广东奥普特科技股份有限公司周杰获国家专利权
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龙图腾网获悉广东奥普特科技股份有限公司申请的专利一种套刻对位装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224203573U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520281872.3,技术领域涉及:G03F9/00;该实用新型一种套刻对位装置是由周杰设计研发完成,并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种套刻对位装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及光刻技术领域,公开了一种套刻对位装置,用于定位标准工件和需套刻的待加工工件;包括:成像装置;棱镜组件,用于将标准工件的顶面图像传递至所述成像装置,并将待加工工件的底面图像传递至所述成像装置;定位调整装置,用于承托固定标准工件并能沿水平面调整所述待加工工件的位置,且所述标准工件位于所述待加工工件的顶部一侧;所述成像装置与所述定位调整装置电连接。本实用新型的套刻对位装置,能有利于降低装置成本。
本实用新型一种套刻对位装置在权利要求书中公布了:1.一种套刻对位装置,其特征在于,用于定位标准工件100和需套刻的待加工工件200;包括, 成像装置1; 棱镜组件2,用于将标准工件的顶面图像传递至所述成像装置1,并将待加工工件200的底面图像传递至所述成像装置1; 定位调整装置3,用于承托固定标准工件并能沿水平面调整所述待加工工件200的位置,且所述标准工件位于所述待加工工件200的顶部一侧;所述成像装置1与所述定位调整装置3电连接。
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