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  • 本发明公开一种光机电共封装结构,涉及半导体技术领域,包括气密封盖和垫高接地层,两者在芯片核心区域构建真空或气密环境,以满足MEMS‑硅光芯片信号处理单元工作要求,突破传统开放式封装局限,在此基础上,芯片底部的光电导通层通过掺杂与未掺杂或重掺...
  • 本发明涉及半导体刻蚀技术领域,尤其涉及一种控温式干法刻蚀机及工艺。包括:工作台;电动升降架,设置于所述工作台内,所述电动升降架内设置有温控件;盛放箱,固接于所述工作台上且位于所述电动升降架的上方,所述电动升降架的伸缩部伸出且与所述盛放箱接触...
  • 本发明公开了一种晶圆缺陷检测系统和晶圆缺陷检测方法。其中,晶圆缺陷检测系统包括:外观检测模块、打标模块和控制模块;打标模块包括激光打标单元和点墨单元;控制模块分别与外观检测模块、激光打标单元和点墨单元通信连接;外观检测模块用于获取晶圆背面图...
  • 一种封装结构以及封装结构的形成方法,在封装结构中的电功能芯片用于电子信号处理,光芯片能够实现大数据吞吐,存储芯片能够实现数据存储,当第二封装体工作时,信号可以从电功能芯片引出,并通过光芯片进行光电转换和高速光传输,数据被存储芯片存储,能够实...
  • 本申请适用于半导体先进封装技术领域,提供了一种基板通孔的制作方法、基板及装置,用于在保障通孔精度的同时,在基板上制作不同孔径的通孔。该方法包括:在基板上的第一区域进行预处理形成第一预处理区,第一预处理区用于形成第一通孔,第一通孔具有第一孔径...
  • 本申请提出一种基板的制作方法、基板及装置,涉及半导体先进封装技术领域,用于提高在基板上制作盲槽和TGV孔的效率,其中,基板包括相对的第一表面和第二表面,第一表面包括第一区域和第二区域,第一区域用于形成第一通孔,第二区域用于形成盲槽,该方法包...
  • 本申请公开了一种导电围蔽结构的制备方法,涉及电子封装技术领域,该制备方法中可选择制备方式对基材衬底进行导电层施加,在基材衬底上形成导电层,并进行层间结合强化以提升导电层与基材衬底间的结合,使得该导电围蔽结构的厚度大大减少,利用曝光显影形成目...
  • 本申请提供了MOSFET芯片生产中的刻蚀参数调节方法及装置,涉及半导体技术领域,该方法包括:获取晶圆表面的离子体密度分布数据及刻蚀速率监测值,并动态分割为多个区段独立控制单元;调节射频功率分配权重,并同步调整反应气体注入参数;对刻蚀副产物的...
  • 本发明公开了一种改善多层晶圆键合效果的退火方法及应用,方法包括以下步骤:步骤1、将第一晶圆的键合面与第二晶圆的第一键合面进行第一次硅硅键合;步骤2、对键合后的第一、第二晶圆进行第一次高温退火,保护气体至少包含氮气,在退火升温之前通入氧气,在...
  • 本发明涉及一种用于低能电子源的电子引出方法及系统,所述方法包括以下步骤:提供至少一个阴极、至少一个加热电源和至少一个控制电极;在第一时间段内,由所述加热电源为所述阴极提供加热电流,使所述阴极温度升至电子发射阈值以上,同时控制所述控制电极与所...
  • 本发明公开了一种利用高温碱活化制备超级电容器电极的方法,包括制备多孔碳、制备成电极片、制备成超级电容器,并进行电化学性能测试和材料表征测试。本发明在制备超级电容器电极材料碳前驱体时,利用管式炉高温去除生物质里有机物的作用,能够将核桃壳里的有...
  • 本发明提供一种钠离子电池电容器及其制备方法。该钠离子电池电容器包括正极极片、负极极片、隔膜和电解液;所述正极极片中包括复合正极材料,所述复合正极材料包括电容型材料和层状氧化物;所述负极极片中包括复合负极材料,所述复合负极材料包括硬碳和表面官...
  • 本发明涉及光伏变压器的技术领域,尤其涉及一种光伏变压器用铜线绕制挤压装置,包含有连续挤压机和无氧铜杆,所述连续挤压机包括有主动模座和若干从动模座,若干从动模座以主动模座为轴线环形分布,所述主动模座的中侧开设有环形压槽,所述从动模座的外侧设置...
  • 本申请涉及变压器技术领域,具体涉及一种片式变压器及电源模块,包括陶瓷基板;所述陶瓷基板包括若干个层叠设置的陶瓷膜片;所述陶瓷膜片上设有导电柱,所述导电柱延伸方向垂直所述陶瓷膜片;所述陶瓷膜片表面设有螺旋线圈,相邻所述螺旋线圈的端部通过所述导...
  • 本发明属于电抗器抗震技术领域,具体涉及一种电抗器用减震装置及电抗器。该电抗器用减震装置,包括法兰本体和减震组件,所述法兰本体用于将减震组件安装在电抗器附件中的瓷瓶和电抗器本体之间,所述减震组件包括第一缓冲刚性结构、第二缓冲刚性结构和缓冲弹性...
  • 本发明公开了一种多功能中压采煤机用电缆,属于电缆技术领域,该电缆包括动力线芯单元、通信线芯单元、地线芯单元、辅助线芯单元和光纤单元;多个线芯单元绞合成缆芯结构;动力线芯单元、地线芯单元和光纤单元组成的间隙填充有半导电硅基凝胶;动力线芯单元内...
  • 本发明公开了一种风机叶片用避雷线及其制备方法,属于避雷线技术领域,该风机叶片用避雷线,包括导体单元、屏蔽单元和绝缘层;屏蔽单元为Fe3+动态螯合硅凝胶;Fe3+动态螯合硅凝胶交联有单宁酸‑Fe
  • 本发明公开了一种X射线光束制备方法及探测器标定方法。X射线光束制备方法为:1)根据探测器刻度需求,选择对应靶材的X射线光管;2)根据所选X射线光管的能量制备多层膜元件,用于对X射线光管输出的X射线进行衍射;3)将多层膜元件放置在距离所选X射...
  • 本发明提出一种基于XR混合现实技术的经络可视化诊疗系统,包括:多模态数据采集模块、智能诊断引擎和AR诊疗交互模块;本发明通过多模态数据融合与动态渲染技术,显著提升了中医诊疗的精准性和效率。系统将传统二维图示升级为动态三维可视化,结合实时生物...
  • 本发明公开了基于多模态医学图像的整形手术辅助策略生成方法及系统,涉及辅助策略生成技术领域,采集多模态医学图像后,提取多层次组织结构信息,并构建面部结构功能联动图;在所述功能联动图中识别具有关联影响关系的结构耦合区域,作为干预区;基于所述干预...
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