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龙图腾网获悉苏州赛腾精密电子股份有限公司申请的专利表面检测设备及检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121693113B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-05发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202610170019.3，技术领域涉及：H10P74/20；该发明授权表面检测设备及检测系统是由孙丰;赵建华;蒋立设计研发完成，并于2026-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本表面检测设备及检测系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种表面检测设备及检测系统，包括：夹持装置，包括夹持机构和驱动夹持机构升降的Z轴模组，夹持机构包括多个沿晶圆的周向等间隔分布的夹持单元；第一检测装置，位于夹持装置下方，其包括视觉机构和能够驱动视觉机构沿X轴方向移经夹持装置的第一X轴模组；夹持单元包括至少一个夹持组件，夹持组件包括夹持件、弹性件和驱动气缸，夹持件能够沿晶圆的径向靠近或远离晶圆的周缘，驱动气缸的活塞杆伸出时，能够驱动夹持件远离晶圆，并使弹性件拉伸；当驱动气缸撤销对夹持件的驱动作用时，弹性件回弹，进而驱使夹持件夹紧晶圆，夹持件被构造为与晶圆的周缘形成线接触。本发明采用上述结构，能够有效减小晶圆检测过程中的二次损伤。

本发明授权表面检测设备及检测系统在权利要求书中公布了：1.一种表面检测设备，其特征在于，包括： 夹持装置100，包括用于夹持晶圆500的夹持机构110和驱动所述夹持机构110沿Z轴方向升降的Z轴模组120，所述夹持机构110包括多个沿所述晶圆500的周向等间隔分布的夹持单元130； 第一检测装置200，位于所述夹持装置100下方，其包括视觉机构210和能够驱动所述视觉机构210沿X轴方向移经所述夹持装置100的第一X轴模组220； 其中，所述夹持单元130包括至少一个夹持组件140，所述夹持组件140包括夹持件150、弹性件160和驱动气缸170，所述夹持件150能够沿所述晶圆500的径向靠近或远离所述晶圆500的周缘，所述驱动气缸170的活塞杆伸出时，能够驱动所述夹持件150远离所述晶圆500，并使所述弹性件160拉伸；当所述驱动气缸170撤销对所述夹持件150的驱动作用时，所述弹性件160回弹，进而驱使所述夹持件150夹紧所述晶圆500，所述夹持件150被构造为与所述晶圆500的周缘形成线接触。

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