深圳盛方科技有限公司符胄昭获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳盛方科技有限公司申请的专利一种用于大功率准分子激光器工作气体的除尘装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224194949U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520939094.2，技术领域涉及：B03C3/04；该实用新型一种用于大功率准分子激光器工作气体的除尘装置是由符胄昭;杨礼昭设计研发完成，并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于大功率准分子激光器工作气体的除尘装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于大功率准分子激光器工作气体的除尘装置，包括密闭的除尘器外壳，除尘器外壳一端设有与准分子激光器的谐振腔连通以使谐振腔内的工作气体进入除尘器外壳的进气管，除尘器外壳内部设有能够进行高压负向脉冲放电的放电集尘电极，除尘器外壳另一端设有能将经过放电集尘电极放电净化后的气体送入准分子激光器的谐振腔的送气管，用于大功率准分子激光器工作气体的除尘装置还包括为放电集尘电极供电的高压脉冲电源以及用于从进气管抽气并从送气管送气的气体循环部件。本实用新型对准分子激光器的谐振器内的工作气体进行净化，去除污染物的效果好，能够延长准分子激光器的使用寿命以及保证激光性能。
本实用新型一种用于大功率准分子激光器工作气体的除尘装置在权利要求书中公布了：1.一种用于大功率准分子激光器工作气体的除尘装置，其特征在于：包括密闭的除尘器外壳1，所述的除尘器外壳1一端设有与准分子激光器2的谐振腔3连通以使谐振腔3内的工作气体进入除尘器外壳1的进气管4，所述的除尘器外壳1内部设有能够进行高压负向脉冲放电的放电集尘电极5，所述的除尘器外壳1另一端设有能将经过放电集尘电极5放电净化后的气体送入准分子激光器2的谐振腔3的送气管6，所述的用于大功率准分子激光器工作气体的除尘装置还包括为放电集尘电极5供电的高压脉冲电源7以及用于从进气管4抽气并从送气管6送气的气体循环部件。
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