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上海大族富创得科技股份有限公司汤专获国家专利权

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龙图腾网获悉上海大族富创得科技股份有限公司申请的专利立式炉前端存储单元获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224192394U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-05-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202521110186.6,技术领域涉及:H10P72/00;该实用新型立式炉前端存储单元是由汤专;倪萌;余观水;王乐设计研发完成,并于2025-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

立式炉前端存储单元在说明书摘要公布了:本申请提供了立式炉前端存储单元,属于半导体技术领域。针对立式炉前端存储单元难以进入内部,人工维修效率较低且容易导致晶圆盒转移风险的问题,本申请提供了立式炉前端存储单元,包括机壳,所述机壳的前端设置有与内部连通的前端口,所述前端口设置有用于承载晶圆盒的承载板;所述机壳靠近前端口的两侧设置有支撑块,所述承载板的两侧搭接于对应所述支撑块上;所述承载板的下方连接有连接架,所述连接架的两侧均与所述机壳活动连接,且所述连接架可带动所述承载板进出所述前端口。本申请通过将常规固定在机壳前端口的承载板改为活动连接,提高了人工维修效率,降低了晶圆盒转移风险。

本实用新型立式炉前端存储单元在权利要求书中公布了:1.一种立式炉前端存储单元,包括机壳,所述机壳的前端设置有与内部连通的前端口,所述前端口设置有用于承载晶圆盒的承载板;其特征在于, 所述机壳靠近前端口的两侧设置有支撑块,所述承载板的两侧搭接于对应所述支撑块上; 所述承载板的下方连接有连接架,所述连接架的两侧均与所述机壳活动连接,且所述连接架可带动所述承载板进出所述前端口。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海大族富创得科技股份有限公司,其通讯地址为:201112 上海市闵行区万芳路555号1幢1层102室、2层202室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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