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最新专利技术
  • 一种MEMS器件及其制造方法
    一种MEMS器件及其制造方法_华润微电子控股有限公司_202410712950.0
    本发明公开了一种MEMS器件及其制造方法，所述方法包括：形成第一MEMS结构：提供第一衬底，在所述第一衬底上形成第一感测层，在所述第一感测层上依次形成第一空腔和第二感测层；形成第二MEMS结构：提供第二衬底，在所述第二衬底上形成第三感测层，...
    2026-02-17
  • 一种锥形硅基中空微针阵列及其制备方法
    一种锥形硅基中空微针阵列及其制备方法_中国科学技术大学_202510425750.1
    本发明公开了一种锥形硅基中空微针阵列制备方法，包括：在单晶硅片正面旋涂光刻胶，光刻后，在光刻胶上形成圆孔阵列图形；以圆孔阵列图形的光刻胶为掩膜，对单晶硅片正面进行深硅刻蚀，在单晶硅片正面形成针孔通道阵列；在单晶硅片背面上旋涂光刻胶，背面对准...
    2026-02-17
  • 空腔结构及其形成方法
    空腔结构及其形成方法_芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司_202511265596.2
    本发明提供一种空腔结构及其形成方法，所述空腔结构的形成方法包括：提供衬底；在所述衬底上形成牺牲层；对所述牺牲层进行刻蚀以形成凹槽结构，所述凹槽结构的位置与待形成的空腔单元顶部轮廓位置相对应；利用加强筋材料填充所述凹槽结构以形成加强筋；对所述...
    2026-02-17
  • MEMS晶圆的复合刻蚀方法及具有预划片道的晶圆
    MEMS晶圆的复合刻蚀方法及具有预划片道的晶圆_崂山国家实验室_202511275509.1
    本发明属于芯片加工的技术领域，具体涉及MEMS晶圆的复合刻蚀方法及具有预划片道的晶圆。本发明所述的MEMS晶圆的复合刻蚀方法：使用同一掩膜版和单次刻蚀工艺，在晶圆的正面或背面上同步形成该具有预划片道的晶圆的功能图形结构和预划片道；其中，所述...
    2026-02-17
  • 一种在(110)型硅片上制作硅纳米线的方法
    一种在(110)型硅片上制作硅纳米线的方法_山东大学深圳研究院_202511667177.1
    本发明涉及一种在(110)型硅片上制作硅纳米线的方法，属于MEMS技术领域。步骤包括：S1、提供一(110)型硅衬底，并在硅衬底上形成掩膜层；S2、图形化掩膜层，形成腐蚀窗口；S3、通过腐蚀窗口对硅衬底进行各向异性刻蚀，形成凹槽和槽间壁；S...
    2026-02-17
  • 一种MgH2-ZrO2-VN@PC复合储氢材料、制备方法及其应用
    一种MgH2-ZrO2-VN@PC复合储氢材料、制备方法及其应用_重庆新型储能材料与装备研究院_202511355709.8
    本发明涉及新能源储氢材料领域，具体涉及一种MgH2‑ZrO2‑VN@PC复合储氢材料、制备方法。复合储氢材料包括MgH2和ZrO2‑VN@PC催化剂，其中MgH2‑ZrO2‑VN@PC复合储氢材料的总质量为100%，所述ZrO2‑VN@PC...
    2026-02-17
  • 双金属MOF/活性炭复合材料及其制备方法与应用
    双金属MOF/活性炭复合材料及其制备方法与应用_理工清科(重庆)先进材料研究院有限公司_202511364975.7
    本发明涉及储氢材料技术领域，尤其涉及双金属MOF/活性炭复合材料及其制备方法与应用。制备方法包括称取预处理后的活性炭加入N, N二甲基甲酰胺中，超声波分散，得到活性炭分散液；向活性炭分散液中加入Cu‑Zr‑MOF，超声波溶解，随后转移至聚四...
    2026-02-17
  • 一种基于废弃铝硅合金水解制氢的再生利用及硅单质回收方法
    一种基于废弃铝硅合金水解制氢的再生利用及硅单质回收方法_吉林大学_202511364073.3
    本发明公开了一种基于废弃铝硅合金水解制氢的再生利用及硅单质回收方法。如ZL102等铝硅合金因其优异的的加工性能以及耐腐蚀性在众多领域得到了广泛应用，然而其大量的应用也产生了大量的废弃铝合金，如何对其进行回收利用是提高能源利用的关键技术问题。...
    2026-02-17
  • 天然气制氢工艺中PSA解析气的回收利用方法及天然气制氢系统
    天然气制氢工艺中PSA解析气的回收利用方法及天然气制氢系统_中石化宁波工程有限公司_202410755126.3
    本发明涉及制氢技术领域，具体涉及一种天然气制氢工艺中PSA解析气的回收利用方法及天然气制氢系统。所述方法包括以下步骤：(1)将原料天然气、水蒸气以及脱除CO2后的解析气接触发生重整反应，得到的重整气进行变换反应，得到粗氢气产品，经PSA变压...
    2026-02-17
  • 一种氢气催化燃烧联产水蒸汽和氮气的工艺及装置
    一种氢气催化燃烧联产水蒸汽和氮气的工艺及装置_上海迪化科技股份有限公司_202511266976.8
    本发明提供一种氢气催化燃烧联产水蒸汽和氮气的工艺。本发明还提供一种氢气催化燃烧联产水蒸汽和氮气的装置。本发明提供的一种氢气催化燃烧联产水蒸汽和氮气的工艺及装置，与传统多级氢气催化燃烧工艺及装置相比，具有工艺简单、能效比高、实现水蒸汽和氮气联...
    2026-02-17
  • 电场调控冷冻隔离排斥法制备净电荷二维氢键薄膜与三角水分子链
    电场调控冷冻隔离排斥法制备净电荷二维氢键薄膜与三角水分子链_盐城师范学院_202511351258.0
    本发明所述电场调控冷冻隔离排斥法通过电场调控与冷冻技术相结合，在基底间构建具有净电荷的二维氢键薄膜，引入纯离子溶液作为电荷源，通过正反馈双静电法与归中反应制备单电性纯离子溶液，从根本上避免了传统盐溶液中阴阳离子共存的电荷中和问题。本发明所述...
    2026-02-17
  • 挤压拉伸温控法制备分子级可控厚度二维水
    挤压拉伸温控法制备分子级可控厚度二维水_盐城师范学院_202511351262.7
    本发明所述挤压拉伸温控法通过挤压、升温、拉伸、降温、分离、重复六个步骤自上而下制备分子级可控厚度二维水，在顶部和底部基底分别形成二维水，基底需要分离的距离较大，对仪器精度的要求大为降低，但制备二维水薄膜的精度不降低。150‑260 K的温度...
    2026-02-17
  • 一种曼海姆硫酸钾副产氯化氢气体生产氯气的工艺
    一种曼海姆硫酸钾副产氯化氢气体生产氯气的工艺_西安君正工程科技有限公司_202511348633.6
    本发明公开了一种曼海姆硫酸钾副产氯化氢气体生产氯气的工艺，涉及化工过程优化及资源回收利用技术领域，包括：将曼海姆反应炉反应过程中副产的氯化氢气体直接引入氧化反应器，无需外部加热，直接利用氯化氢气体自身的热量在催化剂作用下进行高温氧化反应，生...
    2026-02-17
  • 海水的提溴方法和提溴系统
    海水的提溴方法和提溴系统_战神科技有限公司_202511259695.X
    本发明提供一种海水的提溴方法和提溴系统，该提溴方法，包括以下步骤：S1、向海水中加入盐酸溶液进行酸化处理，再向海水通入氯气进行氧化处理，得到含溴海水；S2、使含溴海水与循环气逆向接触，进行吹出处理，得到含溴循环气和吹溴后海水；S3、使含溴循...
    2026-02-17
  • 一种回收碘单质的方法
    一种回收碘单质的方法_天齐锂业新能源技术研究(眉山)有限公司_202511653298.0
    本发明公开了一种回收碘单质的方法，其包括：将无水碘化锂制备过程中产生的废气或废油，经吸附‑洗脱处理后，从洗脱液中回收碘单质。上述方法可以实现三水碘化锂制备过程中蒸发逸出的碘单质、三水碘化锂梯度真空干燥后真空泵油中溶解的碘单质进行高效回收，克...
    2026-02-17
  • 一种瞬态脉冲加热合成粉体纳米氧化物的方法
    一种瞬态脉冲加热合成粉体纳米氧化物的方法_华中科技大学_202511331082.2
    本发明公开了一种瞬态脉冲加热合成粉体纳米氧化物的方法，包括如下步骤：(1)取一种热敏性金属盐或至少两种热敏性金属盐混合均匀，得反应前驱体；(2)将步骤(1)所得反应前驱体装载于具有导热性或导电性的加热基体中；(3)在气氛条件下，进行脉冲加热...
    2026-02-17
  • 一种纳米硫的制备方法
    一种纳米硫的制备方法_苏州明博贝邦新材料有限公司_202511343246.3
    本发明公开了一种纳米硫的制备方法，包含如下步骤：(1)将5~10 g升华硫和50 mLN‑甲基吡咯烷酮加入到300 mL圆底烧瓶中，然后将圆底烧瓶置于25~125 ℃油浴中搅拌15~60 min。(2)将混合物过滤取滤液，随后将滤液加入到3...
    2026-02-17
  • 一种从冰铜渣中氧化酸浸提取碲的方法
    一种从冰铜渣中氧化酸浸提取碲的方法_广西科技师范学院_202511014321.1
    本发明公开一种从冰铜渣中氧化酸浸提取碲的方法，将一定比例的浓盐酸和浓硫酸混合组成混酸体系，用蒸馏水调节酸度，然后加入一定质量比的冰铜渣与MnO2，常压氧化浸出，得到浸出液，向浸出液中按比例加入无水亚硫酸钠进行还原反应，对反应所得沉淀产物进行...
    2026-02-17
  • 一种可回收的ZIF-67包覆羟基化BNNS高导热复合材料及其制备方法
    一种可回收的ZIF-67包覆羟基化BNNS高导热复合材料及其制备方法_佳木斯大学_202511329326.3
    本发明公开了一种可回收的ZIF‑67包覆羟基化BNNS高导热复合材料及其制备方法，属于复合材料技术领域。复合材料的制备过程为，通过高能球磨技术获得羟基化的氮化硼纳米片HO‑BNNS，HO‑BNNS的平均粒径为1.04μm，剥离和改性过程不会...
    2026-02-17
  • 一种氮化铝粉体的制备方法
    一种氮化铝粉体的制备方法_军瓷电子材料河北有限公司_202511330470.9
    本发明涉及陶瓷材料技术领域，提出了一种氮化铝粉体的制备方法，包括以下步骤：S1、将碳热还原法制备得到的氮化铝半成品分散于溶剂中，依次加入三乙胺和助剂，混合得到混合液；S2、混合液分离后得到氮化铝浆料，氮化铝浆料经干燥和煅烧后，得到氮化铝粉体...
    2026-02-17
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