成都高真科技有限公司郭挑远获国家专利权
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龙图腾网获悉成都高真科技有限公司申请的专利晶圆处理设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224234123U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520755366.3，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型晶圆处理设备是由郭挑远设计研发完成，并于2025-04-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆处理设备在说明书摘要公布了：本实用新型提出了一种晶圆处理设备，包括工艺腔室、加热装置、冷却装置和控制装置，工艺腔室内部形成用于对晶圆进行工艺处理的处理空间；加热装置设置于工艺腔室，并用于提升处理空间的温度；冷却装置设置于工艺腔室，并用于降低处理空间的温度；控制装置分别与加热装置和冷却装置电连接，并被配置为根据处理空间的温度或者加热装置的功率控制冷却装置。本实用新型提出的晶圆处理设备通过设置工艺腔室对晶圆进行工艺处理，设置冷却装置对工艺腔室进行冷却，在加热装置功率过大或者工艺腔室内温度过高时，可通过冷却装置对工艺腔室进行快速降温冷却，使得工艺腔室的温度能够在正常范围内，从而使得晶圆处理工艺正常进行。
本实用新型晶圆处理设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆处理设备，其特征在于，包括： 工艺腔室，内部形成用于对晶圆进行工艺处理的处理空间； 加热装置，设置于所述工艺腔室，并用于提升所述处理空间的温度； 冷却装置，设置于所述工艺腔室，并用于降低所述处理空间的温度； 控制装置，分别与所述加热装置和所述冷却装置电连接，并被配置为根据所述处理空间的温度或者所述加热装置的功率控制所述冷却装置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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