江苏众晶半导体有限公司马正方获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏众晶半导体有限公司申请的专利一种晶圆加工扩片过程静电消除装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224218562U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-08发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521087619.0，技术领域涉及：H05F3/04；该实用新型一种晶圆加工扩片过程静电消除装置是由马正方;余阳设计研发完成，并于2025-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加工扩片过程静电消除装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆扩片技术领域，公开了一种晶圆加工扩片过程静电消除装置，包括一卷扩晶蓝膜，扩晶蓝膜一侧设置有用于对扩晶蓝膜两侧夹持定位的夹持组件，扩晶蓝膜一侧靠上处设置有用于对扩晶蓝膜表面静电消除的静电消除组件，夹持组件一侧设置有用于辅助静电消除组件移动的导向组件，导向组件外侧设置有用于带动静电消除组件移动的位移机构，夹持组件一侧设置有用于对导向组件、静电消除组件和夹持组件支撑的支撑组件，本装置通过支撑组件、导向组件、位移机构、静电消除组件和夹持组件之间的协作，实现了扩晶蓝膜表面的全方位静电去除，支撑组件为整个装置提供了稳定的支撑，使其他组件能够在精确的位置上高效工作。
本实用新型一种晶圆加工扩片过程静电消除装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加工扩片过程静电消除装置，其特征在于：包括一卷扩晶蓝膜6，所述扩晶蓝膜6一侧设置有用于对扩晶蓝膜6两侧夹持定位的夹持组件5，所述扩晶蓝膜6一侧靠上处设置有用于对扩晶蓝膜6表面静电消除的静电消除组件4，所述夹持组件5一侧设置有用于辅助静电消除组件4移动的导向组件2，所述导向组件2外侧设置有用于带动静电消除组件4移动的位移机构3，所述夹持组件5一侧设置有用于对导向组件2、静电消除组件4和夹持组件5支撑的支撑组件1。
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