长川科技(苏州)有限公司陈思乡获国家专利权
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龙图腾网获悉长川科技(苏州)有限公司申请的专利椭偏仪获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224203023U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520659131.4，技术领域涉及：G01N21/21；该实用新型椭偏仪是由陈思乡;杜振东;孟恒;吴灿;李旭;于殿强设计研发完成，并于2025-04-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本椭偏仪在说明书摘要公布了：本申请涉及一种椭偏仪包括载物台、起偏臂和检偏臂、旋转驱动组件及位移驱动组件。旋转驱动组件连接并驱动起偏臂和检偏臂分别绕平行第一方向的不同中心轴向旋转，第一方向垂直于椭偏仪的入射平面。位移驱动组件连接并驱动起偏臂和检偏臂在入射平面内移动。旋转驱动组件和位移驱动组件能够驱动起偏臂和检偏臂在靠近载物台的第一位置和远离载物台的第二位置之间切换。当起偏臂和检偏臂位于第一位置，起偏臂和检偏臂处于朝向载物台设置的检测状态。当起偏臂和检偏臂位于第二位置，起偏臂和检偏臂可旋转至调试状态。在本申请中，通过位移驱动组件驱动起偏臂和检偏臂在入射平面内移动，当需要调试椭偏仪时，旋转至调试状态过程中，起偏臂和检偏臂的旋转运动不会受到载物台的干涉，提高了椭偏仪的可靠性。
本实用新型椭偏仪在权利要求书中公布了：1.一种椭偏仪，其特征在于，包括： 载物台10； 起偏臂20和检偏臂30； 旋转驱动组件40，连接并驱动所述起偏臂20和所述检偏臂30分别绕平行第一方向X的不同中心轴线旋转，所述第一方向X垂直于所述椭偏仪的入射平面；及 位移驱动组件50，连接并驱动所述起偏臂20和所述检偏臂30在所述入射平面内移动； 所述旋转驱动组件40和所述位移驱动组件50能够驱动所述起偏臂20和所述检偏臂30在靠近所述载物台10的第一位置和远离所述载物台10的第二位置之间切换； 当所述起偏臂20和所述检偏臂30位于所述第一位置，所述起偏臂20和所述检偏臂30处于朝向所述载物台10设置的检测状态T1；当所述起偏臂20和所述检偏臂30位于所述第二位置，所述起偏臂20和所述检偏臂30处于调试状态T2。
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