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最新专利技术
  • 光刻设备、在所述光刻设备中使用的具有多个感测元件的均一性传感器、确定辐射束的性质的方法、以及确定用于光刻系统的光学元件的校准的方法
    光刻设备、在所述光刻设备中使用的具有多个感测元件的均一性传感器、确定辐射束的性质的方法、以及确定用于光刻系统的光学元件的校准的方法_ASML荷兰有限公司_202480045198.7
    本文中描述一种确定光刻系统内的辐射束的性质的方法。所述方法包括针对所述辐射束的在第一方向上具有不同位置的多个区段中的每个区段来测量多个强度。使用传感器的多个感测元件中的不同的一个感测元件来测量所述多个强度中的每个强度。所述多个强度中的每个强...
    2026-02-08
  • 静电夹具装置
    静电夹具装置_ASML荷兰有限公司_202480044322.8
    静电夹具装置包括：夹具构件，夹具构件包括主体，主体限定多个夹具单元；其中每个夹具单元包括：主体的至少两个凸起支撑部，至少两个凸起支撑部在它们之间限定了凹部；以及静电板，静电板被定位在凹部中，其中静电板包括电极和介电层；以及致动器，致动器被机...
    2026-02-08
  • 光学模块和投射曝光系统
    光学模块和投射曝光系统_卡尔蔡司SMT有限责任公司_202480043555.6
    本发明涉及一种具有光学元件(M3)的光学模块(30、40、50)，其中光学元件(M3)具有光学有效表面(31)并且经由至少一个连接元件(33、41)连接到加强体(32)。该连接元件的特征在于，该连接元件(33、41)包含解耦区域(34、42...
    2026-02-08
  • 感光性树脂组合物、图案形成方法及层叠体的制造方法
    感光性树脂组合物、图案形成方法及层叠体的制造方法_东京应化工业株式会社_202480046070.2
    感光性树脂组合物，其含有环氧当量为600以上的氢化双酚A型环氧树脂(A1)、和下述通式(b‑1)表示的光产酸剂(B1)。式中，Rb1b1～Rb3b3各自独立地表示可具有取代基的芳基、杂芳基、烷基或烯基。其中，Rb1b1～Rb3b3不含稠环。...
    2026-02-08
  • 感光性树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及半导体器件
    感光性树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及半导体器件_富士胶片株式会社_202480044150.4
    一种感光性树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及半导体器件，该感光性树脂组合物含有：选自由含杂环聚合物及其前体组成的组中的至少一种树脂；及作为光致变色化合物的化合物A‑a。
    2026-02-08
  • 光刻设备以及相关方法
    光刻设备以及相关方法_ASML荷兰有限公司_202480046262.3
    一种光刻设备，包括：照射系统，被配置为将辐射束引导到图案形成装置上以生成图案化的辐射束，所述图案形成装置包括在衬底的曝光期间待遮蔽的区域；支撑结构，被配置为支撑所述衬底；投影系统，被配置为将所述图案化的辐射束投影到所述衬底上；以及掩模装置，...
    2026-02-08
  • 用于提高软X射线量测的准确度的方法和设备
    用于提高软X射线量测的准确度的方法和设备_ASML荷兰有限公司_202480045504.7
    一种用于提高SXR量测的准确度的方法，包括：获得第一衍射光谱，所述第一衍射光谱包括多个周期性离散峰并且与已经利用第一源光谱照射的目标结构相关；获得第二衍射光谱，所述第二衍射光谱与已经利用第二源光谱照射的目标结构相关，所述第二源光谱与所述第一...
    2026-02-08
  • 用于叠加测量的小型裸片内目标设计
    用于叠加测量的小型裸片内目标设计_科磊股份有限公司_202480043691.5
    一种叠加计量系统可基于叠加目标的不同层上的特征的隔离图像产生叠加测量。例如，目标可包含第一层结构，所述第一层结构包含具有经选择而无法由所述叠加计量系统分辨的精细节距的周期性特征，其中光栅结构经定向以使经旋转衍射级的偏振相对于入射照明的偏振旋...
    2026-02-08
  • 量测靶
    量测靶_ASML荷兰有限公司_202480042471.0
    公开了一种量测方法，包括：获得与靶的测量相关的量测数据，该靶包括至少第一层中的第一光栅和第二层中的第二光栅，其中第一光栅具有以第一起始节距开始的第一啁啾节距，并且第二光栅具有以第二起始节距开始的第二啁啾节距，第一光栅与第二光栅基本上重叠，并...
    2026-02-08
  • 电子设备
    电子设备_索尼半导体解决方案公司_202480045522.5
    一种电子设备，包括：基板，所述基板包括安装表面；盖部分，所述盖部分覆盖安装表面并在盖部分与安装表面之间形成容纳空间；粘合剂，所述粘合剂将盖部分粘合到基板；半导体元件，所述半导体元件设置在容纳空间中并安装在安装表面处；以及金属箔，所述金属箔包...
    2026-02-08
  • 可互换透镜和成像设备
    可互换透镜和成像设备_索尼集团公司_202480045543.7
    在一种可互换透镜中，每个驱动磁体包括第一磁极部分和第二磁极部分，外磁轭各自设置有以彼此面对的状态定位的第一安装部和第二安装部，一对驱动磁体和内磁轭在该对驱动磁体和内磁轭插入到空心线圈中的状态下定位在第一安装部和第二安装部中的对应的一个之间，...
    2026-02-08
  • 致动器和包括该致动器的摄像装置
    致动器和包括该致动器的摄像装置_LG伊诺特有限公司_202480045150.6
    实施方式包括：在第一方向上移动的第一透镜保持器；设置在第一透镜保持器上的第一磁体；第一线圈，其包括第一线圈单元、第二线圈单元和第三线圈单元，第一线圈单元、第二线圈单元和第三线圈单元在第一方向上顺序地布置并且彼此间隔开；以及控制单元，其包括连...
    2026-02-08
  • 产生超连续谱光的方法及超连续谱光源
    产生超连续谱光的方法及超连续谱光源_丹麦科技大学_202480045802.6
    本发明涉及一种产生超连续谱光的方法，包括：提供频率梳泵浦光和辅助泵浦光，其中，辅助中心频率相对于频率梳中心频率在光谱上偏移辅助泵浦失谐量；对非线性介质进行泵浦，所述非线性介质与在色散波频率处产生色散波相关联，所述色散波频率相对于所述频率梳中...
    2026-02-08
  • 包括液晶膜的照明设备、以及对应的光发射方法
    包括液晶膜的照明设备、以及对应的光发射方法_法雷奥照明公司_202480043750.9
    本发明涉及一种车辆照明设备(1)，该车辆照明设备包括：‑至少一个光子发射器(3)；‑控制单元(2)，该控制单元用于控制光子发射器(3)，该控制单元能够以第一频率施加使光子发射器(3)极化的电压脉冲；‑液晶膜(4)，该液晶膜能够透射或阻挡由光...
    2026-02-08
  • 一种用于制造定制光学元件以调整光学部件的光学特性的方法
    一种用于制造定制光学元件以调整光学部件的光学特性的方法_奥普托图尼瑞士股份公司_202480046115.6
    本发明涉及一种用于制造定制光学元件以调整光学部件，例如护目镜，的光学特性的方法，其中，所述方法包括以下步骤：接收指示个人的视觉缺陷和/或光学部件所期望的视觉矫正的客户数据；根据客户数据，确定待制造光学元件的第一表面的形状，使得当光学元件应用...
    2026-02-08
  • 具有镜片更换系统的护目镜及其使用方法
    具有镜片更换系统的护目镜及其使用方法_瑞典POC公司_202380100010.X
    护目镜可包括护目镜框架、连接至护目镜框架的镜片组件以及在第一位置和第二位置将镜片组件固定至护目镜框架的第一保持部件和第二保持部件，以防止镜片组件与护目镜框架脱开。通过启动其中一个保持部件，可将镜片组件从护目镜框架上拆下。一种从护目镜框架上拆...
    2026-02-08
  • 用于将图像传送至观看者的眼睛的光学系统
    用于将图像传送至观看者的眼睛的光学系统_鲁姆斯有限公司_202480044424.X
    一种用于将与图像对应的光传送至观看者的眼睛的光学系统(100)具有：第一光导部分(120)，包括用于将在第一光导部分内传播的光渐进地重定向的渐进重定向配置(121)；偏振修改元件(131)；以及第二光导部分(110)，包括用于将在第二光导部...
    2026-02-08
  • 结构光照明系统、结构光照明方法以及超分辨光学系统
    结构光照明系统、结构光照明方法以及超分辨光学系统_深圳华大生命科学研究院_202380099703.1
    一种结构光照明系统、结构光照明方法以及超分辨光学系统，结构光照明系统包括：至少两个光源(1)，光源(1)用于产生预设波长的光束；至少两个光栅(2)，分别位于至少两个光源(1)的光路上，光栅(2)用于产生干涉条纹；位移台(3)，光栅(2)设于...
    2026-02-08
  • 成像透镜及摄像装置
    成像透镜及摄像装置_富士胶片株式会社_202480045844.X
    成像透镜从物体侧向像侧依次包括具有正屈光力的第1透镜组、第2透镜组及第3透镜组。在对焦时，第1透镜组与第2透镜组之间的间隔发生变化，第2透镜组与第3透镜组之间的间隔发生变化。成像透镜满足预先设定的条件式。
    2026-02-08
  • 成像光学系统
    成像光学系统_华为技术有限公司_202380100234.0
    本发明涉及一种成像光学系统，沿光轴从物侧到像侧包括：第一透镜组(G1)，在最物侧具有凸表面；棱镜(P)，包括：光输入表面，已经通过所述第一透镜组(G1)的光入射在所述光输入表面；多个反射表面，所述多个反射表面反射所述入射光；光输出表面，从所...
    2026-02-08
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