北京芯源科技有限公司闫占忠获国家专利权
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龙图腾网获悉北京芯源科技有限公司申请的专利一种用于离子注入机台的晶圆进出位置检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224204095U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520902363.8，技术领域涉及：H01J37/26；该实用新型一种用于离子注入机台的晶圆进出位置检测装置是由闫占忠;孙福奇;桑京义设计研发完成，并于2025-05-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于离子注入机台的晶圆进出位置检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了半导体制造设备技术领域的一种用于离子注入机台的晶圆进出位置检测装置，包括固定于升降平台上方的传感器支架，所述传感器支架的表面开设有中心槽，且中心槽的周侧分布有多个检测槽，所述传感器支架通过安装架固定有多个与检测槽相匹配的位移传感器，且每个位移传感器均位于检测槽上方设置，所述安装架包括L型主安装架以及安装L型主安装架一侧的L型辅助安装架，所述位移传感器通过传感器安装支架安装于L型辅助安装架表面，所述位移传感器电性连接有PLC控制柜，且PLC控制柜电性连接机台和触摸屏。本实用新型能够实时监测晶圆在传输过程中的微小偏移并触发报警，避免晶圆与机械手或密封门碰撞，保障生产安全和设备稳定性。
本实用新型一种用于离子注入机台的晶圆进出位置检测装置在权利要求书中公布了：1.一种用于离子注入机台的晶圆进出位置检测装置，其特征是，包括固定于升降平台8上方的传感器支架1，所述传感器支架1的表面开设有中心槽5，且中心槽5的周侧分布有多个检测槽4，所述传感器支架1通过安装架2固定有多个与检测槽4相匹配的位移传感器3，且每个位移传感器3均位于检测槽4上方设置，所述安装架2包括L型主安装架201以及安装L型主安装架201一侧的L型辅助安装架202，所述位移传感器3通过传感器安装支架204安装于L型辅助安装架202表面，所述位移传感器3电性连接有PLC控制柜，且PLC控制柜电性连接机台和触摸屏，所述传感器支架1的底面安装有视窗7，所述升降平台8顶面外延为一圈梯形的台阶9。
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