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防护装置、晶圆磨削模块、减薄设备及方法、处理设备
本发明提出了防护装置、晶圆磨削模块、减薄设备及方法、数据处理设备及存储介质。所述防护装置用于晶圆减薄设备的晶圆磨削模块,所述防护装置包括:分隔导流条,其将回转工作台划分成多个扇形区域,并且具有导流槽;以及可动防护件,其设置成在晶圆位于任一工...
一种金属修磨机的坯料匹配输送机构
本发明公开了一种金属修磨机的坯料匹配输送机构,涉及金属坯料修磨的匹配输送技术,包括输送平台,且输送平台的左端内部开设有输送腔体;还包括:所述输送平台的内部设置有输送机构,且输送机构包含有输送台架;其中,输送台架的上端贴合滑动于输送平台的顶面...
一种兼容多种玻璃基板的研磨横梁
本发明公开了一种兼容多种玻璃基板的研磨横梁,包括基体横梁和驱动轮,所述基体横梁底部两侧均设有铸铁立柱,且基体横梁上设有安装支架,同时安装支架内部安装有研磨电机,并且研磨电机的输出轴固定有主轴;所述驱动轮外侧设有研磨轮,该兼容多种玻璃基板的研...
一种360度回归式往复直线驱动砂光笔
本发明涉及一种360度回归式往复直线驱动砂光笔,属于电动工具领域,包括一体化刚性外壳、设置于外壳内部的无刷电机组件、固定于电机轴前端的正弦槽凸轮、以及通过支撑轴与主轴连接的滚珠轴承。滚珠轴承嵌设于正弦槽凸轮的环形曲线槽内,将电机的旋转运动转...
一种基于偏心结构的打磨头
本发明公开一种基于偏心结构的打磨头,属于偏心打磨装置技术领域,包括打磨头主体,所述打磨头主体一端设有偏心驱动结构和注油润滑结构;本发明采用可调式偏心座开设偏心安装腔配合转轴形成偏心驱动结构,螺钉、轴承挡环、第一轴承、第二轴承与轴承压环沿转轴...
磨削刀具及等离子体约束环的加工方法
本申请公开了一种磨削刀具及等离子体约束环的加工方法,磨削刀具用于对等离子体约束环中的环形腔体进行磨削加工,磨削刀具包括刀柄、安装部和砂轮,刀柄用于与外部驱动机构的旋转轴连接;安装部具有沿安装部的轴向相对设置的第一侧面和第二侧面,第一侧面与刀...
一种用于回转体零件多工序成形的自适应随动工装系统
本发明公开了一种用于回转体零件多工序成形的自适应随动工装系统,涉及回转面打磨技术领域;包括驱动装置,所述驱动装置上安装有两排夹持装置;两排夹持装置用于夹持回转体零件;两排所述夹持装置对齐;所述驱动装置上安装有位移控制件;所述驱动装置上安装有...
一种低成本高精度的多工位气动旋转定位工装
本发明涉及自动化设备技术领域,具体涉及一种低成本高精度的多工位气动旋转定位工装。包括多个90度直角基座,90度直角基座上有多组旋转定位装置,旋转定位装置包含旋转气缸,旋转气缸旁有推拉气缸,旋转气缸下装有模芯,模芯旁有夹具,夹具装在推拉气缸下...
一种IMU单元用蓝宝石摆片精密加工治具及其加工工艺
本发明公开了一种 IMU 单元用蓝宝石摆片精密加工治具及其加工工艺,属于工业机器人核心零部件超精密加工领域,治具包括同轴配合的第一安装板、第二安装板,二者之间形成仿形装夹腔,设置周向微粘接台阶、全平面支撑台与负压吸附结构,配合阶梯式防崩边成...
一种新型直角钢料检测治具
本发明公开了一种新型直角钢料检测治具,包括固定座、第一轨道、第二轨道、第一挡块、第二挡块和纤维板,固定座的内部开设有第一轨道槽,第一轨道槽的内部可拆卸连接有第一轨道,固定座的内部且位于第一轨道槽的一侧开设有第二轨道槽,第二轨道槽的内部可拆卸...
一种工件转盘式检测设备
本申请涉及一种工件转盘式检测设备,其包括旋转工作台,旋转工作台具有驱动其水平旋转的驱动电机;旋转工作台的上表面周向设有至少六个安装基座,且旋转工作台的外侧依次设有将工件安装至安装基座的上料装置、用于检测工件的连接环部的厚度的第一检测装置、用...
一种面向残差调控的机器人柔性磨削轨迹规划方法
本申请公开了一种面向残差调控的机器人柔性磨削轨迹规划方法,涉及机器人加工技术领域,基于三维模型确定工件加工的初始路径,对初始路径进行自适应离散;基于等残留高度法确定初始加工行距和刀位点;提取相邻两行磨削轨迹上对应的刀位点的主曲率,选取主曲率...
打磨机控制器及打磨装置
本发明公开了一种打磨机控制器及打磨装置,所述打磨机控制器包括:MCU以及与所述MCU输入端相连接的通讯模块,所述通讯模块与机械手PLC相连以获PLC下发的指令;转速采集模块,与所述打磨机相连以获取打磨机的转速,所述转速采集模块还与MCU相连...
机器人控制方法和控制系统
本发明提供一种机器人控制方法和系统。涉及机器人技术领域。该方法包括:从视觉数据中提取表征目标工件几何结构的第一视觉特征,从触觉数据中提取表征接触状态的触觉特征;将第一视觉特征、触觉特征以及目标机器人上一时间步的动作数据拼接为当前状态向量,将...
一种多线切割的基于温度监测的冷却液输入速度控制方法及系统
本发明公开了一种多线切割的基于温度监测的冷却液输入速度控制方法及系统,该方法通过计算流体力学与热传导耦合仿真建立多线切割硅片锯缝的流固耦合传热模型,根据不同工艺条件及硅片型号确定温度分布云图,并综合考虑确定温度监测区域;基于温度监测模块精确...
晶圆加工系统及方法、修整器组件、化学机械抛光设备
本申请提供了一种晶圆加工系统及方法、修整器组件、化学机械抛光设备,属于半导体制造领域,该系统包括:抛光盘;修整器,修整器包括修整臂和修整盘,在修整的过程中修整臂枢转且修整盘旋转以使修整盘的修整区域覆盖抛光盘的全部面积;电涡流传感器,嵌设于抛...
一种尼龙端面抛光轮切平翻新方法
本发明公开了一种尼龙端面抛光轮切平翻新方法,包括如下步骤:步骤一:将上部为尼龙砂轮,下部为铝盘的尼龙端面抛光轮中的铝盘挂在切平机的挂盘上;步骤二:启动液压缸驱动切刀沿导轨向前运动,切刀接触尼龙砂轮并进行切削,直至表面平整;步骤三:切削完成后...
一种无心磨床砂轮高稳态修整控制方法
本发明涉及无心磨床技术领域,具体为一种无心磨床砂轮高稳态修整控制方法,其能够在动态过程中稳定地修整出高精度砂轮,机床配置有MPM动平衡仪并采用大理石床身,选用三相异步电机或主轴电机作为砂轮电机,选用额定转速为3000r/min的伺服电机作为...
一种用于钨钢磨头加工设备的冷却系统
本发明涉及钨钢磨头加工冷却技术领域,尤其涉及一种用于钨钢磨头加工设备的冷却系统,包括冷却液供给与输送单元、多模态定向喷淋单元、密闭式回收与净化处理单元和集成智能控制单元。本发明确保冷却介质能作用于高温磨削点,提升瞬时热交换效率,能够根据不同...
一种非标准金属片的喷砂方法、设备及存储介质
本发明实施例提供了一种非标准金属片的喷砂方法、设备及存储介质,方法包括:获取放置机构上的金属片信息,金属片信息表征非标准金属片的位姿信息和表面信息;基于表面信息将喷砂表面划分成M个喷砂区域,不同的喷砂区域到喷砂机构的垂直距离不同,不同的喷砂...
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