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江苏圣创半导体科技有限公司顾斌杰获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏圣创半导体科技有限公司申请的专利一种超声能量与压力协同耦合的超声键合工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121793799B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610263584.4,技术领域涉及:H10W72/00;该发明授权一种超声能量与压力协同耦合的超声键合工艺是由顾斌杰;顾创垄;孙海鹏设计研发完成,并于2026-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种超声能量与压力协同耦合的超声键合工艺在说明书摘要公布了:本发明涉及高精度制造技术领域,尤其涉及一种超声能量与压力协同耦合的超声键合工艺,包括:基于引线材质匹配预设的键合压力目标值及超声功率范围;使压电陶瓷在超声功率范围内产生振动,经变幅杆放大后传输至劈刀;根据视觉系统定位焊点坐标,控制音圈电机驱动劈刀移动至目标焊盘;实时测量劈刀施加的键合压力施加值,并根据键合压力施加值与键合压力目标值的偏差生成压电陶瓷的驱动力修正指令;通过压电陶瓷配合弹性放大机构,执行驱动力修正指令并生成补偿位移;在劈刀的移动与补偿过程中,通过磁流变阻尼器动态吸收运动冲击能量直至键合完成。通过本发明,有效解决了现有键合技术中机械能传递链路动态失稳导致的焊点微观结构缺陷的问题。

本发明授权一种超声能量与压力协同耦合的超声键合工艺在权利要求书中公布了:1.一种超声能量与压力协同耦合的超声键合工艺,其特征在于,所述工艺包括: 基于引线材质匹配预设的键合压力目标值及超声功率范围; 使压电陶瓷在所述超声功率范围内通过超声波发生器驱动产生振动,经变幅杆放大后传输至劈刀; 根据亚像素级视觉系统定位焊点坐标,控制音圈电机驱动所述劈刀移动至目标焊盘; 实时测量所述劈刀施加的键合压力施加值,并根据所述键合压力施加值与所述键合压力目标值的偏差生成所述压电陶瓷的驱动力修正指令; 通过所述压电陶瓷配合弹性放大机构,执行所述驱动力修正指令并生成微米级补偿位移; 在所述劈刀的移动与补偿过程中,通过磁流变阻尼器动态吸收运动冲击能量直至键合完成; 生成所述压电陶瓷的驱动力修正指令,包括: 连续采集所述键合压力施加值并计算与所述键合压力目标值的实时偏差量,同时记录所述实时偏差量的方向变化与持续时间特征; 根据所述实时偏差量的数值比例生成反向比例调节分量; 所述实时偏差量结合所述持续时间特征产生的累计效应生成积分补偿分量; 所述实时偏差量融合所述方向变化速率生成的微分抑制分量; 对所述反向比例调节分量、所述积分补偿分量和所述微分抑制分量进行线性叠加后转换为对应压电陶瓷的电场强度指令值作为所述驱动力修正指令; 执行所述驱动力修正指令并生成微米级补偿位移,包括: 将所述驱动力修正指令转换为所述压电陶瓷的电势场调整信号,基于逆压电效应驱动所述压电陶瓷的晶体晶格发生形变以产生初始位移; 将所述压电陶瓷产生的所述初始位移经由所述弹性放大机构的机械杠杆放大结构逐级提升位移输出值,获得放大后的机械补偿位移; 将所述放大后的机械补偿位移传递至所述劈刀的基座连接部位,作为所述微米级补偿位移以修正所述劈刀的压力施加位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏圣创半导体科技有限公司,其通讯地址为:213100 江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区海湖路6号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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