松下知识产权经营株式会社辻泽孝文获国家专利权
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龙图腾网获悉松下知识产权经营株式会社申请的专利基板搬运装置以及基板搬运方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113979114B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110798153.5，技术领域涉及：B65G47/91；该发明授权基板搬运装置以及基板搬运方法是由辻泽孝文设计研发完成，并于2021-07-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板搬运装置以及基板搬运方法在说明书摘要公布了：本发明涉及基板搬运装置以及基板搬运方法，提供能够抑制不能进行基板的交接的情况的基板搬运装置等。基板搬运装置100具备：搬运臂63，具有用于吸附基板的第1面来进行保持的第1吸附部65；移动部64，使搬运臂63移动；和工作台72，载置基板。工作台72具有第2吸附部73，该第2吸附部被设置为从工作台72的上表面突出，用于吸附基板中的与第1面对置的第2面来进行保持。在保持在搬运臂63以及工作台72的一者的基板交接至另一者时，第1吸附部65通过移动部64而移动到与第2吸附部73对置的位置。
本发明授权基板搬运装置以及基板搬运方法在权利要求书中公布了：1.一种基板搬运装置，具备： 搬运臂，具有用于吸附基板的第1面来进行保持的第1吸附部； 移动部，使所述搬运臂移动；和 工作台，载置所述基板， 所述工作台具有：第2吸附部，被设置为从所述工作台的上表面突出，用于吸附所述基板中的与所述第1面对置的第2面来进行保持， 在保持在所述搬运臂以及所述工作台的一者的所述基板交接至另一者时，所述第1吸附部通过所述移动部而移动到与所述第2吸附部对置的位置， 所述基板搬运装置还具备：控制部，控制所述第1吸附部以及所述第2吸附部的吸附力， 在保持在所述搬运臂的所述基板载置于所述工作台时，所述控制部使所述第1吸附部对所述基板的吸附力降低，然后使所述第2吸附部吸附并保持所述基板。
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