发明涉及废油净化技术领域,公开了一种废油净化设备的进料装置,包括储存组件,所述储存组件包括储存罐,所述储存罐的顶部开设有进料口,所述储存罐的内部固定安装有水泵。本发明通过在密封箱内,随着废油的流动,转杆外表面一侧安装套上的水车转动,利用废...
  • 本发明涉及罐装装置技术领域,提出了一种硼酸三异丙酯罐装装置,包括支撑台,还包括罐装机构、罐体上料组件、定量罐装组件和反循环清洁机构,罐装机构安装在支撑台上,罐体上料组件安装在支撑台上,定量罐装组件安装在支撑台上,定量罐装组件位于罐体上料组件...
  • 本发明之目的就是提供一种药瓶输送线多道并道机构,能够防止输液瓶输送线因摩擦存在的卡瓶倒瓶现象,包括出瓶输送线、至少两个进瓶输送线、工作架,每个进瓶输送线的末端均设有一个开闭机构,气动夹爪的两夹爪均固定有一个夹板,夹板与进瓶输送线的末端间隔设...
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