北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司王子豪获国家专利权
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龙图腾网获悉北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司申请的专利混液阀及半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224195510U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520988209.7，技术领域涉及：B08B9/032；该实用新型混液阀及半导体设备是由王子豪设计研发完成，并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本混液阀及半导体设备在说明书摘要公布了：一种混液阀及半导体设备，混液阀包括：混液管道，混液管道具有工艺口和清洗口，清洗口包括清洗液体输入口和多个排放口，沿混液管道长度方向排放口分布于清洗液体输入口两侧；混液管道沿长度方向包括第一边缘末端和第二边缘末端；排放口包括：第一排放口，位于第一边缘末端；第二排放口，位于第二边缘末端；多个工艺管道，通过工艺口与混液管道连通，用于提供或排出工艺液体；清洗液体供应管道，通过清洗液体输入口与混液管道连通；多个排放管道，通过排放口与混液管道连通，用于排放工艺液体和清洗液体。通过清洗液体供应管道和排放管道，减少清洗死角，抑制混液阀溶液残留问题，提高清洗效果，抑制混液阀内微粒过多的问题。
本实用新型混液阀及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种混液阀，其特征在于，包括： 混液管道，所述混液管道具有工艺口和清洗口，所述清洗口包括清洗液体输入口和多个排放口，所述工艺口、清洗液体输入口和排放口沿所述混液管道的长度方向间隔排布，且沿所述混液管道的长度方向，所述排放口分布于所述清洗液体输入口的两侧；所述混液管道沿长度方向包括第一边缘末端和第二边缘末端；所述排放口包括：第一排放口，位于所述第一边缘末端；第二排放口，位于所述第二边缘末端； 多个工艺管道，通过所述工艺口与所述混液管道连通，所述工艺管道用于向所述混液管道提供工艺液体或者排出所述混液管道内的工艺液体； 清洗液体供应管道，通过所述清洗液体输入口与所述混液管道相连通，所述清洗液体供应管道用于向所述混液管道提供清洗液体； 多个排放管道，通过所述排放口与所述混液管道相连通，所述排放管道用于排放所述混液管道内的工艺液体和清洗液体。
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