欣福半导体科技(合肥)有限公司陈娟获国家专利权
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龙图腾网获悉欣福半导体科技(合肥)有限公司申请的专利一种半导体载具清洗用高压喷淋装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224195409U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520868629.1，技术领域涉及：B08B3/02；该实用新型一种半导体载具清洗用高压喷淋装置是由陈娟;吴慕妍;夏雨婷;张娜;张家辉;关冉冉设计研发完成，并于2025-05-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体载具清洗用高压喷淋装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种半导体载具清洗用高压喷淋装置，包括：底板，所述底板上表面固定连接围挡，围挡内腔的两端对称连接固定柱，固定柱外侧面通过密封轴承活动连接套筒，而固定柱内开设移动槽，移动槽内通过轴承活动连接主丝杆，且移动板一端通过螺接的主丝杆滑动连接在移动槽内，移动板的另一端固定连接基板，而套筒的下表面固定连接固定板，固定板的上端固定连接注液管，固定板的下端固定连接喷淋板。本实用新型通过主电机、齿圈、套筒、固定板、喷淋板和注液管的配合，使得该装置能够围绕晶圆盒转动进行全面的高压喷淋清洗，既能够辅助增强晶圆盒的清洗效果，又能够提高该装置整体的清洗效率。
本实用新型一种半导体载具清洗用高压喷淋装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体载具清洗用高压喷淋装置，包括：底板1，其特征在于：所述底板1上表面固定连接围挡2，围挡2内腔的两端对称连接固定柱6，固定柱6外侧面通过密封轴承活动连接套筒9，而固定柱6内开设移动槽，移动槽内通过轴承活动连接主丝杆7，且移动板8一端通过螺接的主丝杆7滑动连接在移动槽内，移动板8的另一端固定连接基板10，而套筒9的下表面固定连接固定板4，固定板4的上端固定连接注液管5，固定板4的下端固定连接喷淋板3，同时喷淋板3的内腔和固定板4的内腔连通，而围挡2外侧面固定连接主电机13，主电机13输出轴固定连接的主动轮啮合套筒9外侧面固定连接的齿圈14，并且基板10内通过密封轴承活动连接副丝杆12，副丝杆12的两端对称螺接夹持块11。
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