深圳市矩阵多元科技有限公司龚文志获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利一种多层真空面板传片装置及镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224199451U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520672477.8，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种多层真空面板传片装置及镀膜设备是由龚文志;邵寿潜;李永杰;张亮;夏慧;黄承语设计研发完成，并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多层真空面板传片装置及镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种多层真空面板传片装置及镀膜设备，属于真空溅镀设备技术领域，多层真空面板传片装置包括储片机构、第一传片机械手、第二传片机械手、升降取放片机构，所述升降取放片机构的升降路径与所述第一传片机械手、所述第二传片机械手及所述储片台沿所述第一方向的移动路径相交，并能够在所述第一传片机械手、所述储片台、所述第二传片机械手中的任意两者之间转移晶片。本实用新型可以一次性存储多个晶片进行加工，无需每加工完一块晶片就进行破真空更换晶片，能够避免频繁开闭进行传片，解决了容易造成污染以及生产效率受影响的问题。
本实用新型一种多层真空面板传片装置及镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种多层真空面板传片装置，其特征在于，包括： 储片机构，所述储片机构沿竖直方向设置有多个储片台，所述储片台能够沿第一方向移动调节地设置于进片室； 第一传片机械手，所述第一传片机械手位于所述进片室的外侧，所述第一传片机械手能够沿所述第一方向移动调节； 第二传片机械手，所述第二传片机械手设置于所述进片室，所述第二传片机械手能够沿所述第一方向移动进出与所述进片室相接的工艺室； 升降取放片机构，所述升降取放片机构可升降调节地设置于所述进片室； 其中，所述升降取放片机构的升降路径与所述第一传片机械手、所述第二传片机械手及所述储片台沿所述第一方向的移动路径相交，并能够在所述第一传片机械手、所述储片台、所述第二传片机械手中的任意两者之间转移晶片。
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