沃特洛电气制造公司特里·科尔赫获国家专利权
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龙图腾网获悉沃特洛电气制造公司申请的专利用于半导体加工的加热器系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224234118U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202390000347.9,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型用于半导体加工的加热器系统是由特里·科尔赫;埃里克·艾利斯设计研发完成,并于2023-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于半导体加工的加热器系统在说明书摘要公布了:一种用于半导体加工的加热器系统,包括基座、多个气体处理部件和加热器。多个气体处理部件固定到基座。加热器沿着基座的长度布置,并位于基座和多个气体处理部件之间。加热器被配置成向多个气体处理部件提供热量。
本实用新型用于半导体加工的加热器系统在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体加工的加热器系统,所述加热器系统包括: 基座, 多个气体处理部件,其固定到所述基座;以及 聚酰亚胺加热器,其布置在所述基座上且夹在所述基座与所述多个气体处理部件之间,所述加热器被配置成向所述多个气体处理部件提供热量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人沃特洛电气制造公司,其通讯地址为:美国密苏里州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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