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成都海光微电子技术有限公司林健获国家专利权

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龙图腾网获悉成都海光微电子技术有限公司申请的专利一种用于芯片失效分析的标识图的确定方法、装置及电子设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115932547B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-28发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211608779.6,技术领域涉及:G01R31/28;该发明授权一种用于芯片失效分析的标识图的确定方法、装置及电子设备是由林健设计研发完成,并于2022-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

一种用于芯片失效分析的标识图的确定方法、装置及电子设备在说明书摘要公布了:本申请的实施例公开了一种用于芯片失效分析的标识图的确定方法、装置及电子设备,涉及芯片失效分析技术领域,为便于在物理失效分析时确定失效位置而发明。所述方法,包括:若当前金属层是指定金属层上方的金属层,则确定第一可疑失效位置在当前金属层中所对应的第一映射位置;对所述第一映射位置周围区域进行放大,得到放大后的金属层;对指定窗口区域内的图像进行采集,得到窗口区域图像;所述指定窗口区域为所述放大后的金属层中的一局部区域,所述第一映射位置位于该指定窗口区域内;对所述窗口区域图像进行图像识别,识别出目标图形;对所述目标图形进行标识,得到标识图。本申请适用于对芯片的失效分析。

本发明授权一种用于芯片失效分析的标识图的确定方法、装置及电子设备在权利要求书中公布了:1.一种用于芯片失效分析的标识图的确定方法,其特征在于,包括: 判断当前金属层,是否是指定金属层上方的金属层; 若当前金属层是所述指定金属层上方的金属层,则确定第一可疑失效位置在所述当前金属层中所对应的第一映射位置;所述第一可疑失效位置预先通过电学失效分析获得; 对所述第一映射位置周围区域进行放大,得到放大后的金属层; 对指定窗口区域内的图像进行采集,得到窗口区域图像;所述指定窗口区域为所述放大后的金属层中的一局部区域,所述第一映射位置位于该指定窗口区域内; 对所述窗口区域图像进行图像识别,识别出目标图形; 对所述目标图形进行标识,得到标识图; 其中,所述对所述窗口区域图像进行图像识别,识别出目标图形,包括: 提取所述窗口区域内的图像中的初始轮廓线; 从所述初始轮廓线中提取第一方向和或第二方向上的特征轮廓线,作为目标图形;其中,所述第一方向与所述第二方向相互垂直;或者, 从所述初始轮廓线中提取第一方向和第二方向之外的方向上的特征轮廓线,作为目标图形;其中,所述第一方向与所述第二方向相互垂直;或者, 从所述初始轮廓线中提取各个方向上的特征轮廓线,作为目标图形; 所述从所述初始轮廓线中提取第一方向上的特征轮廓线,作为目标图形,包括: 在所述当前金属层中,从所述第一映射位置沿第一方向建立第一参考线; 确定所述当前金属层中,与所述第一参考线相交的各金属线; 将与所述第一参考线相交的各金属线中,线宽超过第一线宽阈值,或小于第二线宽阈值的金属线,作为目标图形;所述第一线宽阈值大于所述第二线宽阈值; 所述从所述初始轮廓线中提取第二方向上的特征轮廓线,作为目标图形,包括: 在所述当前金属层中,从所述第一映射位置沿第二方向建立第二参考线; 确定所述当前金属层中,与所述第二参考线相交的各金属线; 将与所述第二参考线相交的各金属线中,线宽超过第三线宽阈值,或小于第四线宽阈值的金属线,作为目标图形;所述第三线宽阈值大于所述第四线宽阈值。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人成都海光微电子技术有限公司,其通讯地址为:610041 四川省成都市高新区和乐二街171号4栋;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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