大连连城数控机器股份有限公司李博获国家专利权
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龙图腾网获悉大连连城数控机器股份有限公司申请的专利硅片镀膜工艺炉供气管路装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224199468U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520832566.4，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型硅片镀膜工艺炉供气管路装置是由李博;李岩;杨永远;李阳;段世飞;孔亦人设计研发完成，并于2025-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本硅片镀膜工艺炉供气管路装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及气体供给管道的技术领域，尤其涉及一种硅片镀膜工艺炉供气管路装置，包括内管、外管和封闭件，外管套设于内管外，且二者两端分别连接有封闭件，以在外管、内管和两端的封闭件之间形成密封腔；两个封闭件的连接孔的一端均与内管的端部保持连通，以使内管与连接孔的连接节点位于密封腔内，两个封闭件的连接孔的另一端分别适于连通供气装置和硅片镀膜工艺炉，其有益效果是通过嵌套的内管和外管，配合封闭件形成了封闭的密封腔，而内管的连接节点是位于密封腔内的，因此，能够在用于输送工艺气体的内管外形成了一道密封屏障，进而大大提高了该供气管路装置的密封效果，提高了应用该供气管路装置的工艺炉的使用安全性和可靠性。
本实用新型硅片镀膜工艺炉供气管路装置在权利要求书中公布了：1.一种硅片镀膜工艺炉供气管路装置，适于连接供气装置向所述硅片镀膜工艺炉供给工艺气体，其特征在于： 包括内管1、外管2和封闭件3，所述外管2套设于所述内管1外，且二者两端分别连接有所述封闭件3，以在所述外管2、所述内管1和两端的所述封闭件3之间形成密封腔100； 两个所述封闭件3分别连通供气装置和硅片镀膜工艺炉； 所述封闭件3上开设有连接孔D，两个所述封闭件3的所述连接孔D的一端均与所述内管1的端部保持连通，以使所述内管1与所述连接孔D的连接节点位于所述密封腔100内，两个所述封闭件3的所述连接孔D的另一端分别适于连通供气装置和所述硅片镀膜工艺炉。
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