上海凡森璞瑞新材料股份有限公司邱凡获国家专利权
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龙图腾网获悉上海凡森璞瑞新材料股份有限公司申请的专利六氯乙硅烷预处理装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224194304U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520925734.4,技术领域涉及:B01D36/00;该实用新型六氯乙硅烷预处理装置是由邱凡;张辉;孔云龙设计研发完成,并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本六氯乙硅烷预处理装置在说明书摘要公布了:本申请公开了六氯乙硅烷预处理装置,涉及半导体技术领域,通过过滤装置、收料箱、推料机构、压缩箱、电动封门、压缩机构和电动闸门等部件的配合,过滤装置对六氯乙硅烷进行预处理,物理杂质通过废料出口落入下方的收料箱中。推料机构将收料箱内的废料推送到收料箱远离废料出口的一侧。当需要对废料进行压缩时,电动封门打开,使收料箱与压缩箱内部连通,废料进入压缩箱。压缩机构对进入压缩箱内的废料进行压缩,压缩完成后,电动闸门打开,将压缩后的废料排出。实现对六氯乙硅烷预处理过程中产生的物理杂质的收集、压缩及封装,便于集中处理,有效避免了环境污染。
本实用新型六氯乙硅烷预处理装置在权利要求书中公布了:1.六氯乙硅烷预处理装置,其特征在于,包括: 过滤装置,底部设有废料出口; 收料箱,设置在所述废料出口下方; 推料机构,设置在所述收料箱靠所述废料出口的一侧; 压缩箱,设置在所述收料箱远离所述废料出口的一侧底部,所述压缩箱具有开口并且与所述收料箱内部连通; 电动封门,设置在所述收料箱底部,用于打开和关闭所述压缩箱; 压缩机构,设置在所述压缩箱内,用于对由所述收料箱进入所述压缩箱内的废料进行压缩; 电动闸门,设置在所述压缩箱底部,用于打开和关闭所述压缩箱的底部。
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