中微半导体设备(上海)股份有限公司陈煌琳获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉中微半导体设备(上海)股份有限公司申请的专利聚焦环对准测量装置、系统、方法及等离子体处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115249605B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110458764.5，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权聚焦环对准测量装置、系统、方法及等离子体处理装置是由陈煌琳;连增迪设计研发完成，并于2021-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本聚焦环对准测量装置、系统、方法及等离子体处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种聚焦环对准测量装置、系统、方法及等离子体处理装置，所述聚焦环对准测量装置包括：板状主体；定位结构，设置在所述板状主体上；传感器，设置在所述板状主体上，用于向所述聚焦环的内侧面发射信号；在测量时，所述板状主体被放置在静电夹盘上，通过所述定位结构实现所述板状主体与所述静电夹盘之间的定位，通过所述聚焦环的内侧面的多个位置的信号反馈测量所述聚焦环相对所述静电夹盘中心的偏移量。本发明解决了现有技术中开腔更换聚焦环效率低、成本高，不开腔更换又无法控制对中性的问题。
本发明授权聚焦环对准测量装置、系统、方法及等离子体处理装置在权利要求书中公布了：1.一种聚焦环对准测量装置，用于一等离子体处理装置，所述等离子体处理装置包括反应腔，以及位于反应腔内的静电夹盘，其特征在于，包括： 板状主体； 定位结构，设置在所述板状主体上；所述定位结构与所述静电夹盘上设置的用于定位晶圆的定位部相匹配，实现所述板状主体的中心与所述静电夹盘的中心对齐； 传感器，设置在所述板状主体的上表面或侧面，用于向所述聚焦环的内侧面发射光信号； 在测量时，所述板状主体被放置在所述静电夹盘上，通过所述定位结构实现所述板状主体与所述静电夹盘的中心之间的定位，通过所述聚焦环的内侧面的多个位置的光信号反馈测量所述聚焦环相对所述静电夹盘的中心的偏移量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中微半导体设备(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励