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最新专利技术
  • 一种西格玛沟槽刻蚀工艺控制方法、系统、设备及介质
    一种西格玛沟槽刻蚀工艺控制方法、系统、设备及介质_上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司_202411028035.6
    本申请公开了一种西格玛沟槽刻蚀工艺控制方法、系统、设备及介质，属于半导体技术领域，该方法首先获取前道刻蚀的前道量测数据；然后根据前道量测数据、前道量测数据和后道量测数据的关系，以及后道量测数据目标值，确定后道刻蚀的刻蚀时间；最后执行该刻蚀时...
    2026-02-12
  • 用于氧化铪的原子层刻蚀方法、设备以及半导体器件
    用于氧化铪的原子层刻蚀方法、设备以及半导体器件_上海邦芯半导体科技有限公司_202610012754.1
    本发明提供一种用于氧化铪的原子层刻蚀方法、设备以及半导体器件，所述方法包括对反应腔内待刻蚀器件顶面的氧化铪层执行多次循环处理，直至所述氧化铪层达到目标刻蚀要求，其中，每次循环处理包括：将所述待刻蚀器件的温度调节至目标反应温度；提供工艺气体，...
    2026-02-12
  • 一种半导体结构及其制作方法
    一种半导体结构及其制作方法_上海邦芯半导体科技有限公司_202610018433.2
    本申请公开了一种半导体结构及其制作方法，半导体结构包括：衬底；设于所述衬底表面上的刻蚀停止层；设于所述刻蚀停止层表面上的多个注入掩膜，相邻两个所述注入掩膜之间具有开口；所述刻蚀停止层包括自所述开口的底部上露出的第一部分，和位于所述注入掩膜下...
    2026-02-12
  • 一种晶圆表面的薄膜沉积方法
    一种晶圆表面的薄膜沉积方法_物元半导体技术(青岛)有限公司_202511606413.9
    本申请提供了一种晶圆表面的薄膜沉积方法，至少包括以下步骤：S1：提供一经干法刻蚀处理的晶圆；S2：对晶圆进行快速热退火处理，以修复干法刻蚀造成的表面损伤；S3：在经快速热退火处理后的晶圆表面上，通过等离子体增强化学气相沉积工艺沉积电介质薄膜...
    2026-02-12
  • 沉积碳导电膜的方法
    沉积碳导电膜的方法_美光科技公司_202511047447.9
    本申请涉及沉积碳导电膜的方法。所述方法可包含使第一前体与基底材料反应以在材料上形成碳化合物。所述第一前体可包含锗、硅或锡中的至少一种。所述方法可进一步包含使第二含碳前体与所述碳化合物反应以在所述基底材料上形成层。在此类情况下，可通过将多个材...
    2026-02-12
  • 基于硬掩模剥离技术的功能氧化物薄膜及高温图形化制备方法
    基于硬掩模剥离技术的功能氧化物薄膜及高温图形化制备方法_西安交通大学_202511552348.6
    本发明基于硬掩模剥离技术的功能氧化物薄膜及高温图形化制备方法，属于半导体薄膜技术领域。针对传统工艺难以实现高温沉积功能氧化物薄膜的高质量图形化问题，提出了一种基于双层金属硬掩模的剥离工艺。该方法以耐高温且对温度稳定的镍金属层作为承载层，以适...
    2026-02-12
  • 一种柔性电子器件临时键合方法
    一种柔性电子器件临时键合方法_江西钛矽芯能科技有限公司_202511740073.9
    本发明涉及柔性电子器件制造技术领域，公开一种柔性电子器件临时键合方法。所述临时键合方法包括以下步骤：提供复合衬底，所述复合衬底包括柔性衬底和设置在所述柔性衬底表面的UV解粘膜；提供刚性载体，在所述刚性载体表面制备环绕柔性电子器件区的挡坝；将...
    2026-02-12
  • 一种生物忆阻器的制备及其用于胚胎发育监测的方法
    一种生物忆阻器的制备及其用于胚胎发育监测的方法_西安交通大学_202511624422.0
    一种生物忆阻器的制备及其用于胚胎发育的监测方法，包括以下步骤；步骤一：采收腊肠果；步骤二：对腊肠果进行去皮，将收集的果肉进行清洗烘干，研磨制备成超细的粉末；步骤三：将超细的粉末与N‑甲基吡咯烷酮混合，常温下搅拌，然后通过真空过滤收集上清液，...
    2026-02-12
  • 一种基于壳聚糖忆阻器及其制备方法和逻辑运算装置
    一种基于壳聚糖忆阻器及其制备方法和逻辑运算装置_青岛科技大学_202511476391.9
    本发明涉及忆阻器技术领域，本发明提供一种基于壳聚糖忆阻器，包括从下至上依次层叠设置的衬底、缓冲层、复合介质层和顶电极；所述缓冲层为PEDOT : PSS水溶液旋涂于所述衬底后经热处理形成的；所述复合介质层为氧化石墨烯水分散液与壳聚糖乙酸溶液...
    2026-02-12
  • 有效减小铁电畴壁存储器矫顽电压的嵌入式电极结构及其制备方法
    有效减小铁电畴壁存储器矫顽电压的嵌入式电极结构及其制备方法_复旦大学_202511510759.9
    本发明属于铁电存储器技术领域，具体为有效减小铁电畴壁存储器矫顽电压的嵌入式电极结构及其制备方法。本发明采用铁电薄膜作为基本存储单元；铁电薄膜表面设有嵌入式电极凹槽，凹槽中填充电极材料；铁电薄膜下为金属或金属氧化物电极、二氧化硅/硅基或钙钛矿...
    2026-02-12
  • 一种基于衬底调控YBCO纳米线开关电压的方法
    一种基于衬底调控YBCO纳米线开关电压的方法_电子科技大学_202511626474.1
    本发明提供一种基于衬底调控YBCO纳米线开关电压的方法，属于单光子探测技术领域。该方法通过科学选取衬底材料，并在薄膜沉积前对衬底进行退火处理，再在其上制备YBCO纳米线，保证YBCO薄膜外延质量的同时降低界面热导率，延长声子逃逸时间，从而增...
    2026-02-12
  • 基板刻蚀方法、超导电路制备方法及其装置
    基板刻蚀方法、超导电路制备方法及其装置_本源量子计算科技(合肥)股份有限公司_202410991528.3
    本发明公开了一种基板刻蚀方法、超导电路制备方法及其装置，属于量子芯片制备技术领域。该基板刻蚀方法中，在采用第一等离子对初始基板进行刻蚀后，利用第二等离子对第一基板上残留的第一等离子进行去除。上述基板刻蚀方法中，由于第二等离子与第一等离子反应...
    2026-02-12
  • 一种低应力扰动垂直霍尔盘及电子元件
    一种低应力扰动垂直霍尔盘及电子元件_宁波中车时代传感技术有限公司_202511495858.4
    本发明实施例提供了一种低应力扰动垂直霍尔盘及电子元件，其中，低应力扰动垂直霍尔盘通过上下平行设置第一霍尔盘单元和第二霍尔盘单元，且使第一霍尔盘单元和第二霍尔盘单元上的所述有源区和所述电极重掺杂区形成的拓扑结构呈镜像对称或中心对称，使其形成具...
    2026-02-12
  • 隧道磁阻电流传感器的封装结构和隧道磁阻电流传感器的封装结构中导热绝缘层的制备方法
    隧道磁阻电流传感器的封装结构和隧道磁阻电流传感器的封装结构中导热绝缘层的制备方法_中国南方电网有限责任公司_202511572099.7
    本申请涉及一种隧道磁阻电流传感器的封装结构和隧道磁阻电流传感器的封装结构中导热绝缘层的制备方法，涉及传感器封装技术领域。本申请能够提高隧道磁阻电流传感器的散热能力以及环境适应性。该结构从外到内包括：抗冲击保护层、防潮密封层、导热绝缘层、微通...
    2026-02-12
  • 一种隧道磁阻传感器制备方法
    一种隧道磁阻传感器制备方法_中国南方电网有限责任公司_202511571731.6
    本申请涉及一种隧道磁阻传感器制备方法。所述方法包括：在衬底上外延生长水溶性牺牲层；在水溶性牺牲层上依次外延生长下电极层、势垒层和上电极层，得到位于水溶性牺牲层上的异质结；其中，下电极层和上电极层为铁磁性钙钛矿氧化物层，势垒层为绝缘性钙钛矿氧...
    2026-02-12
  • 一种基于开孔石英板定位的磁电传感器批量制备方法
    一种基于开孔石英板定位的磁电传感器批量制备方法_哈尔滨工程大学_202511737979.5
    本发明公开了一种基于开孔石英板定位的磁电传感器批量制备方法，属于磁电传感器制造技术领域。本发明的批量制备方法包括以下步骤：在石英板上加工出阵列式孔槽，得到开孔石英板1；将柔性电极平铺于底板上，覆盖所述开孔石英板1，并在孔槽中填充压电材料，然...
    2026-02-12
  • 基于复合压电薄膜的全3D打印柔性力传感器及制备方法
    基于复合压电薄膜的全3D打印柔性力传感器及制备方法_西安交通大学_202511572950.6
    本发明公开了一种基于复合压电薄膜的全3D打印柔性力传感器及制备方法，包括将制备的PDA@BTO纳米颗粒加入醋酸纤维素CA粉末中，进而制备PDA@BTO/CA前驱体混合溶液；在载有下电极层的PI薄膜表面打印PDA@BTO/CA前驱体混合溶液形...
    2026-02-12
  • 高熵钙钛矿氧化物压电层制备方法、压电薄膜制备方法及制备装置
    高熵钙钛矿氧化物压电层制备方法、压电薄膜制备方法及制备装置_昇澜半导体(常州)有限公司_202511577232.8
    本发明提供一种高熵钙钛矿氧化物压电层制备方法、压电薄膜制备方法及制备装置，所述高熵钙钛矿氧化物压电层制备方法包括：将基底、镧金属靶材以及铌元素掺杂的锆钛酸铅基靶材置于同一反应腔室内；在氩气与氧气混合气体氛围下对所述锆钛酸铅基靶材进行溅射，以...
    2026-02-12
  • 具有柔性衬底的压电结构及其制备方法、制备装置
    具有柔性衬底的压电结构及其制备方法、制备装置_昇澜半导体(常州)有限公司_202511577664.9
    本发明提供一种具有柔性衬底的压电结构及其制备方法、制备装置，先对柔性衬底基材进行高温再结晶退火以及冷轧处理，形成由上表层超细晶层、下表层超细晶层以及位于上表层超细晶层与下表层超细晶层之间的韧化马氏体层构成的双相梯度柔性衬底，再分别在上表层超...
    2026-02-12
  • 一种多晶n型硒化铅热电材料及其制备方法和应用
    一种多晶n型硒化铅热电材料及其制备方法和应用_福州大学_202511592398.7
    本发明公开了一种多晶n型硒化铅热电材料及其制备方法和应用，所述多晶n型硒化铅热电材料的化学式为[PbSe]1‑x1‑x[Pb0.998750.99875(GaSb)0.001250.00125Se]xx；其中，0
    2026-02-12
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