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  • 本发明涉及隔膜阀技术领域,提出一种用于半导体CMP设备的研磨液隔膜阀及其组装方法。该隔膜阀包括在内部设有3°至10°倾斜环形阶面的阀座、耐磨隔膜片以及调节组件,耐磨隔膜片具有橡胶主体、PTFE耐磨层及带限位部预埋螺纹件,调节组件包含调节杆、...
  • 本发明涉及一种回压阀和模拟地层岩心的设备,回压阀包括:第一阀体、滑动压片、阀膜和第二阀体,第一阀体包括第一容纳槽,滑动压片设置于第一容纳槽,第二阀体面向第一容纳槽的开口方向设置第二容纳槽,阀膜设置于第二容纳槽,第二阀体设置流体进入通道和流体...
  • 本申请涉及一种基于温度的流量控制器及其控制方法,包括:壳体,其套设于流通防冻液的软管,壳体向外形成一个容纳腔;感温驱动机构,其位于所述容纳腔内,其包括热膨胀介质以及随着热膨胀介质体积增大或减小而移动的驱动件;执行机构,其包括对称设置于软管两...
  • 本申请涉及球阀领域,提供一种不同深度用深水球阀,深水球阀包括阀体具有两个密封空间和安装空间,安装空间侧壁开设有第一调节孔和第二调节孔。阀瓣设置于安装空间内;阀座分别设置于密封空间内,阀座包括阀座主体和密封件,阀座主体设置于密封空间内,阀座主...
  • 本发明涉及渣浆泵控制阀技术领域,公开了液动半球型渣浆泵控制阀,包括左阀体、右阀体、阀芯、安装板、延伸口、支撑架、轴承架和液压调节机构,延伸口安装于左阀体与右阀体之间上端,支撑架安装于左阀体与右阀体之间下端,轴承架通过螺栓安装于延伸口的内部;...
  • 本发明涉及球阀技术领域,公开了一种强制密封球阀阀座组合硬密封结构,包括阀体和球体,所述阀体与球体之间设有阀座组件,阀座组件通过阀座压环与阀体螺栓连接实现固定,所述阀座组件包括阀座支撑圈、安装在插件卡槽内的阀座插件、安装在阀座插件与阀座支撑圈...
  • 本发明涉及一种降低阀芯转动异物损伤的方法及阀体,包括步骤如下:于阀芯的壳体进口和出口位置内转动设置密封结构,该密封结构与阀芯密封配合,且能够于进口和出口内自由转动;于阀芯和密封结构之间设置传动结构,该传动结构能够在阀芯转动时推动密封结构转动...
  • 本发明涉及旋塞阀技术领域,具体为一种耐磨圆旋阀,包括第一阀盖、固定安装在第一阀盖上的阀芯板、转动安装在阀芯板内的阀芯主体,所述阀芯主体的一端固定连接有第二复位弹簧,所述第二复位弹簧的一端固定连接有转动盘,所述转动盘的外壁固定连接有第一导杆和...
  • 本发明公开了一种弧形角阀结构,涉及管道接头领域,包括角阀主体,所述角阀主体上设有角阀弧形孔和阀芯安装孔以及出水口三段孔洞,三段孔洞交汇于压力接触段处,所述压力接触段呈折型板结构,所述角阀主体一体注塑成型,所述角阀弧形孔的上端开口处与嵌件固定...
  • 本发明属于盘式过滤机领域,具体公开一种盘式过滤机的组合式耐磨分配垫,包括支撑圆盘和若干耐磨陶瓷组件,支撑圆盘的一侧是以安装孔为中心的环形平面,在支撑圆盘另一侧的内外环之间设有凹陷设置的凹槽,在凹槽内与所述流道孔对应的位置分别设置有通孔,在凹...
  • 本申请公开了一种按压流量切换装置,属于水路切换结构技术领域。在转子阀杆的第二驱动端部与导套配合处于第一锁止位处时,该第二驱动端部与出水口形成的过水面积较小,此时较小流量的水流经过该过水空间从导套侧部的导流孔流出;通过按压定子阀杆通过第一驱动...
  • 本申请涉及一种用于半导体腔室的密封阀,包括:阀体,设于相邻的工艺腔室之间;所述阀体上设有传输通道以连通相邻的所述工艺腔室;密封阀框,环绕所述传输通道可拆卸的设于所述阀体,并在所述阀体的内部形成安装面;密封模块,围绕所述传输通道设于所述安装面...
  • 本发明公开了一种横向推拉式的烟道插板阀,通过采用横向推拉结构,避免了传统吊装式阀门对上部空间的依赖,适用于空间受限的技改场合;通过设置在插板底部的H型滚轮与固定轻轨的滚动配合,将传统滑动摩擦转化为高效的滚动摩擦,使得大尺寸插板的启闭操作变得...
  • 一种压力密封结构,其阀座圈由内阀座、外阀座两部分构成,该内、外阀座相邻部的上端设有密封结构安装腔,而下部通过螺栓连接;所述外阀座端面上均布分度进气孔Ⅰ,而内阀座内孔的径向壁上均布贯通的分度进气孔Ⅱ;所述密封结构安装腔内的内外圈处适配对称安装...
  • 本发明公开了一种蝶阀阀座结构及蝶阀,其中蝶阀阀座结构,包括阀座,阀座位于所述蝶阀的阀体内侧,用于与所述蝶阀的蝶板配合以对应所述蝶阀的通断;所述阀座靠近蝶板的部位为第一阀座段,远离蝶板的部位为第二阀座段,所述第一阀座段和第二阀座段之间为堆焊段...
  • 本发明公开一种防结晶熔盐截止阀,属于流体控制技术领域,包括:阀体、阀芯、阀杆、阀盖、手轮、冲洗管路、阀瓣组件和喷嘴,阀盖与阀体顶部连接,阀芯穿过阀盖底部,并与阀体和阀盖密封连接;阀杆伸入到阀体内部,阀杆与阀盖连接,手轮连接在阀杆顶端;冲洗管...
  • 一种熔盐阀,包括阀体、阀瓣组件、第一垫片、第二垫片、加长阀盖、填料组件、支架和电动执行机构。所述阀体内介质过流孔堆焊密封锥面,所述阀体密封锥面与阀瓣密封锥面有效贴合;所述阀瓣内设阀杆,阀杆穿过加长阀盖;所述加长阀盖与阀体之间设第一垫片和第二...
  • 本申请提供了一种用于半导体设备的自调节阀板,涉及半导体制造技术领域,包括:阀板本体、连接组件和支撑架;所述阀板本体具有相对设置的密封面和连接面,所述密封面用于密封半导体设备上的阀体;所述连接组件连接在所述连接面上,并沿所述连接面的长度方向设...
  • 本发明涉及蝶阀技术领域,具体为一种全金属硬密封蝶阀,包括蝶阀主体和固定安装在蝶阀主体上的固定框,所述蝶阀主体的外壁固定连接有固定座,所述固定座上固定安装有伞形齿轮驱动箱,所述伞形齿轮驱动箱的输出端固定连接有转动杆,所述转动杆上固定连接有阀瓣...
  • 本发明属于蝶阀技术领域,具体为一种蝶板稳固度高的蝶阀,包括阀体,阀体的内腔设置有阀杆,阀杆的外壁下侧套装有与阀体适配的蝶板,阀杆的尾端通过下轴套和阀体的内腔底部转动连接,阀体的顶部固定有端板,阀杆活动贯穿端板且固定连接有把手,把手的顶部固定...
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