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掩模组件
提供了一种掩模组件, 所述掩模组件包括:框架, 其中限定有开口;支撑部分, 位于框架上并与开口叠置;以及掩模, 位于支撑部分上并覆盖开口的至少一部分。支撑部分可以包括:中心层;第一外层, 位于中心层的第一表面上;以及第二外层, 位于中心层的...
一种非晶态三元氮化物类铁电薄膜及其制备方法和应用
本发明提供了一种非晶态三元氮化物类铁电薄膜及其制备方法和应用。所述非晶态三元氮化物类铁电薄膜具有非晶态结构, 其由化学式为Al1‑y(X)yN的材料组成, 其中X选自B、Hf、Sc中的任一种, 本发明提供的非晶态三元氮化物类铁电薄膜展现出类...
一种刀具涂层及其切削刀具和制备方法
本发明涉及刀具涂层, 使用Tix1Aly1M(1‑x1‑y1)N层和TiCX2Ny2层叠加而成, 其中, Tix1Aly1M(1‑x1‑y1)N层的M由Zr, Hf, Cr, Mo, W, Nb, Ta, Y, Si元素中的一种或两种以上物...
一种仿生竹节状柱状晶结构热障涂层的制备方法
本发明涉及航空发动机热障涂层技术领域, 涉及一种仿生竹节状柱状晶结构热障涂层的制备方法。所述方法通过在电子束物理气相沉积工艺过程中, 加入引导气流与电子束流的周期性控制, 实现柱状晶生长过程和微观结构的有效控制, 获得具有仿生竹节状柱状晶结...
一种氧化铝氧化硅交替沉积多层薄膜、制备方法及其应用
本发明涉及表面防护技术领域, 具体涉及一种氧化铝氧化硅交替沉积多层薄膜、制备方法及其应用, 所述薄膜由金属基体到表面依次包括氧化铝层、氧化硅层, 所述氧化铝层与氧化硅层厚度比为2 : 1, 薄膜总厚度为1300~1500nm。本发明利用中频...
一种Al-W-O涂层及制备方法和应用
本申请公开了一种Al‑W‑O涂层及制备方法和应用, Al‑W‑O涂层包括在基体表面交替沉积的Al2O3层和WOX层, Al‑W‑O涂层的分子结构表达式为WOX/Al2O3。Al‑W‑O涂层应用于金属表面处理或金属加工。Al‑W‑O涂层交替形...
一种个性化钛合金骨缺损修复体钽涂层生成设备
本发明涉及一种个性化钛合金骨缺损修复体钽涂层生成设备, 属于医疗器械技术领域, 真空腔室、双靶材复合沉积系统、五轴联动基底运动机构、动态遮挡装置、等离子体闭环调控系统及智能工艺规划系统。双靶材系统实现不规则曲面与深腔微孔的协同沉积, 五轴联...
一种真空镀铝机
本发明公开了一种真空镀铝机, 包括机壳、辊组、镀铝蒸发器, 机壳包括第一外壳和第二外壳, 第二外壳能够靠近或远离第一外壳, 辊组和镀铝蒸发器固定安装于第一外壳内, 第一外壳和第二外壳合拢能够形成密闭空间, 辊组和镀铝蒸发器位于密闭空间内, ...
真空镀膜用防堵坩埚盖
本申请涉及一种真空镀膜用防堵坩埚盖, 包括盖体、喷嘴和端子;盖体为具有预设厚度的板状结构, 盖体放置在外部的坩埚的顶部, 盖体的顶部开设有贯穿孔, 贯穿孔贯穿盖体的顶部和底部, 盖体与坩埚形成加热腔室;喷嘴为上下开口的中空结构, 设置在盖体...
一种真空设备用加热组件
本发明涉及一种真空设备用加热组件, 包括, 陶瓷基底辅助屏蔽组件, 所述陶瓷基底辅助屏蔽组件包括高温合金底座和设置于所述高温合金底座下方的柱杆, 所述柱杆上套设有高温合金鳍片, 所述高温合金底座下方固定有隔热屏蔽外壳;所述隔热屏蔽外壳内部设...
一种低缺陷密度薄膜材料制备技术
本发明提出了一种低缺陷密度薄膜材料制备技术, 涉及薄膜沉积技术领域。本发明的薄膜沉积装置包括金属外壳、真空腔体、电极板和紫外线灯, 其中, 电极板设置在沉积区中沿沉积粒子运动方向的侧边, 紫外线灯发射紫外线, 照射至沉积区内, 对沉积区内的...
一种真空镀膜系统及其镀膜方法
本发明公开了一种真空镀膜系统及其镀膜方法, 包括如下步骤:S1:将靶材进行烘干, 自然冷却后放置于坩埚内, 接着将下壳体密封;S2:将单晶锗片和一片光学玻璃片作为基片放置于放置筒底端的凸缘上, 将上壳体密封;S3:对下壳体和上壳体进行抽真空...
一种高压活塞式氢气压缩机缸体表面PVD镀层及其制备工艺
本发明涉及压缩机缸体表面镀层技术领域, 公开了一种高压活塞式氢气压缩机缸体表面PVD的制备工艺, 包括以下步骤, 步骤1、基体激光微织构与等离子活化:采用脉冲光纤激光器在缸套和活塞表面加工微凹坑阵列;并通过Ar+/H2混合等离子体刻蚀去除氧...
一种Mo-Nb微合金化不锈钢集流体及其制备方法
本发明公开了一种Mo‑Nb微合金化不锈钢集流体及其制备方法, 涉及集流体技术领域。所述Mo‑Nb微合金化不锈钢集流体的制备方法包括以下步骤:S1:将钼纯金属和铌纯金属分别与铬纯金属熔融制备得到钼‑铬溅射靶材和铌‑铬溅射靶材;S2:将不锈钢板...
一种真空视窗结构及真空处理设备
本发明涉及真空处理技术领域, 具体公开了一种真空视窗结构及真空处理设备。该真空视窗结构包括真空腔室、视窗组件、防护通道、低温捕集组件和供气组件;真空腔室开设有视察窗口;视窗组件设于真空腔室;防护通道设于真空腔室;低温捕集组件的抽气口连通于防...
一种镀膜设备及线性渐变滤光片膜厚均匀性修正方法
本发明具体涉及一种镀膜设备及线性渐变滤光片膜厚均匀性修正方法, 解决现有使用电子束蒸发的沉积方式制备线性渐变滤光片难以对其镀膜的膜厚均匀性进行修正的问题, 本发明在工件盘下方设置公转修正板, 使其随着工件盘一同绕着旋转盘的中心转动, 而工件...
一种溅射镀膜装置
本发明涉及一种溅射镀膜装置, 包括安装箱, 安装箱具有溅射腔及真空腔;溅射腔内设置有溅射阴极, 溅射阴极上设有进气板, 进气板具有进气管路, 进气管路的多个出气总口正对溅射阴极上的靶材均匀设置;真空腔设置有抽气装置;进气管路包括沿气路方向设...
一种基于磁控溅射工艺探测器支撑结构制备方法
本发明公开了一种基于磁控溅射工艺的探测器支撑结构制备方法, 涉及微结构气体探测器制备工艺技术领域, 该方法包括:S1、确定探测器支撑柱靶材, 根据磁控溅射系统的设定功率和参数计算设定沉积厚度所需要溅射时间;S2、在基板上表面贴合掩膜板, 确...
一种优化YIG/Au薄膜异质界面结合强度的方法
本发明提供了一种优化YIG/Au薄膜异质界面结合强度的方法, 所述方法包括, 清洗YIG薄膜基底;对YIG薄膜基底表面做活化处理;磁控溅射打底层;磁控溅射过渡层;磁控溅射功能层。本发明采用离子源清洗并活化YIG薄膜基底表面, 再通过Cr打底...
高硬度高耐温的AlCrN压电涂层材料及其制备和应用
本发明提供高硬度高耐温的AlCrN压电涂层材料及其制备和应用, 涉及压电薄膜材料技术领域。AlCrN压电涂层材料的制备方法包括:采用Al和Cr组成的合金靶材, 其中Al的含量高于70%, Cr的含量小于30%, 通过磁控溅射在基体表面形成A...
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