北京烁科中科信电子装备有限公司杜琴获国家专利权
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龙图腾网获悉北京烁科中科信电子装备有限公司申请的专利一种利用多磁极磁棒间距控制的自动调节剂量均一性的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112670147B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-12发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201910980542.2，技术领域涉及：H01J37/302；该发明授权一种利用多磁极磁棒间距控制的自动调节剂量均一性的方法是由杜琴设计研发完成，并于2019-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种利用多磁极磁棒间距控制的自动调节剂量均一性的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种利用多磁极磁棒间距控制的自动调节剂量均一性的方法。该方法通过调节2n个磁极磁棒之间的距离来改变磁场分布，本方法包括：测量磁极位置未改变时离子束流初始值J01，上下各n个磁极分别设置相同磁棒间距，利用移动法拉第双向测量模式采集每一磁极可同时采集两个互相不干扰的磁极对应的离子束流值2，计算磁极响应与磁棒间距的幅度关系，并利用该关系式迭代计算3，利用初始束流平均值解超定方程计算出每个磁极的最佳磁棒间距值4，机台线上验证调试效果5。设计多种调节模式，根据当前束流状态选择最佳的调节模式进行剂量均一性调节。本发明涉及离子注入装置及最小二乘算法，隶属于半导体制造领域。
本发明授权一种利用多磁极磁棒间距控制的自动调节剂量均一性的方法在权利要求书中公布了：1.一种利用多磁极磁棒间距控制的自动调节剂量均一性的方法，其特征在于：包括： 测量多磁极位置均未改变时的离子束流初始值J0； 依次采集每两个互不干扰的磁极增加相同磁棒间距的离子束流值； 根据采集数据计算磁极的响应与磁棒间距的幅度关系，假设磁棒间距设置增量等于Δd，其数学模型表达式为： ； 其中，为第i个磁极增加磁棒间距为△d时的离子束流值，为与J0的差值；ai、xi、wi均为第i个磁极的响应数学模型系数，利用上述数学模型表达式通过拟合算法求出； 利用最小二乘法，根据离子束流的初始值的平均值求解超定方程，计算出每个磁极的最佳磁棒间距值； 机台读取计算结果，输出束流值，验证调试效果。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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