山西华耀亿嘉集成电路有限公司申璐曼获国家专利权
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龙图腾网获悉山西华耀亿嘉集成电路有限公司申请的专利一种晶圆真空吸附定位平台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234179U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521154721.8，技术领域涉及：H10P72/78；该实用新型一种晶圆真空吸附定位平台是由申璐曼;颉信忠;刘天生设计研发完成，并于2025-06-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆真空吸附定位平台在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工领域，具体公开了一种晶圆真空吸附定位平台；本实用新型通过设置转盘、盖板、滑槽和滑块，当使用人员需要吸附不同尺寸的晶圆时，可以通过电机带动转盘转动，转动的转盘带动滑块在滑槽内部滑动，以此将滑块移动到不同尺寸的晶圆下方，通过配气件和第一气管在吸气孔内部营造负压环境，通过吸气孔吸附晶圆，便于后续加工，另外设置出气孔和橡胶密封膜，当使用人员需要调整盖板上的晶圆位置时，可以通过配气件和第二气管向出气孔内部打气，营造加压环境使得橡胶密封膜凸起，通过凸起的橡胶密封膜与晶圆接触，然后控制滑块和橡胶密封膜移动，通过橡胶密封膜与晶圆之间的摩擦力调整晶圆位置，以此将晶圆移动到合适加工位置。
本实用新型一种晶圆真空吸附定位平台在权利要求书中公布了：1.一种晶圆真空吸附定位平台，其特征在于，包括： 安装台1，所述安装台1底部固定连接有支撑柱2和电机3； 转盘4，所述转盘4转动连接在所述安装台1上，且所述转盘4与所述电机3的输出轴固定连接，所述转盘4上开设有呈涡状线设置的凹槽； 盖板5，所述盖板5固定安装在所述安装台1上，且所述盖板5位于所述转盘4上方，所述盖板5上开设有滑槽6，所述滑槽6内部滑动连接有与所述转盘4传动连接的滑块7，所述滑块7上固定连接有第一气管71，且所述滑块7上开设有与所述第一气管71连通的吸气孔72； 配气件8，所述配气件8固定安装在所述安装台1上，且所述配气件8与所述第一气管71连接。
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