季华实验室赵海英获国家专利权
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龙图腾网获悉季华实验室申请的专利离子源束流自适应方法、装置、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN121748249B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202610218198.3,技术领域涉及:H01J37/304;该发明授权离子源束流自适应方法、装置、设备及存储介质是由赵海英;仇礼钦设计研发完成,并于2026-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本离子源束流自适应方法、装置、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及离子源束流技术领域,尤其涉及一种离子源束流自适应方法、装置、设备及存储介质,所述方法首先构建初始状态空间模型,然后获取当前周期输入向量、与当前周期输入向量对应的当前周期束流测量值、当前周期状态向量和候选输入序列集,基于当前周期输入向量和当前周期束流测量值更新初始状态空间模型的物理参数向量,得到更新状态空间模型,接着基于更新状态空间模型,根据当前周期状态向量和候选输入序列集从候选输入序列集中确定目标控制序列,最后基于目标控制序列确定目标控制指令,将目标控制指令输出至离子源的执行电源中,旨在抑制束流漂移,提升束流输出长期动态稳定性,适配工业现场算力需求。
本发明授权离子源束流自适应方法、装置、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种离子源束流自适应方法,其特征在于,包括: 定义初始状态空间模型的状态向量、输入向量和物理参数向量,其中,所述状态向量定义为等离子体电子密度与电子温度构成的二维向量,所述输入向量由灯丝电流、弧压、偏置电压构成,所述物理参数向量包括电离速率系数、扩散系数和能量损失系数;基于等离子体粒子数守恒定律、能量守恒定律、所述状态向量、所述输入向量和所述物理参数向量构建状态方程;基于空间电荷限制流定律、所述状态向量、所述输入向量和所述物理参数向量构建输出方程;整合所述状态方程和所述输出方程,以构建初始状态空间模型; 获取当前周期输入向量、与所述当前周期输入向量对应的当前周期束流测量值、当前周期状态向量和候选输入序列集; 基于所述当前周期输入向量和所述当前周期束流测量值构建当前周期回归向量;获取上一周期协方差矩阵和预设的遗忘因子,采用自适应估计算法,基于所述当前周期回归向量、所述上一周期协方差矩阵和所述遗忘因子计算当前周期增益矩阵,并基于所述当前周期增益矩阵和所述当前周期束流测量值更新所述初始状态空间模型的物理参数向量,得到更新状态空间模型; 基于所述更新状态空间模型,根据所述当前周期状态向量和所述候选输入序列集进行束流预测,得到预设未来周期内的束流预测值集合;基于所述束流预测值集合求解优化函数,以从所述候选输入序列集中确定目标控制序列; 基于所述目标控制序列确定目标控制指令,将所述目标控制指令输出至离子源的执行电源中。
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