鑫巨(深圳)半导体科技有限公司黄新国获国家专利权
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龙图腾网获悉鑫巨(深圳)半导体科技有限公司申请的专利一种输送平台及半导体生产系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN224165094U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520919924.5,技术领域涉及:H10P72/30;该实用新型一种输送平台及半导体生产系统是由黄新国设计研发完成,并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种输送平台及半导体生产系统在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种输送平台及半导体生产系统,该输送平台包括输送轨道、第一磁体阵列和第二磁体阵列;输送轨道包括直线电机、运动组件和导向组件;运动组件活动设置在导向组件上;直线电机能够驱动运动组件沿导向组件往复运动;第一磁体阵列设置在运动组件下方;第二磁体阵列设置在输送轨道上且与第一磁体阵列之间间隔设置;第二磁体阵列沿运动组件的运动方向延伸;第一磁体阵列和第二磁体阵列之间产生互斥力,能够抵消运动组件在竖直方向的部分受力,减轻运动组件和导向组件之间的摩擦,进而使得运动组件和导向组件之间产生较少的粉尘颗粒,能够防止粉尘颗粒污染生产器件或者生产设备,能够提升生产环境的洁净度。
本实用新型一种输送平台及半导体生产系统在权利要求书中公布了:1.一种输送平台,其特征在于,包括输送轨道、第一磁体阵列和第二磁体阵列; 所述输送轨道包括直线电机、运动组件和导向组件;所述运动组件活动设置在所述导向组件上;所述直线电机能够驱动所述运动组件沿所述导向组件往复运动; 所述第一磁体阵列设置在所述运动组件下方; 所述第二磁体阵列设置在所述输送轨道上且与所述第一磁体阵列之间间隔设置;所述第二磁体阵列沿所述运动组件的运动方向延伸; 所述第一磁体阵列和所述第二磁体阵列之间产生互斥力,能够抵消运动组件在竖直方向的部分受力,减轻所述运动组件和所述导向组件之间的摩擦。
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