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  • 本发明提供了一种在蓝宝石衬底上外延生长Ga22O33单晶薄膜的方法及外延结构,在蓝宝石衬底上外延生长Ga22O33单晶薄膜的方法包括以下步骤:S1、对蓝宝石衬底表面进行Al离子注入处理;S2、对所述蓝宝石衬底表面进行温度梯度原位氧化处理,形...
  • 本发明公开了一种半导体外延层的制造方法,包括:在半导体衬底中进行掺杂形成阱区,半导体衬底的顶部表面的第一缺陷包括由阱区的杂质导致的晶格失配缺陷。执行一次以上的循环步骤形成过渡层,循环步骤包括:进行第一界面修复工艺以修复前层表面暴露的缺陷。进...
  • 本发明提供了一种氧化硅上制备碳化硅的方法,包括以下步骤:S1、在衬底上沉积氧化硅层;S2、在所述氧化硅层上沉积AlN缓冲层;S3、在所述AlN缓冲层上外延生长碳化硅层。本发明SiO22/AlN/SiC分层结构从晶格匹配、热匹配与表面化学活性...
  • 本发明涉及一种半导体结构及其键合方法,涉及半导体技术领域。其首先提供两个基底,该基底包括凹槽以及位于凹槽内的导电层,在垂直于基底的方向上,导电层的高度要小于凹槽高度,导电层上设置有复合材料层,该复合材料是在凹槽内的导电层上定向原位合成的,可...
  • 本发明提供一种半导体电容器。此半导体电容器包含有第一导电层、第二导电层以及介电层。介电层位于第一导电层以及第二导电层之间,且第一导电层及/或第二导电层通过等离子体处理,以去除不纯物,并将不纯物置换为氮原子,以改善漏电流以及电阻率。此外,一种...
  • 一种半导体结构及其形成方法,结构包括:基底,包括多个电容区,基底上形成有第一介电层,电容区的第一介电层中形成有凹槽;自下而上依次堆叠的多层电极层,位于电容区的第一介电层上,其中,位于最底层的电极层覆盖凹槽的侧壁和底面、以及第一介电层的部分顶...
  • 一种半导体结构及其形成方法,结构包括:基底,包括第一电容区和第二电容区,基底上形成有下层介电层,第一电容区的下层介电层中形成有第一凹槽,第二电容区的下层介电层中形成有第二凹槽,第二凹槽的开口尺寸大于第一凹槽的开口尺寸;第一电极层,覆盖第一凹...
  • 本发明公开一种基于非晶ITZO的高线性光电子突触器件及制备方法和应用,器件从下到上依次包括“衬底‑光电忆阻层‑电极”的对称两端结构,非晶ITZO通过溶胶‑凝胶旋涂工艺制备,通过调控非晶ITZO中金属阳离子In、Sn和Zn的比例改变氧空位浓度...
  • 本发明公开了一种选通器的制造方法和选通器,选通器的制造方法包括:在污染金属层上沉积第一金属硬掩模层;在第一金属硬掩模层上沉积第二金属硬掩模层;在第二金属硬掩模层上沉积第二电极层;通过第一刻蚀工艺刻蚀第二电极层和第二金属硬掩模层,并且停留在第...
  • 本发明公开了一种选通器的制造方法和选通器,选通器的制造方法包括:对污染金属层进行晶边刻蚀,以在污染金属层第一方向的一侧形成第一刻蚀斜面;在污染金属层上沉积金属硬掩模层,其中,金属硬掩模层至少覆盖污染金属层的上侧和第一刻蚀斜面;在金属硬掩模层...
  • 本发明公开了一种选通管的制造方法,选通管的制造方法包括:制备衬底,在衬底上侧沉积介质层;在介质层上侧沉积下电极层,在下电极层上侧沉积第一金属层;在第一金属层上侧沉积阻变层,在阻变层上沉积第二金属层;在第二金属层上沉积上电极层,以形成晶圆;翻...
  • 本发明涉及一种掺杂五氧化二钒阻变材料及其构建方法与性能仿真方法,属于阻变材料的技术领域。针对现有五氧化二钒阻变材料导电细丝产生随机性强、电学性能不稳定的问题,提供一种通过原子替位掺杂改善的阻变材料。该材料采用1*2*2扩胞结构的五氧化二钒,...
  • 本发明提供了一种基于纳米激光直写的忆阻器的制备方法,涉及忆阻器的制备技术领域, 在高阻硅衬底上采用直流磁控溅射法沉积粘附层和铜薄膜;通过光刻工艺在所述铜薄膜上形成电极图形;在电极图形间未蚀刻区域,采用纳米激光直写技术构建金属‑氧化物‑金属桥...
  • 本发明涉及一种基于石墨烯的多量值量子电阻器件的制备方法,包括如下步骤:在碳化硅/石墨烯基底上沉积多个金属电极;在所述金属电极表面以及多个金属电极之间沉积沟道保护金属;刻蚀沉积有沟道保护金属之外区域的石墨烯;在所述沟道保护金属表面及周围沉积超...
  • 一种基于磁畴壁往复运动的纳米振荡器,整体呈圆柱形圆盘叠层结构,包括沿轴向依次层叠设置的第一重金属层、第一磁性层、第二重金属层、绝缘层、第三重金属层、第二磁性层及第四重金属层;所述第一重金属层和第二重金属层传输面内直流电流并通过自旋霍尔效应产...
  • 高迁高稳氧化物半导体材料、靶材、薄膜、晶体管及应用,其中高迁高稳氧化物半导体材料,为通过在金属氧化物MO中掺入磁性材料MA形成化学式为(MA)xx(MO)1‑x1‑x的半导体材料,且0.001≤x≤0.3,从而使其载流子具有可电场控制的自旋...
  • 本发明属于自旋电子学领域,公开了一种基于磁涡旋手性调控的二值逻辑门器件,包括若干个铁磁性纳米盘和5个偏置纳米磁体,铁磁性纳米盘之间相切或相交,形成互通纳米结构,5个偏置纳米磁体用于调控磁涡旋的手型,铁磁性纳米盘和偏置纳米磁体的材料相同,为含...
  • 本申请涉及一种半导体器件结构、形成方法和磁性随机存储器,该半导体器件结构包括:衬底层;位于衬底层上的多个磁性隧道结MTJ结构和多个介质结构;多个MTJ结构和多个介质结构间隔排列;每个MTJ结构包括自下至上形成的底电极、MTJ和顶电极;每个介...
  • 一种磁性随机存取存储单元及其形成方法、磁性随机存取存储器,存储单元包括:自旋轨道扭矩层,用于在对磁性随机存取存储单元进行写操作时流经写入电流;磁隧道结,位于自旋轨道扭矩层下方且与自旋轨道扭矩层相接触;第一导电结构,位于磁隧道结的一侧且位于自...
  • 本申请提供一种制备亚10纳米级别纳米线的方法、磁存储器及制备方法;包括:首先提供碳纳米管复合纳米线;碳纳米管复合纳米线包括单根纯碳纳米管以及包覆于单根纯碳纳米管外表面的保护层。然后提供基底;基底包括衬底、待刻蚀层以及牺牲层。然后以碳纳米管复...
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