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  • 本发明涉及一种紧凑型径向高功率微波产生器,属于高功率微波技术领域。它由阴极1、第一漂移段2、耦合腔3、第二漂移段4、径向慢波结构5、电子束收集极6、径向耦合通道7、模式转换器8和输出波导9组成。本发明涉及的紧凑型径向高功率微波产生器为圆周对...
  • 本发明涉及X射线管中的中断环,其中,x射线管10可以具有(a)使阴极11与阳极12电绝缘的外壳;(b)在外壳的内表面上的涂层环18,该涂层环18环绕着外壳的纵轴16;(c)位于外壳的内表面与涂层环18不同位置处的中断环19。中断环19可在沿...
  • 本发明涉及一种运行粒子束设备的方法,该粒子束设备用于对物体进行成像、加工和/或分析,并且还涉及一种计算机程序产品和一种用于执行该方法的粒子束设备。该方法包括以下步骤:提供用于粒子束设备的粒子束相对于物体的相对定位的控制数据,其中,该控制数据...
  • 本公开实施例公开了一种离子源在线检测方法、装置、电子设备及存储介质,涉及离子源技术领域,该方法包括:接收离子源射出的离子束,基于离子束测量得到第一电流信号和第二电流信号;第一电流信号为法拉第杯沿横轴移动测量得到的,第二电流信号为法拉第杯在至...
  • 本申请提供一种表面平坦化机构,其包含电浆处理装置、承载装置及调整装置。电浆处理装置用以对待制程物体的处理表面进行平坦化处理;承载装置供待制程物体放置,且使待制程物体对应于电浆喷头的位置;调整装置包含旋转调整单元及第一单轴调整单元,旋转调整单...
  • 本申请提供一种脉冲偏压信号生成方法以及半导体工艺设备,应用于半导体工艺设备技术领域,该方法获取目标IEDF,该目标IEDF记载多个单峰IEDF以及各单峰IEDF对应的离子量占比和离子能量峰值,并基于各单峰IEDF对应的离子能量峰值和脉冲偏压...
  • 公开了一种能够有效调节自由基组分的重组速率的气体分配模块、一种衬底加工方法和一种衬底加工设备。所述气体分配模块被配置为将气体供应至使用等离子体的衬底加工设备中的加工区,所述气体分配模块包括:上部电极;离子阻挡器,其设置在所述上部电极的下方,...
  • 本公开提供一种处理装置和处理方法,能够使热历程的减少与处理气体的反应性的提高两立。本公开的一个方式的处理装置具备:处理容器,在该处理容器形成有用于对多张基板进行处理的处理空间;等离子体生成部,在该等离子体生成部形成有与所述处理空间连通并用于...
  • 一种清洁用于电子制造系统的腔室的方法包括使包含氧气和载气的气体混合物流入远程等离子体产生器中。方法进一步包括通过远程等离子体产生器由气体混合物产生等离子体并且通过使等离子体流入腔室的内部体积中来执行腔室的远程等离子体清洁,其中等离子体从腔室...
  • 本发明提供一种半导体工艺腔室的清洁方法。该方法包括以下步骤:向半导体工艺腔室中通入清洁气体,以使附着在腔室内壁上的颗粒物脱离;持续通入清洁气体并在腔室内施加能量,以形成气体循环,从而使颗粒物悬浮并随气体循环流动;停止通入清洁气体,并利用腔室...
  • 本发明属于等离子体源技术领域,提供了一种等离子体源功率电路、控制方法及装置,功率电路包括准Z源变换器和全桥逆变电路,准Z源变换器连接直流电源,在直通状态和非直通状态之间切换;当准Z源变换器处于直通状态时,全桥逆变电路的负载侧被短接;当准Z源...
  • 提供了一种制作固态电极片的方法。所述方法包括将能够发生化学反应以形成目标固态电解质(SSE)的前体与粘合剂、电极活性材料和导电碳中的一种或多种在溶剂中混合以形成涂覆浆料。所述前体在溶剂中发生化学反应,以形成目标SSE。将涂覆浆料施加至集流体...
  • 本发明涉及电极活性物质浆料的制造方法。制造电极活性物质浆料的本公开的方法是包括在混炼装置内将原料混合物混炼的电极活性物质浆料的制造方法,上述混炼装置具有:将上述原料混合物的最下部加热的加热部、和将上述原料混合物的最上部冷却的冷却部,并且在混...
  • 本申请涉及电池技术领域,具体涉及一种电池单体、二次电池和用电装置。本申请提供的电池单体包括负极极片,负极极片包括:负极集流体,以及设置在负极集流体的至少一个表面上的负极膜层,负极膜层包括负极活性物质层和膨胀层;负极极片包括主体区和边缘区,主...
  • 本申请提供了一种正极极片,二次电池和用电装置。本申请的正极极片有助于制备低成本的二次电池,所述二次电池具有较低的Hi‑pot不良比率和直流内阻,同时具有较好的高温容量保持率和高温容量恢复率。
  • 提供了干电极和制造干电极的方法。干电极包括:第一复合层,包括活性物质;以及基板层,在第一复合层的至少第一表面上。制造干电极的方法包括:干法形成包括活性物质的第一复合层;以及在第一复合层的至少第一表面上沉积基板层。
  • 根据本发明的实施方案的负极包括:负极集流体;第一负极活性物质层,所述第一负极活性物质层设置在负极集流体的至少一面上并包含第一硅基活性物质和第一粘合剂,所述第一粘合剂包含第一橡胶基粘合剂和第一纤维素基粘合剂;以及第二负极活性物质层,所述第二负...
  • 本发明提供了一种极片结构及电芯组装方法,极片结构包括有机材料基材、正极极片以及负极极片;正极极片包括正极集流体和正极活性材料层,正极集流体设于有机材料基材的表面,正极活性材料层设于正极集流体背离有机材料基材的侧面;负极极片包括负极集流体和负...
  • 本申请提供了一种极片组件、电化学装置及电子设备,极片组件包括极片、极耳、第一胶层和第二胶层,极片包括复合集流体,复合集流体包括相互层叠的绝缘层、第一导电层和第二导电层,第一导电层和第二导电层分别连接于绝缘层的相互背对的两侧表面;第一胶层为导...
  • 本发明涉及电化学储能技术领域,公开了一种极片组件、电化学装置以及电子设备,包括极片、极耳以及导电胶层,极片包括集流体,所述集流体包括空白区;极耳包括导电部和导电支脚,所述导电部延伸于所述极片沿宽度方向的外侧,所述导电支脚连接于所述导电部并叠...
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