中国电子科技集团公司第四十四研究所唐代飞获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十四研究所申请的专利一种用于离子注入机的低压气体供应装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224204097U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520973787.3，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种用于离子注入机的低压气体供应装置是由唐代飞;赖忠良;田勇;李青蔚;张艺设计研发完成，并于2025-05-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于离子注入机的低压气体供应装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种用于离子注入机的低压气体供应装置，包括气体输送系统和控制系统。气体输送系统包括PH3管路、BF3管路和氩气管路，所述管路汇流后通过汇流安全阀连接真空管路，并与离子源腔室连接。PH3管路和BF3管路分别设有SDS低压源气瓶作为气源，通过14VCR接口连接，配备压力计、压力传感器、手动阀、气控阀和质量流量控制器，精确控制气体流量。氩气管路包括工艺管路和吹扫管路，吹扫管路接入PH3和BF3管路，通过气控阀控制，用于更换气瓶前吹扫有毒气体。本实用新型通过采用低压气源和质量流量控制器，降低高压毒气泄漏风险，提高流量控制精度至1％，并通过吹扫管路提升维护安全性，适用于多种离子注入设备。
本实用新型一种用于离子注入机的低压气体供应装置在权利要求书中公布了：1.一种用于离子注入机的低压气体供应装置，其特征在于：包括气体输送系统和控制系统，所述气体输送系统包括PH3管路、BF3管路、氩气管路； 所述PH3管路、BF3管路、氩气管路汇流后通过汇流安全阀连接至真空管路，并通过真空管路与离子源腔室连接； 所述PH3管路与BF3管路中分别设有SDS低压源气瓶和质量流量控制器，通过SDS低压源气瓶分别作为工艺用气体PH3和BF3的气源，并通过质量流量控制器控制气体流量； 所述氩气管路包括氩气工艺管路和吹扫管路，所述氩气工艺管路连接所述真空管路，将氩气作为工艺用气体输送；所述吹扫管路分别接入PH3管路和BF3管路，用于在更换气瓶前进行有毒气体吹扫。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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