一种溶液固化装置
70
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专利号：2023213284491等年费滞纳金
申请日：
2023-05-29
发布日期：2025-07-16
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专利摘要
本实用新型公开了一种溶液固化装置，包括基座，所述基座内部固定有电机，所述底轴另一端与轨道板底端外侧面连接固定，所述轨道板顶端套设有安装套板，所述安装套板顶端螺纹安装有锁定螺栓，所述安装套板底端固定有基板，所述基板末端贯穿安装有调节螺纹杆，所述调节螺纹杆底端通过轴承座与安装板顶面旋转连接，所述安装板底面安装有UV固化灯。该溶液固化装置，采用新型的结构设计，通过机械驱动结构，带动UV固化灯进行大幅正反交替旋转摆动，不断改变UV固化灯的照射角度，对不同尺寸晶圆表面的旋涂光刻胶进行全面多角度的均匀照射固化，且UV固化灯的安装位置能够便捷的调整，能够实现对晶圆局部光刻胶的加速固化。
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企业营业执照 专利证书原件 |
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