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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利使用多扫描电子显微镜的晶片对准获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114391178B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080063251.8，技术领域涉及：H10P72/50；该发明授权使用多扫描电子显微镜的晶片对准是由J.C.萨拉斯瓦图拉;J.T.纽曼;P.胡思沃尔;T.科尔布;R.哈努曼萨纳亚克设计研发完成，并于2020-09-08向国家知识产权局提交的专利申请。

本使用多扫描电子显微镜的晶片对准在说明书摘要公布了：本发明公开了一种方法、处理装置和系统。所述方法包括控制多扫描电子显微镜mSEM，以在电动装卸台处于第一定位的同时拍摄附接到电动装卸台的晶片的第一影像。第一影像包括晶片的凹槽的至少一部分。该方法也包括基于第一影像决定晶片的径向轴，以及控制电动装卸台，以将晶片沿着径向轴位移晶片的一半直径，以使电动装卸台处于第二定位。该方法更包括控制mSEM，以在电动装卸台处于第二定位的同时拍摄晶片的第二影像。第二影像包括晶片结构。此外，该方法包括基于对第二影像的晶片结构的结构辨认，决定晶片的参考定位，以及基于参考定位和径向轴，将晶片的晶片坐标系统配准到电动装卸台的载台坐标系统。

本发明授权使用多扫描电子显微镜的晶片对准在权利要求书中公布了：1.一种用于晶片对准的方法，包含： 控制多扫描电子显微镜32，以在电动装卸台90处于第一定位的同时拍摄附接到该电动装卸台90的晶片100的第一影像601，该第一影像601包含该晶片100的凹槽201的至少一部分； 基于该第一影像601决定该晶片100的径向轴205； 控制该电动装卸台90，以将该晶片100沿着该径向轴205位移该晶片100的一半直径，以使该电动装卸台90处于第二定位； 控制该多扫描电子显微镜32，以在该电动装卸台90处于该第二定位的同时拍摄该晶片100的第二影像602，该第二影像包含晶片结构112,112-1–112-4,113,261,262,272； 基于对该第二影像602的晶片结构112,112-1–112-4,113,261,262,272的结构辨认，决定该晶片100的参考定位209；以及 基于该参考定位209和该径向轴205，将该晶片100的晶片坐标系统192配准到该电动装卸台90的载台坐标系统191。

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