北京瑞邦精控科技有限公司肖国丰获国家专利权
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龙图腾网获悉北京瑞邦精控科技有限公司申请的专利光刻机的移入移出装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224203568U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520892579.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型光刻机的移入移出装置是由肖国丰;陈志强;刘中伟设计研发完成，并于2025-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻机的移入移出装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于光刻机的移入移出装置，包括：基座；气垫组件包括：气垫套，其底面上设有圆形凹槽，气垫套固设在基座底面上；气垫芯，其设置在气垫套的圆形凹槽内，在气垫芯底面上设有多个气嘴口，在气垫芯的内部设有气路通道，多个气嘴口均与气路通道相连通；在气垫套与气垫芯之间的封闭空间中充以高压气体，调节高压气体的气压大小可用来调节气垫芯向下伸出气垫套的长度，在气路通道内充以高压气体并从气嘴口喷出，产生的反向冲击力使基座以及基座上面的工件台悬浮起来；定向脚轮，其设在基座的底部。该装置能够方便快捷、稳定地对光刻机的重型工件台进行移入和移出，且能保证反复移入和移出时位置的准确性，方便对光刻机的部件更换。
本实用新型光刻机的移入移出装置在权利要求书中公布了：1.用于光刻机的移入移出装置，其特征在于，包括： 基座，其水平设置，所述基座上表面用以放置光刻机的工件台； 至少一气垫组件，所述气垫组件包括： 气垫套，其底面上设置有圆形凹槽，所述气垫套固定设置在所述基座的底面上； 气垫芯，其设置在所述气垫套的圆形凹槽内，在所述气垫芯的底面上设置有多个气嘴口，在所述气垫芯的内部设置有气路通道，多个所述气嘴口均与所述气路通道相连通；其中，在所述气垫套与所述气垫芯之间的封闭空间中充以高压气体，通过调节高压气体的气压大小可用来调节所述气垫芯向下伸出所述气垫套的长度，在所述气路通道内充以高压气体并从所述气嘴口喷出，喷出的高压气体产生的反向冲击力使所述基座以及所述基座上面的工件台悬浮起来； 定向脚轮，其设置在所述基座的底部，通过所述定向脚轮对悬浮的所述基座和所述工件台进行定向移动。
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