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龙图腾网获悉无锡芯历电子科技有限公司申请的专利一种可升降烘焙圆晶板LHP热板获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN224165080U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-04-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521129602.7，技术领域涉及：H10P72/00；该实用新型一种可升降烘焙圆晶板LHP热板是由许能;李长江设计研发完成，并于2025-06-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种可升降烘焙圆晶板LHP热板在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造相关技术领域，尤其涉及一种可升降烘焙圆晶板LHP热板，包括箱体，所述箱体的内侧表面设置有升降机构。该一种可升降烘焙圆晶板LHP热板，通过升降机构的设置，通过第一控制板和第二控制板来控制气体的进出，第一下缓冲活塞推动第一推杆向上移动，当第一推杆移动一定距离后会推动第二推杆向上移动一段距离，第一缸体和第二缸体协同工作，推动升降板和顶针上升，当需要下降时，控制气体排出，升降板和顶针也随之降下，两段式升降，增加一个接近LHP热板表面的位置中间，进行低温辐射烘烤，一定时间后再到下降的位置进行烘烤，可以极大的减少晶圆破裂的发生，并且表面膜厚均匀性有了很大的提高。

本实用新型一种可升降烘焙圆晶板LHP热板在权利要求书中公布了：1.一种可升降烘焙圆晶板LHP热板，包括箱体1，其特征在于：所述箱体1的内侧表面设置有升降机构2，所述升降机构2的上方表面设置有升降板3，所述升降板3的上方表面固定连接有顶针4，所述顶针4的外侧表面滑动连接有LHP热板5，所述LHP热板5的表面开设有固定孔6，所述LHP热板5的下方表面固定连接有支撑块7，所述箱体1的表面固定连接有警报传感器8； 所述升降机构2包括第一缸体201、稳定块202、第一进气口203、第一出气口204、第一管道205、第一控制板206、第二管道207、第一内腔208、固定密封圈209、第一下缓冲活塞210、第一推杆211、第一密封环212、第一导向环213、第一上缓冲活塞214、第二缸体215、第二进气口216、第二出气口217、第三管道218、第二控制板219、第四管道220、第二内腔221、第二密封环222、第二导向环223、第二上缓冲活塞224、第二下缓冲活塞225和第二推杆226，所述箱体1的内侧表面固定连接有第一缸体201，所述第一缸体201的一侧表面固定连接有稳定块202，所述第一缸体201的内侧表面开设有第一进气口203，所述第一缸体201的内侧表面开设有第一出气口204，所述第一进气口203的外侧表面固定连接有第一管道205，所述第一管道205的一端表面固定连接有第一控制板206，所述第一控制板206的一侧表面固定连接有第二管道207，所述第一缸体201的内侧表面开设有第一内腔208，所述第一内腔208的内侧表面固定连接有固定密封圈209，所述固定密封圈209的内侧表面卡合连接有第一下缓冲活塞210，所述第一下缓冲活塞210的上方表面固定连接有第一推杆211，所述第一推杆211的外侧表面固定连接有第一密封环212，所述第一密封环212的外侧表面固定连接有第一导向环213，所述第一推杆211的外侧表面固定连接有第一上缓冲活塞214，所述第一缸体201的上方表面固定连接有第二缸体215，所述第二缸体215的内侧表面开设有第二进气口216，所述第二缸体215的内侧表面开设有第二出气口217，所述第二进气口216的外侧表面固定连接有第三管道218，所述第三管道218的一端表面固定连接有第二控制板219，所述第二控制板219的一侧表面固定连接有第四管道220，所述第二缸体215的内侧表面开设有第二内腔221，所述第二内腔221的内侧表面滑动连接有第二密封环222，所述第二密封环222的外侧表面固定连接有第二导向环223，所述第二密封环222的上方表面固定连接有第二上缓冲活塞224，所述第二密封环222的下方表面固定连接有第二下缓冲活塞225，所述第二下缓冲活塞225的上方表面固定连接有第二推杆226。

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