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  • 一种齿形磁控溅射装置、固体颗粒镀膜系统及镀膜方法,齿形磁控溅射装置包括设置在机壳内部腔体之中的第一齿形转子和第二齿形转子,第一齿形转子和第二齿形转子啮合旋转,对应第一齿形转子和第二齿形转子的周向面分别设置靶材安装板,在靶材安装板与第一齿形转...
  • 本发明公开一种磁控溅射环氧树脂/铜复合薄膜的方法,属于表面涂层技术领域。本发明复合薄膜的制备方法为:将纳米二氧化钛填充至环氧树脂基底中在固化剂作用下固化反应;采用飞秒激光加工的方式对固化后的环氧树脂基底进行表面粗化加工;将清洗介质用喷射装置...
  • 一种带有屏蔽罩的细长管内壁多层膜连续沉积装置及其使用方法。它属于表面处理领域。它解决了现有细长管内镀膜过程中多层膜无法连续制备,靶面不同区域互相污染的问题。装置:包括磁芯、磁控靶、屏蔽罩、待镀管、定位盘、三个定位销和电机;磁芯和磁控靶既可同...
  • 本发明属于腐蚀防护和纳米材料领域,具体涉及一种用于海洋环境的耐磨耐腐蚀梯度纳米晶‑非晶复合涂层及其制备方法。该复合涂层成分以镍、铬元素为主,通过高功率脉冲磁控溅射技术实现从涂层/基体界面到涂层表层的晶粒结构连续过渡。本发明基于涂层表面及内部...
  • 本发明属于柔性材料技术领域,具体涉及一种图案化的磁性吸附载板及柔性传感器的制备方法,包括:步骤1,选用厚度<50μm聚酰亚胺PI薄膜作为柔性衬底,将PI柔性衬底表面划分为n个尺寸统一的矩形功能区域,然后对其进行超声清洗并氮气吹干;步骤2,将...
  • 本发明属于旋转锌靶材技术领域,公开一种旋转锌靶材及其制备方法和应用,所述旋转锌靶材,包括锌主体层(1)和设置在锌主体层(1)内侧的内衬管(2),锌主体层(1)设有锌工作表层(12)和Ni‑Cu合金过渡底层(11),所述锌工作表层(12)为超...
  • 本发明提供一种铝钪合金靶材及其制备方法,所述制备方法包括如下步骤:(1)将铝原料和钪原料混合熔融后冷却,得到铝钪铸锭;(2)所述铝钪铸锭进行气雾化制粉,得到铝钪合金粉;(3)在保护气氛中,将所述铝钪合金粉采用等离子法喷涂于背板上,得到铝钪合...
  • 本发明涉及一种碳化锆靶材的制备方法和应用,所述制备方法包括:对碳化锆粉末依次进行热压烧结处理和热等静压处理,得到碳化锆靶材。本发明通过对碳化锆粉末依次进行热压烧结处理和热等静压处理,得到致密度高、晶粒均匀的碳化锆靶材,本发明提供的制备方法简...
  • 本发明公开了一种掺氮类金刚石涂层及制备方法和搅拌摩擦焊用搅拌头,属于搅拌焊搅拌头及其类金刚石涂层技术领域。该制备方法如下:以搅拌摩擦焊用搅拌头为基体,对基体依次进行研磨抛光处理、超声清洗、烘干处理和离子源清洗,制得经预处理的基体;采用碳靶作...
  • 本申请涉及到码盘制作技术领域,公开了一种一体化的金属码盘制作方法及装置;其中方法对预设规格的板材进行研磨抛光处理,得到表面平整的抛光板材;将所述抛光板材进行镀膜处理,并在镀膜后的板材表面制作码盘图案,得到带有码盘图案的码盘板材;将所述码盘板...
  • 本申请涉及真空蒸镀技术领域,提供一种提高镀膜膜系均匀性的装置和方法。提高镀膜膜系均匀性的装置包括:镀膜卡具,中心区域朝向一侧凹陷以形成与所述光学元件表面匹配的曲面形状;所述镀膜卡具上设置有多个安装孔;测试片,安装于所述安装孔中,且一面设置为...
  • 本发明公开了一种刀具涂层,包括底层涂层、中层涂层和顶层涂层,所述中层涂层由纳米多层涂层、AlaCrbM1‑a‑bN层和AlcTidMe1‑c‑dN层交替沉积而成。通过在AlTiN涂层和AlCrN涂层中掺入W、Mo、V、Si、B等元素,优化刀...
  • 本发明公开了一种氢气敏感性磁性薄膜及其制备方法和应用。本发明的氢气敏感性磁性薄膜的组成包括依次层叠设置在衬底表面的钽层、第一铂层、第一钴层、第二铂层、第二钴层、钌层、第一钯层、第三钴层、第二钯层、第四钴层和第三钯层,第一钴层、第二钴层、第三...
  • 本发明公开了一种用于提升漆面韧性的复合材料,复合材料包括:在金属基材上的第一混合氧化物层,其中,第一混合氧化物层包括Al2O3、La2O3以及Gd2O3;在第一混合氧化物层上的第二混合氧化物层,其中,第二混合氧化物层包括Al2O3、La2O...
  • 本发明公开了一种低阈值、高红外开关比的VO2复合薄膜及其制备方法,属于智能材料技术领域。所述复合薄膜为钽梯度掺杂VO2复合薄膜,由厚度1~50nm、钽原子百分比为4~10%的VO2底层薄膜和厚度1~50nm、钽原子百分比为0~4%(不含4%...
  • 本发明属于核燃料元件表面防护技术领域,具体为一种用于核反应堆锆合金包壳的多层复合(Cr, Al)Nx/Cr防护涂层及制备方法。该涂层由内至外依次为缓冲层、中间层、最外层组成的多层结构设计,其中:缓冲层为Cr涂层;中间层为氮含量饱和的(Cr,...
  • 本申请涉及薄膜电阻制作领域,尤其是涉及一种氮化钽铝薄膜电阻的制作方法,包括以下步骤:准备第一铝块和钽块,所述第一铝块上开设多个第一容纳槽,所述第一容纳槽用于供钽块阻尼容纳;将钽块压入第一容纳槽形成溅射靶;将具有不同钽块数量的所述溅射靶分别与...
  • 本申请涉及涂层材料技术领域,具体涉及耐高温热阻涂层、耐高温热阻涂层部件的制备方法、航空部件。本申请的耐高温热阻涂层,包括:金属粘结层;热阻层;设于金属粘结层的一侧表面,热阻层包括高熵MAX相材料,高熵MAX相材料的化学式为M(n+1)AlX...
  • 本发明属于玻璃模压模具防护涂层技术领域,涉及一种三元CrWN基纳米复合涂层及其制备方法。其原子百分比为:Cr占比20%‑30%,W占比为20%‑30%,Ru占比为4%‑6%,Pt占比为4%‑6%,其余为N。制备方法包括以下步骤:对基体进行离...
  • 提供了一种掩模组件和制造该掩模组件的方法。所述掩模组件包括:掩模框架,包括开口区域;主体单元,设置成覆盖掩模框架,并且包括肋,肋穿过开口区域、彼此相交并限定第一开口;以及片单元,设置在主体单元的第一表面上,并且限定与第一开口重叠的多个第二开...
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