一种新型的芯片晶圆加工用清洗设备
70
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专利号：2023233742365专利权维持
申请日：
2023-12-11
发布日期：2025-08-15
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专利摘要
本实用新型公开了一种新型的芯片晶圆加工用清洗设备，包括清洗槽、清洗篮和储水箱，所述清洗槽上方的前后两端设置有立板，所述立板的下方固定安装有支撑板，所述转盘的一侧固定安装有偏心杆，所述偏心杆上设置有扇形齿轮，所述扇形齿轮的下方设置有导向杆，所述固定块上固定安装有清洗篮，所述清洗槽下方的一侧设置有储水箱，所述支撑架的下方固定安装有喷头。本实用新型通过储水箱与喷头的设置，当晶圆在清洗槽内部与清洗液充分反应清洗后，气缸来驱动清洗篮抬起漏出清洗液水平面，然后在将储水箱内部的清水导入喷头处，多个喷头同时对清洗篮内部的晶圆进行清水喷淋清洗，可以进一步去除晶圆表面的残留物和清洗剂，避免二次污染。
交易流程
01
免费咨询
联系客服享一对一免费咨询服务02
需求匹配
精准匹配需求，不成功不收费03
确定购买
达成协议后按照约定支付账款04
官方备案
按协议约定办理官方备案手续05
交易完成
双方完成协议约定即交易完成
过户资料
| 主体资格 | 买家 | 卖家 | 平台提供 | 过户后您将会获得 |
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专利代理委托书 专利权转让协议 办理文件副本请求书 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
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企业营业执照 企业组织机构代码证 |
企业营业执照 专利证书原件 |
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