江苏微导纳米科技股份有限公司严大获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏微导纳米科技股份有限公司申请的专利一种基片搬运机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224192401U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520593004.9，技术领域涉及：H10P72/30；该实用新型一种基片搬运机构是由严大;汤宋波;李登辉设计研发完成，并于2025-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基片搬运机构在说明书摘要公布了：本申请属于半导体制造工艺技术领域，提供基片搬运机构，包括：第一搬运组件，包括导向部、驱动机构和第一移动部，第一移动部与导向部滑动配合，驱动机构通过同步带驱动第一移动部沿X方向移动；第二搬运组件，连接于第一移动部，第二搬运组件包括第二移动部，第二移动部能够沿Z方向升降移动；桨本体，连接于第二移动部，桨本体用于搭载载片舟，载片舟可随桨本体沿X方向进出基片加工设备，X方向和Z方向相互垂直。本申请中，第一搬运组件包括导向部、驱动机构和第一移动部，第一移动部与导向部的滑动配合保证载片舟在X方向的移动精度，驱动机构通过同步带驱动第一移动部沿X方向移动，无需使用润滑脂，且磨损更小，降低维护成本，节约场地。
本实用新型一种基片搬运机构在权利要求书中公布了：1.一种基片搬运机构，其特征在于，包括： 第一搬运组件1，所述第一搬运组件1包括导向部11、驱动机构12和第一移动部13，所述第一移动部13与所述导向部11滑动配合，所述驱动机构12通过同步带驱动所述第一移动部13沿X方向移动； 第二搬运组件2，所述第二搬运组件2连接于所述第一移动部13，所述第二搬运组件2包括第二移动部21，所述第二移动部21能够沿Z方向升降移动； 桨本体3，所述桨本体3连接于所述第二移动部21，所述桨本体3用于搭载载片舟01，所述载片舟01可随所述桨本体3沿X方向进出基片加工设备。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人江苏微导纳米科技股份有限公司，其通讯地址为：214111 江苏省无锡市新吴区长江南路27号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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